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公开(公告)号：CN116315997A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310288753.6
申请日：2023-03-22
申请人： 国神光电科技(上海)有限公司
摘要： 本发明公开了一种一体式水冷激光器及水冷循环冷却系统，包含进水接头、激光器箱体和出水接头。其中，在激光器箱体的底板铣削出所需要形状的水冷管路；然后通过搅拌摩擦焊将水路封盖焊接在水冷管路上，从而将水冷管路封闭。根据光路设计在激光器箱体内对应位置设置安装槽，用于安装主动散热器件；主动散热器件将水路截断，迫使冷却水向上流过集中发热的区域。通过计算机流体仿真实现主动、定向地冷却该集中发热区域的目的；主动散热器件的密封圈将冷却水与一体式水冷激光器的箱体隔离开，避免冷却水渗漏到激光器箱体内。本发明通过箱体上加工出水路并在箱体上开设缺口来安装主动散热器件，实现光路布局自由，系统紧凑。
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公开(公告)号：CN116299932A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310287106.3
申请日：2023-03-22
申请人： 国神光电科技(上海)有限公司
IPC分类号： G02B7/00
摘要： 本发明公开了一种可换点的紫外激光布儒斯特输出窗口装置，包括窗口片基座、镜片座、丁晴橡胶密封圈、窗口片、预紧压块、弹性顶丝、锁紧螺丝和保护罩；紫外激光经过偏心放置且可旋转布儒斯特窗口片，窗口片紧贴激光器输出端口并良好密封，实现紫外激光可在旋转窗口片表面环状区域内任一点位置激光输出，如紫外激光造成窗口片某点损伤，可快速旋转换下一点位置出射紫外激光。
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公开(公告)号：CN115173213B
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202210799398.4
申请日：2022-07-06
申请人： 国神光电科技(上海)有限公司
摘要： 本发明公开了一种提高激光变频时开关光功率快速响应的激光装置，包括：红外基频激光发生器、光学调制开关系统和非线性光学频率变换系统。红外基频激光经光学调制开关系统分为有效光和无效光，有效光进入非线性光学频率变换系统，满足相应晶体的相位匹配条件而参与非线性光学频率变换，无效光不满足晶体相位匹配不参与非线性光学频率变换。将有效光和无效光同时入射到非线性光学频率变换系统，使其始终处于满功率基频光照射状态而处于恒温状态，控制不同比例的有效光进行有效光学变频实现不同功率的短波长激光输出，剩下的无效光不产生光学变频，解决了高低功率输入光导致的温度失配和调制开关激光热平衡时间等导致的不同功率开关功率响应不及时和不一致问题。
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公开(公告)号：CN113783091A
公开(公告)日：2021-12-10
申请号：CN202111061971.3
申请日：2021-09-10
申请人： 国神光电科技(上海)有限公司
摘要： 本发明涉及一种光纤隔离器，包括放大模块、泵浦耦合模块、隔离模块；该放大模块包括增益光纤，第一准直器；泵浦耦合模块包括第一无源光纤，第二准直器；隔离模块包括第一偏振分光棱镜、法拉第旋光器、1/2玻片、第二偏振分光棱镜、第三准直器，以及第二无源光纤。信号光经过增益光纤在泵浦激励下，被放大，放大光经过隔离模块。该光纤隔离器集成了泵浦反向耦合、放大和隔离功能，其结构减少了光纤合束器无源光纤的使用，减少熔接点，损耗小，提高了系统的集成度和稳定性；同时减少了脉冲激光传输光纤的长度，减小非线性效应，优化了脉冲光纤激光放大特性和放大结构。
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公开(公告)号：CN113783090A
公开(公告)日：2021-12-10
申请号：CN202111061770.3
申请日：2021-09-10
申请人： 国神光电科技(上海)有限公司
摘要： 本发明提供一种光纤放大器，包括种子源，调制器和若干个放大器单元，该放大器单元包括放大模块、泵浦耦合模块和隔离模块，用于泵浦耦合，脉冲激光放大和隔离保护；其中，放大模块包括增益光纤和第一准直器；泵浦耦合模块包括无源光纤和第二准直器；隔离模块包括第一偏振分光棱镜、法拉第旋光器、1/2玻片、第二偏振分光棱镜和第三准直器；相对于现有技术减少了光纤合束器、无源光纤的使用，各器件间无需通过无源光纤熔接，从而解决了目前脉冲光纤系统中光纤器件较多，熔点较多，损耗较大，脉冲激光由于传输距离较长产生非线性效应无法有效放大的问题。
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公开(公告)号：CN107591671A
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：CN201610537133.1
申请日：2016-07-08
申请人： 国神光电科技(上海)有限公司
