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公开(公告)号：CN118192220A
公开(公告)日：2024-06-14
申请号：CN202410062020.5
申请日：2024-01-16
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G05B13/04
摘要： 一种PAM驱动的双节CM角位置跟踪控制系统及算法，属于CM角位置控制系统技术领域，为解决多输入多输出且非线性的CM角位置控制系统所具有的模型不确定性和神经网络、模糊逻辑系统、自适应技术和迭代学习等带来的算法计算负担、残差集无法预知等问题。设计一款结构简单的状态反馈控制器。该控制器通过将调节函数与误差变换技术相融合，使得设计的控制器无需使用自适应机制、神经网络或模糊逻辑系统以及迭代学习算法，且避免了对于跟踪误差初值的限制，不仅保证了预先设定的暂态与稳态跟踪性能，还确保了控制信号连续且无剧增现象。本发明设计的控制器可以有效实现PAM驱动的双节CM角位置跟踪控制。
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公开(公告)号：CN117993201A
公开(公告)日：2024-05-07
申请号：CN202410170978.6
申请日：2024-02-06
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G06F30/20 , G16C10/00 , G06F18/213 , G06F18/214
摘要： 本发明公开了一种基于分子动力学和机器学习的材料微纳去除分析方法，所述方法通过纳米加工中材料去除过程的分子动力学数值模拟方法以及基于机器学习分析方法，建立不同参数加工模型的数据集，最后通过机器学习方法在拟合现有数据集的基础上进行预测，得到优化后的加工参数。本发明克服了现有材料纳米去除实验成本高、实验环境要求苛刻的问题，通过仿真技术对纳米加工过程进行模拟，提出了一套从程序设计到仿真结果分析及后处理的完整方法，对于提高材料表面加工质量，增强亚表面晶体结构稳定性、实现超精密加工均具有重要的指导意义。
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公开(公告)号：CN117601122B
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202311574619.9
申请日：2023-11-23
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 本发明公开了一种气动人工肌肉位置跟踪控制系统及方法，所述跟踪控制系统包括轨迹生成器Cr、反馈控制器C、气动人工肌肉的模型P；所述轨迹生成器Cr生成气动人工肌肉的期望运动轨迹yd，气动人工肌肉的闭环系统根据气动人工肌肉的实际运动轨迹y减去气动人工肌肉的期望运动轨迹yd，得到气动人工肌肉的位置误差误差e，气动人工肌肉的位置误差信号e经过反馈控制器C得到控制信号u，控制信号u作用于气动人工肌肉的模型P，得到气动人工肌肉的实际运动轨迹y。本发明消除了在线设计控制器方法在对高阶系统设计过程中需对控制器参数进行复杂、繁琐的递归选取的限制。
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公开(公告)号：CN117283260B
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN202311457252.2
申请日：2023-11-03
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： B23P19/00
摘要： 本发明提供一种用于气浮导轨导向槽间隙调整的装配机构，属于精密加工设备技术领域。该机构具体应用时测量精准，令工件装配尺寸稳定标准，采用自动测量的方式，替代了人工测量的工作步骤，令测量更快速更精准。该机构的柔性调整模块基于三坐标测量机进行使用，柔性调整模块包括柔性基座、锁紧机构及定位机构，待装配模块通过定位机构调整定位，通过锁紧机构安装在柔性基座上，三坐标测量机用于测量待装配模块的两个装配块间距，通过调整两个装配块之间连接螺钉松紧，实现两个装配块间距的准确调整。本发明能够实现对U形导轨的高效、精准装配，能够解决当前手动调整螺钉和卡尺测量存在的费时费力和精度不足的问题。
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公开(公告)号：CN117283261A
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202311460333.8
申请日：2023-11-03
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： B23P19/00
摘要： 一种气浮导轨气浮支撑结构精密装配装置及方法，属于超精密装配技术领域。装置是：导轨沿大底板的Y向固定在大底板上，测量尺固定架通过连接块与导轨滑动连接，测量尺套与固定架固定连接，测量尺沿大底板的X向滑动穿出测量尺套，调向台固定在大底板上，调向台与导轨平行设置，气浮导轨装配台通过旋转轴承与调向台连接，I形结构件平行于导轨设置并与气浮导轨装配台定位连接，L形结构件与I形结构件相平行设置并固定安装在气浮导轨装配台上，L形结构件与I形结构件之间的间隙与气浮导轨的气膜厚度相同。本发明的装置及方法便于L形结构件与I形结构件装配，装配过程省时省力，有效提高了装配效率与精度，能够满足超精密设备和装置的高要求。
