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公开(公告)号：CN118331265A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202410442425.1
申请日：2024-04-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05D1/43 , G05D109/30
Abstract: 本发明公开了一种具有预定跟踪精度与时间的船舶轨迹跟踪控制系统及方法，所述控制系统包括期望轨迹输入、船舶的闭环系统，船舶的闭环系统包括反馈控制器、船舶的模型；期望轨迹输入输入船舶的期望运动轨迹，船舶的闭环系统根据船舶的实际运动轨迹减去船舶的期望运动轨迹，得到船舶的位置误差，位置误差经过反馈控制器得到系统输入，系统输入作用于船舶的模型，得到船舶的实际运动轨迹。本发明解决了欠驱动船舶在模型不确定性、环境干扰和潜在执行器故障下的控制问题和神经网络、模糊逻辑系统或自适应技术等方案带来的计算负担问题。
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公开(公告)号：CN117249167A
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202311335569.9
申请日：2023-10-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明的一种气浮装置涉及气浮支承技术领域，目的是为了克服现有空气静压轴承的静、动态性能不足的问题，包括底座平台和气浮轴承；底座平台位于气浮轴承的气膜生成面处；气浮轴承包括滑动块体、多个第一节流器、第一高压气体管道和吸力调节装置；多个第一节流器固定于滑动块体内部，且多个第一节流器以气膜生成面的中心点为对称点呈中心对称设置；第一高压气体管道设于滑动块体内部；且第一高压气体管道的一端连通所有第一节流器的节流管道的进气端，另一端用于通入第一高压气体；多个第一节流器的压力腔均设于气膜生成面并连通滑动块体的外部；吸力调节装置设置于气浮轴承上，用于在气浮轴承与底座平台之间产生吸力。
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公开(公告)号：CN117249166A
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202311335566.5
申请日：2023-10-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供一种气膜调控及气体回收的气浮轴承结构，属于气浮支撑技术领域。该结构改善了上述背景技术中提到的气体扰动的问题，提高了结构的精度及性能。气浮平台布置在大理石平台上方，节流器及气体回收单元均布置在气浮平台内部，节流器的出气口及气体回收单元的进气口均位于气浮平台的下表面，气源为节流器提供高压气体，充至气浮平台与大理石平台间形成气膜，形成气膜的余量气流经气体回收单元回收并定向排出。该结构引入气体回单元，有效避免了气浮轴承排放气体对周围产生的扰动，提高了精密仪器的测量精度和运动精度；该结构将节流管道设置成倾斜式，减小高压气体从节流孔流出时对气浮轴承产生的微振动，使气体流动更稳定。
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公开(公告)号：CN119666221A
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202411825798.3
申请日：2024-12-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01L5/1627 , G01B11/02
Abstract: 本发明提供了一种基于步进式运动机构的对外反力测量装置，涉及半导体制造装备技术领域，基于步进式运动机构的对外反力测量装置包括步进式运动机构、大理石平台和二维力传感器机构，步进式运动机构包括支撑框架、负载、Y向执行机构和X向执行机构，负载设置于Y向执行机构上，Y向执行机构设置于X向执行机构上，X向执行机构设置于支撑框架上，二维力传感器机构设置于支撑框架与大理石平台之间，大理石平台上均匀分布有多个第一气浮孔。本发明的基于步进式运动机构的对外反力测量装置，相比于现有技术，可以精准测量步进式运动机构工作过程中对基础框架的机械安装接口产生的反作用力，通过计算可以进一步保证步进式运动机构的运动及测量精度。
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公开(公告)号：CN118331265B
公开(公告)日：2024-12-13
申请号：CN202410442425.1
申请日：2024-04-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05D1/43 , G05D109/30
Abstract: 本发明公开了一种具有预定跟踪精度与时间的船舶轨迹跟踪控制系统及方法，所述控制系统包括期望轨迹输入、船舶的闭环系统，船舶的闭环系统包括反馈控制器、船舶的模型；期望轨迹输入输入船舶的期望运动轨迹，船舶的闭环系统根据船舶的实际运动轨迹减去船舶的期望运动轨迹，得到船舶的位置误差，位置误差经过反馈控制器得到系统输入，系统输入作用于船舶的模型，得到船舶的实际运动轨迹。本发明解决了欠驱动船舶在模型不确定性、环境干扰和潜在执行器故障下的控制问题和神经网络、模糊逻辑系统或自适应技术等方案带来的计算负担问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118622844A
