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公开(公告)号：CN109164004B
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN201811171295.3
申请日：2018-10-02
Applicant: 吉林大学
Inventor： 王东方 , 夏操 , 杜旭 , 请求不公布姓名 , 请求不公布姓名 , 请求不公布姓名 , 请求不公布姓名 , 请求不公布姓名 , 请求不公布姓名 , 请求不公布姓名 , 请求不公布姓名 , 请求不公布姓名 , 请求不公布姓名
IPC: G01N5/02
Abstract: 本发明涉及一种基于BET重量法的多孔颗粒比表面积表征传感器及方法，属于传感器领域。包括一级谐振梁、一级谐振梁支撑结构、底座、回收槽，一级谐振梁的一端沉积有一级压电激振结构，另一端沉积有一级压电拾振结构，二级谐振梁阵列通过二级谐振梁阵列支撑结构固定于二级压电激振结构上方，有参考梁和检测梁；二级压电拾振结构沉积于二级谐振梁阵列的固定端。优点是结构新颖，通过建立多孔颗粒的气体吸附量与微悬臂梁谐振频率偏移量和气体压强间的关系，利用BET重量法，实现了比表面积的精确表征。降低了多孔颗粒比表面积表征的样品质量下限，极大的提高了传感器的精度。(56)对比文件高伟;董瑛;尤政.微悬臂梁谐振式气体传感器研究进展.传感器与微系统.2008,(第11期),7-10.
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公开(公告)号：CN107817045B
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN201711231654.5
申请日：2017-11-28
Applicant: 吉林大学
IPC: G01H11/06
Abstract: 本发明提供一种磁耦合谐振式频率检测装置及频率检测方法，属于精密传感器领域。Z轴调整装置和激振装置均固定在底座上，主动梁单元固定在激振装置上，主动梁单元的磁性材料通过主动梁表面的中间结合层和主动梁固定在一起，被动梁单元包括前端导体开口回路、被动梁梁身、上电极和下电极，应力应变敏感膜、侧电极和输出端子，主动梁单元和被动梁单元构成磁耦合同步共振结构，侧电极和应力应变膜的电极均能实现检测信号的输出。本发明基于磁耦合同步共振，具有高灵敏度，高分辨率的特点，并能减少相位噪声，自由调整量程和放大倍数，具有良好的互换性，在匹配识别，物联网传感网络等领域有着潜在的用途和重大应用前景。
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公开(公告)号：CN107576610B
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN201711051852.3
申请日：2017-10-29
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及一种基于表面摩擦的多物理量检测装置及检测方法，属于多物理量检测装置和检测方法。包括高频梁、同步耦合梁、低频梁、摩擦块、支撑定位结构、压电激振结构、横向压电大位移驱动结构、纵向压电大位移驱动结构、L型支撑结构等。低频梁的拾振结构拾取摩擦振动信号以检测表面粗糙度和硬度。低频梁与高频梁、同步耦合梁共同组成同步共振结构，用于检测动摩擦系数，并倍增输出频率以提高灵敏度。本发明利用较简单的结构，实现动摩擦系数、表面粗糙度和硬度的检测，在表面检测和材料识别领域具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN107976274B
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN201810051934.6
申请日：2018-01-18
Applicant: 吉林大学
IPC: G01L11/04
Abstract: 本发明涉及一种基于同步共振的压力检测装置及检测方法，属于压力检测装置。包括2N个谐振单元、上基底和下基底，各谐振单元安装在边缘基座与中心基座之间，本发明利用布置于固支梁上的压电片的逆压电效应驱动梁振荡，当振动频率趋近于固支梁的固有频率时，通过耦合部分的作用，固支梁与悬臂梁发生同步共振，实现频率倍增。将N组数据进行误差对照，从而提高检测灵敏度和精度。在闭环反馈控制系统下对悬臂梁谐振频率进行检测，谐振频率的变化量表征待测压力的大小，具有高灵敏度、高精度、高分辨率的优点。
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公开(公告)号：CN107817026A
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：CN201711245097.2
申请日：2017-11-29
Applicant: 吉林大学
IPC: G01F1/34
CPC classification number: G01F1/34
Abstract: 本发明提供一种基于同步共振的高分辨率差压式流量传感器及检测方法，属于差压式流量传感器。底座内流道一端与引压流道密封相连，另一端与支撑部压缩腔密封连接，分隔膜处于底座与支撑部中间，支撑部与两对同步共振悬臂梁连接，支撑部内流道一端与压缩腔相连，另一端与检测梁内流道连接，且检测梁内流道与敏感腔相连，检测梁基底上表面设置有压电激振片，拾振梁基底上表面设置有压电拾振片，两对同步共振悬臂梁组成差动式结构。本发明结构新颖，与节流装置配合使用，将水压的变化转化成密闭气体密度的变化，利用同步共振悬臂梁结构实现对流体压差的高分辨率测量，从而求得被测流体的流量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107796868A