摘要： 本发明提供一种减小光纤器件非线性效应的方法及光组件和光纤器件，所述方法包括：将光纤器件中的超短脉冲激光经过增益光纤进行放大；将放大后的超短脉冲激光直接输入光隔离器件。所述增益光纤以光纤熔接方式或以自由空间耦合方式与所述光隔离器件连接；所述增益光纤以光纤熔接方式或以自由空间耦合方式与光耦合器件相连，对所述光耦合器件输出的超短脉冲激光进行放大；所述光隔离器件为带增益光纤尾纤的光隔离器件。本发明将光纤器件中核心光器件增益光纤和光隔离器直接集成在一起，不通过非增益光纤进行熔接，减短了超短脉冲通过的光纤长度，提高了非线性阈值，有效减少了非线性效应，提高了超短脉冲激光的输出功率，特别是脉冲峰值功率。
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公开(公告)号：CN106425112A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201610946556.9
申请日：2016-11-02
申请人： 国神光电科技(上海)有限公司
IPC分类号： B23K26/364 , B23K26/06 , B23K26/0622 , B23K26/067 , B23K101/36
CPC分类号： B23K26/364 , B23K26/0617 , B23K26/0622 , B23K26/0676 , B23K2101/36
摘要： 本发明提供一种激光划片的方法及系统，所述方法包括：激光器生成包络可调、线偏振、同源且相干由超短激光脉冲构成的两路激光：第一脉冲串和第二脉冲串；改变第一脉冲串或第二脉冲串的偏振态，使一个具有水平偏振，另一个具有垂直偏振；改变第一脉冲串或第二脉冲串的发散角使第一脉冲串和第二脉冲串具有不同的发散角；将第一脉冲串和第二脉冲串进行合束后聚焦于待划片物上并于待划片物上形成上下两层分别由若干聚焦点组成的切割层；利用两个切割层中聚焦点于待划片物上的划动对待划片物进行划片。本发明采用两路脉冲串的激光划片方法，适用于较厚晶圆片（>150um）的一次性切割，改善厚片加工的外观直线度和外观效果，还可以提高电性良率。
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公开(公告)号：CN106410573A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201610946563.9
申请日：2016-11-02
申请人： 国神光电科技(上海)有限公司
CPC分类号： H01S3/0007 , H01L21/67011 , H01L33/005 , H01S3/10
摘要： 本发明提供一种激光器，包括：种子源，用以输出具有可调频率和脉宽的激光脉冲；光调制器，用以在调制信号的控制下将激光脉冲调制成具有一定包络形状的光脉冲串；第一放大器，与用于对光脉冲串进行放大以提高光脉冲串的激光功率；分束器，用于将放大后的光脉冲串分为完全相同的第一脉冲串和第二脉冲串；两个第二放大器，用于对所述第一脉冲串和所述第二脉冲串分别进行放大以提高所述第一脉冲串和所述第二脉冲串的激光功率。本发明的激光器通过聚焦，可以将两个脉冲串于待划片物上形成上下两层分别由若干聚焦点（爆炸点）组成的切割层，适用于较厚LED晶圆片的一次性切割，改善厚片加工的外观直线度和外观效果，有效提高激光划片的质量。
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公开(公告)号：CN206148790U
公开(公告)日：2017-05-03
申请号：CN201621170319.X
申请日：2016-11-02
申请人： 国神光电科技(上海)有限公司
摘要： 本实用新型提供一种激光器，包括：用以输出具有可调频率和脉宽的激光脉冲的种子源；用以在调制信号的控制下将激光脉冲调制成具有一定包络形状的光脉冲串的光调制器；用于对光脉冲串进行放大以提高光脉冲串的激光功率的第一放大器；用于将放大后的光脉冲串分为完全相同的第一脉冲串和第二脉冲串的分束器；用于对第一脉冲串和第二脉冲串分别进行放大以提高第一脉冲串和第二脉冲串的激光功率的两个第二放大器。本实用新型的激光器通过聚焦，可以将两个脉冲串于待划片物上形成上下两层分别由若干聚焦点（爆炸点）组成的切割层，适用于较厚LED晶圆片的一次性切割，改善厚片加工的外观直线度和外观效果，有效提高激光划片的质量。
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公开(公告)号：CN206169491U
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201621169904.8
申请日：2016-11-02
申请人： 国神光电科技(上海)有限公司
IPC分类号： B23K26/364 , B23K26/06 , B23K26/0622 , B23K26/067 , B23K101/36
摘要： 本实用新型提供一种激光划片的系统，包括：用于生成包络可调、线偏振、同源且相干由超短激光脉冲构成的第一脉冲串和第二脉冲串的激光器；用于改变第一脉冲串或第二脉冲串的偏振态，使一个具有水平偏振，另一个具有垂直偏振的偏振改变装置；使第一脉冲串和第二脉冲串具有不同的发散角的发散角处理装置；用于将第一脉冲串和第二脉冲串进行合束的合束处理装置；用于分别将第一脉冲串和第二脉冲串聚焦于待划片物上并于待划片物上形成上下两层分别由若干聚焦点组成的切割层的聚焦装置。本实用新型的激光划片的系统采用两路脉冲串进行激光划片，适用于较厚晶圆片（>150um）的一次性切割，改善厚片加工的外观直线度和外观效果，还可提高电性良率。
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