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公开(公告)号：CN118622844A
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202410907088.9
申请日：2024-07-08
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 本发明提供一种真空全密封直线导轨，涉及机械密封技术领域。真空全密封直线导轨包括运动部件、固定部件、伸缩管部件与直线导轨本体，直线导轨本体包括滑块与导轨，滑块滑动连接于导轨上，两个固定部件分别连接于导轨的两端，运动部件与滑块连接，且套设在滑块与导轨外，两个固定部件与运动部件之间分别设有伸缩管部件，伸缩管部件套设于导轨上，伸缩管部件的两端连接于运动部件与对应的固定部件。本发明对滑块、导轨构成全包裹式密封，防止润滑介质由内向外挥发，避免了润滑介质的浪费，确保了润滑效果的持久性，也防止外部灰尘、磨屑由外向内进入导轨内部，减少导轨的摩擦或磨损，延长了导轨的使用寿命。
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公开(公告)号：CN117969139A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202410144592.8
申请日：2024-02-01
申请人： 哈尔滨工业大学
IPC分类号： G01M99/00
摘要： 一种密闭空间特殊气体环境模拟及振动抑制装置及方法，属于高端装备领域。真空罐通过第一波纹管与泵组固定连通，薄膜真空规、压阻真空规均安装在真空罐上，真空罐通过真空罐支架与第一地基固定连接；真空罐与两根上端密封管一端固定连通，两根上端密封管另一端分别与对应的第二波纹管一端固定连通，两根第二波纹管另一端分别与对应的下端密封管固定连通，两根下端密封管与第二地基固定连接；工作台设置在真空罐内，工作台底部与两个工作台支架顶端固定连接，两个工作台支架底端分别穿入对应的上端密封管、第二波纹管及下端密封管并与第二地基固定连接，运动模块及平衡质量模块均与工件台滑动配合。本发明用于密闭空间特殊气体环境模拟及振动抑制。
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公开(公告)号：CN117287453A
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202311247019.1
申请日：2023-09-25
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 本发明公开了一种具有粘接应力消除效果的陶瓷材料粘接工艺，所述工艺包括如下步骤：步骤一、清洁陶瓷材料表面；步骤二、测试陶瓷材料表面能；步骤三、放置并调整微米玻璃珠限位工装；步骤四、布置微米玻璃珠；步骤五、提取、均匀并离心粘接胶水；步骤六、采用点胶机根据陶瓷方镜模型分别对不同限位孔进行点胶；步骤七、收回微米玻璃珠限位工装；步骤八、安装陶瓷后盖板；步骤九、采用重物均匀压实后盖板并静置。本发明有效减轻了陶瓷方镜的重量，提高了结构稳定性，抑制了粘接后的恢复变形，降低了振动和共振的风险，从而在高速高加速度运动中提高了晶圆加工的精度和一致性。
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公开(公告)号：CN117260651A
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202311366006.6
申请日：2023-10-20
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 一种真空环境下多自由度气浮精密运动台及其工作方法，属于精密运动控制技术领域。承载台设置在支撑导套正上方，承载台与支撑导套之间通过三个音圈电机连接，所述运动导轨设置在支撑导套内且二者通过直线驱动电机连接，所述运动导轨与支撑导套之间设有气浮间隙，所述运动导轨运动方向两端均固定有固定板，所述运动导轨、支撑导套及两个固定板均设置在隔振平台上，所述运动导轨及两个固定板均与隔振平台固定连接，所述支撑导套的上端气浮板前后两侧均固定有多个电磁铁。本发明具有高精度、高速度、高稳定性和轻量化的优点，具有良好的减重集成效益和运动稳定性，可广泛应用于各种高精度运动平台和设备中。
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公开(公告)号：CN117249165A
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202311335570.1
申请日：2023-10-16
申请人： 哈尔滨工业大学
摘要： 本发明提供一种磁气混合的主动式气浮支撑结构及支撑方法，属于气浮支撑技术领域。该支撑结构气膜厚度可灵活调整，支撑可靠，稳定性好。气浮轴承设置于平台上方，导磁体‑的位置与气浮轴承的位置上下相对应，导磁体‑安装在平台上，所述气膜主动调节单元布设在气浮轴承中，通过气膜主动调节单元控制气膜的厚度。本申请通过节流器结构的加入，主动补偿供气压力以及磁力结构的加入，有效地提升气浮轴承的动态及静态特性。
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