一种微压探测压力传感器及其测量装置

    公开(公告)号:CN111620295B

    公开(公告)日:2023-06-27

    申请号:CN202010460055.6

    申请日:2020-05-27

    Abstract: 本发明公开了一种微压探测压力传感器,SOI硅片的衬底硅底部经过刻蚀形成应力薄膜并与玻璃基底键合形成真空腔,在应力薄膜下方刻蚀凹形槽结构和中心质量聚集结构,分别位于一对压力敏感硅铝异质结构的下方和薄膜中心区域。器件层掺杂后刻蚀出一对压力敏感硅铝异质结构,一对温度参考硅铝异质结构以及四个对称的L型凸起结构,温度参考结构的电阻处于应变薄膜区域外不受应力影响,配合本发明的传感器恒温控制系统可以有效地消除温度漂移特性。本发明还公开了一种微压探测传感器测量装置,包括其配套电路及校准标定方法,结合其传感器新型压阻元件及应力薄膜的结构设计,可以平衡高灵敏度及高线性度的测量特性,达到实际微压测量的应用标准。

    一种气溶胶颗粒采集装置

    公开(公告)号:CN105954070B

    公开(公告)日:2018-09-14

    申请号:CN201610276502.6

    申请日:2016-04-29

    Abstract: 本申请提供一种气溶胶颗粒采集装置,由气溶胶颗粒物粒径切割头和气溶胶颗粒物稀释装置组成,气溶胶颗粒物粒径切割头包括气体入口通道、切割腔和马达传动装置,气溶胶颗粒物稀释装置包括气体质量流量控制装置和稀释空腔;气溶胶颗粒物采集效率高、维护使用成本低、环境适应能力强、便于大量生产,可满足气溶胶颗粒物测量领域的高精度测量需求。

    一种二氧化硫气体传感器及其温湿度修正方法

    公开(公告)号:CN108195788A

    公开(公告)日:2018-06-22

    申请号:CN201810205272.3

    申请日:2018-03-13

    Abstract: 本发明公开了一种二氧化硫气体传感器及其温湿度修正方法,该二氧化硫气体传感器包括红外光源、光学气室、红外双光路滤光片阵列、红外探测器阵列;光学气室上设有进气口和出气口;红外光源设于光学气室的头端;红外双光路滤光片阵列、红外探测器阵列依次设于光学气室的尾部;红外双光路滤光片阵列包括探测滤光片和参考滤光片;红外探测器包括与探测滤光片、参考滤光片一一对应的二氧化硫气体探测器和参考探测器;二氧化硫气体探测器和参考探测器均采用热电偶阵列,该热电偶阵列采用三个热电偶呈正三角形排列,且在冷端采用冷端补偿器。本发明能有效消除温漂对探测器本身的影响,提高了探测器的灵敏度,集成化程度高。

    一种多量程阵列式压力传感芯片及其检测方法

    公开(公告)号:CN105424236B

    公开(公告)日:2017-08-25

    申请号:CN201510814955.5

    申请日:2015-11-19

    Abstract: 本发明公开了一种多量程阵列式压力传感芯片,其特征在于,包括在同一衬底上的压力传感器组和温度传感器组,所述压力传感器组为M×N压力传感器阵列,压力传感器组具有M种量程压力传感器,同时M种量程的压力传感器各具有N个,其M,N为任意数,所述温度传感器组为2×M个温度传感器阵列,温度传感器阵列位于压力传感器阵列两侧,相应的每一量程的压力传感器左右两侧均有一个温度传感器;本发明所述的一种多量程阵列式压力传感芯片及其检测方法实现了压力测量的高可靠性与高稳定性,可应用于各种恶劣的环境。

    一种基于摄像头阵列的惯性测量装置及方法

    公开(公告)号:CN107044855A

    公开(公告)日:2017-08-15

    申请号:CN201710312142.5

    申请日:2017-05-05

    CPC classification number: G01C21/16

    Abstract: 本发明提供一种基于摄像头阵列的惯性测量装置及方法,该装置包括摄像头阵列单元,特征点生成单元,环境分析单元,运动分析单元。摄像头阵列单元用于实时采集环境图像,特征点生成单元分析图像以选取多组特征点用于构建特征点矩阵,环境分析单元通过分析各特征点分别在多个摄像头成像平面中的成像位置计算各特征点相对于摄像头阵列在环境中的实际位置。运动分析单元根据各特征点在不同时刻同一摄像头成像平面中的成像位置变化情况计算出整个装置的角速度、角加速度、线速度、线加速度、运动轨迹等,达到惯性测量的目的。