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202410907088.9
申请日：2024-07-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供一种真空全密封直线导轨，涉及机械密封技术领域。真空全密封直线导轨包括运动部件、固定部件、伸缩管部件与直线导轨本体，直线导轨本体包括滑块与导轨，滑块滑动连接于导轨上，两个固定部件分别连接于导轨的两端，运动部件与滑块连接，且套设在滑块与导轨外，两个固定部件与运动部件之间分别设有伸缩管部件，伸缩管部件套设于导轨上，伸缩管部件的两端连接于运动部件与对应的固定部件。本发明对滑块、导轨构成全包裹式密封，防止润滑介质由内向外挥发，避免了润滑介质的浪费，确保了润滑效果的持久性，也防止外部灰尘、磨屑由外向内进入导轨内部，减少导轨的摩擦或磨损，延长了导轨的使用寿命。
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公开(公告)号：CN117969139A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202410144592.8
申请日：2024-02-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01M99/00
Abstract: 一种密闭空间特殊气体环境模拟及振动抑制装置及方法，属于高端装备领域。真空罐通过第一波纹管与泵组固定连通，薄膜真空规、压阻真空规均安装在真空罐上，真空罐通过真空罐支架与第一地基固定连接；真空罐与两根上端密封管一端固定连通，两根上端密封管另一端分别与对应的第二波纹管一端固定连通，两根第二波纹管另一端分别与对应的下端密封管固定连通，两根下端密封管与第二地基固定连接；工作台设置在真空罐内，工作台底部与两个工作台支架顶端固定连接，两个工作台支架底端分别穿入对应的上端密封管、第二波纹管及下端密封管并与第二地基固定连接，运动模块及平衡质量模块均与工件台滑动配合。本发明用于密闭空间特殊气体环境模拟及振动抑制。
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公开(公告)号：CN117287453A
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202311247019.1
申请日：2023-09-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种具有粘接应力消除效果的陶瓷材料粘接工艺，所述工艺包括如下步骤：步骤一、清洁陶瓷材料表面；步骤二、测试陶瓷材料表面能；步骤三、放置并调整微米玻璃珠限位工装；步骤四、布置微米玻璃珠；步骤五、提取、均匀并离心粘接胶水；步骤六、采用点胶机根据陶瓷方镜模型分别对不同限位孔进行点胶；步骤七、收回微米玻璃珠限位工装；步骤八、安装陶瓷后盖板；步骤九、采用重物均匀压实后盖板并静置。本发明有效减轻了陶瓷方镜的重量，提高了结构稳定性，抑制了粘接后的恢复变形，降低了振动和共振的风险，从而在高速高加速度运动中提高了晶圆加工的精度和一致性。
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公开(公告)号：CN117260651A
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202311366006.6
申请日：2023-10-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种真空环境下多自由度气浮精密运动台及其工作方法，属于精密运动控制技术领域。承载台设置在支撑导套正上方，承载台与支撑导套之间通过三个音圈电机连接，所述运动导轨设置在支撑导套内且二者通过直线驱动电机连接，所述运动导轨与支撑导套之间设有气浮间隙，所述运动导轨运动方向两端均固定有固定板，所述运动导轨、支撑导套及两个固定板均设置在隔振平台上，所述运动导轨及两个固定板均与隔振平台固定连接，所述支撑导套的上端气浮板前后两侧均固定有多个电磁铁。本发明具有高精度、高速度、高稳定性和轻量化的优点，具有良好的减重集成效益和运动稳定性，可广泛应用于各种高精度运动平台和设备中。
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公开(公告)号：CN117249165A
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202311335570.1
申请日：2023-10-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供一种磁气混合的主动式气浮支撑结构及支撑方法，属于气浮支撑技术领域。该支撑结构气膜厚度可灵活调整，支撑可靠，稳定性好。气浮轴承设置于平台上方，导磁体‑的位置与气浮轴承的位置上下相对应，导磁体‑安装在平台上，所述气膜主动调节单元布设在气浮轴承中，通过气膜主动调节单元控制气膜的厚度。本申请通过节流器结构的加入，主动补偿供气压力以及磁力结构的加入，有效地提升气浮轴承的动态及静态特性。
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