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201711231656.4
申请日：2017-11-28
Applicant: 吉林大学
IPC: G01N29/02 , G01N29/036
CPC classification number: G01N29/022 , G01N29/036 , G01N2291/014 , G01N2291/022
Abstract: 本发明涉及一种基于同步共振的流体中微量物质检测装置及方法，属于传感器技术领域。固支梁阵列结构由多根尺寸相同的固支梁组成，包括一根参考梁和至少一根检测梁。不同固支梁的两端通过耦合单元相连，固支梁阵列结构和耦合单元都固定在支撑结构上。每根固支梁和支撑结构的内部都加工有相通的微流道，待测流体经过支撑结构上的流道入口依次流过各根固支梁。参考梁的微流道上沉积惰性材料层，检测梁的微流道上沉积不同的敏感层。在支撑结构下部有压电圆盘，激励阵列结构振动。每根固支梁的上表面沉积有压电层，用于策动阵列结构同步共振和检测信号输出。本发明具有结构新颖、能同时检测多种物质、分辨率高的优点。
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公开(公告)号：CN105628264B
公开(公告)日：2018-01-26
申请号：CN201610171506.8
申请日：2016-03-23
Applicant: 吉林大学
IPC: G01L1/00
Abstract: 本发明涉及一种基于同步共振的高灵敏度压电压阻电容叠加力敏传感器，属于可实现压电、压阻、电容叠加的同步共振悬臂梁力敏传感器。C型支撑结构下部与压电激振结构固定连接，该C型支撑结构的中部与U型梁、T型梁、同步耦合梁相连，T型梁的两侧与同步耦合梁相连，U型梁的内侧亦与同步耦合梁相连，T型梁上表面沉积多片压电拾振结构，固定端表面设置有压阻拾振结构，两电容拾振结构组成差动式电容拾振结构。优点是结构新颖，通过较简单的结构设计，将压电、压阻、电容拾振结构集成于同一结构中，三者输出信号叠加，可进一步放大了输出电压，提高传感器的检测灵敏度。
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公开(公告)号：CN107576610A
公开(公告)日：2018-01-12
申请号：CN201711051852.3
申请日：2017-10-29
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及一种基于表面摩擦的多物理量检测装置及检测方法，属于多物理量检测装置和检测方法。包括高频梁、同步耦合梁、低频梁、摩擦块、支撑定位结构、压电激振结构、横向压电大位移驱动结构、纵向压电大位移驱动结构、L型支撑结构等。低频梁的拾振结构拾取摩擦振动信号以检测表面粗糙度和硬度。低频梁与高频梁、同步耦合梁共同组成同步共振结构，用于检测动摩擦系数，并倍增输出频率以提高灵敏度。本发明利用较简单的结构，实现动摩擦系数、表面粗糙度和硬度的检测，在表面检测和材料识别领域具有广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN104759621B
公开(公告)日：2016-10-19
申请号：CN201510177407.6
申请日：2015-04-15
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明涉及一种可实现出料口截面积无级调控的增材制造装置成形口，属于增材制造技术领域。环形成形口竖直壁的下方连接成形口多瓣扇形结构，所述成形口多瓣扇形结构由3瓣~100瓣相同的扇形结构构成，该每个扇形结构同侧具有弧形突出薄壁，成形口竖直壁和成形口多瓣扇形结构外壁有螺纹，调节轮与成形口竖直壁外部或成形口多瓣扇形结构外部螺纹连接，弹簧座与每个成形口多瓣扇形结构中的扇形结构底部固定连接，相邻两个弹簧座间通过弹簧连接。优点是结构新颖，可实现成形口由完全打开至完全封闭的连续调节，使出料口截面积无级可控，能够获得接近于零的喷丝截面，制造出极薄的层状材料，从而提高制造精度。
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公开(公告)号：CN208818603U
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201821630891.9
申请日：2018-10-02
Applicant: 吉林大学
IPC: G01N5/02
Abstract: 本实用新型涉及一种基于BET重量法的多孔颗粒比表面积表征传感器，属于传感器领域。包括一级谐振梁、一级谐振梁支撑结构、底座、回收槽，一级谐振梁的一端沉积有一级压电激振结构，另一端沉积有一级压电拾振结构，二级谐振梁阵列通过二级谐振梁阵列支撑结构固定于二级压电激振结构上方，有参考梁和检测梁；二级压电拾振结构沉积于二级谐振梁阵列的固定端。优点是结构新颖，通过建立多孔颗粒的气体吸附量与微悬臂梁谐振频率偏移量和气体压强间的关系，利用BET重量法，实现了比表面积的精确表征。降低了多孔颗粒比表面积表征的样品质量下限，极大的提高了传感器的精度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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