    硅纳米传感阵列巨压阻系数测量系统及四点弯曲施力装置

    公开(公告)号:CN104090165B

    公开(公告)日:2016-08-17

    申请号:CN201410214287.8

    申请日:2014-05-21

    Abstract: 本发明是关于一种硅纳米传感阵列巨压阻系数测量系统及四点弯曲施力装置,该系统由四点弯曲施力装置、微小阻值检测装置和微小应变检测装置三部分构成。其中四点弯曲施力装置给硅纳米线传感阵列芯片施加均匀轴向应力(应变),该装置包括船型底座、底座滑轨槽、镜像放置的等高L型夹具、镜像放置的等高L型载荷支撑平台、螺母、垫片、螺纹连杆、顶部连杆、若干质量的砝码、托盘以及加载压头。通过间距可调的加载压头上的连杆往托盘上添加砝码对硅纳米线施加压力,通过微小阻值检测装置测出受压后桥路两端输出电压。本发明装置制作简单、体积小、成本低廉、功耗低,由于利用阵列式多点平均测量技术,因而它具有更高精度和更好的稳定性。

    气溶胶质量浓度光学检测装置及其检测方法

    公开(公告)号:CN105651662A

    公开(公告)日:2016-06-08

    申请号:CN201610160922.8

    申请日:2016-03-21

    Abstract: 本发明公开了一种气溶胶质量浓度光学检测装置及其检测方法。该检测装置包括光路模块、气路模块、信号处理模块和单片机,气路模块包括依次连接的气流干燥机(2)、进气口(9)、气路通道(5)、出气口(10)和气泵(7);光电探测器(3)垂直置于气路通道(5)和光路通道(6)的相交处。检测方法:含被测粒子的气体从进气口(9)抽入,经过湿度传感器(1)检测符合标准后,打开激光光源(4)检测,并将信号发送到单片机经处理后得到气溶胶质量浓度的检测结果。本发明拥有多个不同的量程选择,补偿了湿度的影响,使用环境多,成本低廉,可以准确测量气溶胶粒子的浓度,充分满足民用市场的需求。

    基于量子粒子群小波神经网络的阵列式气压测量补偿装置及其方法

    公开(公告)号:CN105258839A

    公开(公告)日:2016-01-20

    申请号:CN201510732877.4

    申请日:2015-10-30

    Abstract: 本发明公开了一种基于量子粒子群小波神经网络的阵列式气压测量补偿装置及其方法,微处理模块启动,发送指令给压力传感器阵列和温度传感器测量气压和温度;测量数据依次传输至微处理模块和上位机;上位机根据接收到的气压和温度构建小波神经网络,然后利用量子粒子群算法对小波神经网络进行优化,同时完成量子粒子群小波神经网络的训练,将得到的气压修正补偿公式传输至微处理模块;微处理模块计算出补偿误差后的精确气压值;再将精确气压值传送至显示模块上显示;本发明采用基于量子粒子群优化的小波神经网络对阵列测量的气压信号进行了迟滞误差的补偿,温漂和非线性补偿,减少了误差,增强了有效信号,使测量气压更精确,满足了气象测量的要求。

    一种掺铕氧化钇钆纳米多晶发光粉体的制备方法

    公开(公告)号:CN104263369A

    公开(公告)日:2015-01-07

    申请号:CN201410488790.2

    申请日:2014-09-23

    Abstract: 一种掺铕氧化钇钆纳米多晶发光粉体的制备方法,涉及纳米材料领域,制备步骤如下:(1)配制不同物质的量浓度的Gd(NO3)3、Y(NO3)3和Eu(NO3)3溶液;(2)称取柠檬酸加入上述混合硝酸盐溶液;控制混合液温度和pH;(3)将上述浅黄色溶液进行加热浓缩燃烧,得到前驱物粉体;(4)收集前驱物粉体,经研磨分散后进行煅烧,获得目标粉体。本发明采用的溶胶凝胶-燃烧法,结合了溶胶-凝胶法和燃烧法的优势,一方面在溶胶形成过程中,各组分在溶液中进行,可以达到原子、分子水平的均匀混合;另一方面络合剂既是反应物又是燃料,整个反应速度快,效率高,合成的产物质量高,且合成的粉体分散性好,粒度均匀,发光性能好。

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