公开(公告)号：CN114296177A

公开(公告)日：2022-04-08

申请号：CN202210086627.8

申请日：2022-01-25

Applicant: 吉林大学

Inventor： 尹悦鑫 ,  李悦 ,  姚梦可 ,  许馨如 ,  丁颖智 ,  吕昕雨 ,  张大明

IPC: G02B6/10 ,  G02B6/35 ,  G02F1/01

Abstract: 一种基于二氧化硅/聚合物混合波导的跑道型微环光开关及其制备方法，属于二氧化硅/聚合物混合波导光集成芯片制备技术领域。从下至上由Si衬底、SiO2下包层、聚合物芯层、聚合物上包层和金属电极组成；聚合物芯层由微环谐振部分和耦合部分组成；微环谐振部分由第一弯曲波导、第一直波导、第二弯曲波导和第二直波导顺次连接组成，构成跑道型结构；耦合部分由输入直波导、第三直波导和输出直波导组成，第二直波导和第三直波导构成定向耦合器；通过在金属电极上施加调制电压，可以实现光开关的功能。光开关具有损耗低、结构紧凑、低功耗、响应速度快、消光比大等优点，在光网络中起到光域优化、路由、保护以及功率均衡等作用。