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公开(公告)号：CN203879191U
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201420298809.2
申请日：2014-06-06
申请人： 西宁电力实业总公司 , 国网青海省电力公司西宁供电公司
IPC分类号： E05F15/16
摘要： 本实用新型属于变电站检修施工工具技术领域，特别涉及一种变电站检修通道的电动移动开闭器。变电站检修通道的电动移动开闭器由轨道运行主体、开闭装置、控制装置三部分组成，轨道运行主体由钢棍组件和角钢导轨两部分组成，角钢导轨用钢棍组件进行固定组装，开闭装置由电动机及电动轮、金属挡板两部分组成，电动机与电动轮相连，金属挡板设在两电动轮的中部，控制装置由电源控制箱、操作手柄、开关控制键三部分组成，操作手柄、开关控制键设在电源控制箱上。优点是解决了在检修通道过程中费时、费力、费工的问题，提高了工作效率，女性检修人员也可进行开闭操作，优化了人员结构，确保了检修人员的作业安全。
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公开(公告)号：CN105549340B
公开(公告)日：2017-10-24
申请号：CN201610098275.2
申请日：2016-02-24
申请人： 上海大学
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 本发明公开了一种卷对卷柔性衬底光刻方法和装置，通过对曝光紫外线传输路径及曝光方式进行设计，从而实现柔性衬底的光刻，而不需要传统柔性衬底需贴附在玻璃基板上光刻以及工艺最后的衬底剥离等工艺步骤，一方面节省了工艺设备成本，另一方面提高生产的良率与生产节拍，本发明制作工艺简单，能有效提高生产节拍，在更低的生产成本的条件下，实现柔性衬底的快速和高质量光刻制造。本发明装置主要由紫外光源、柔性衬底传送系统和光刻胶涂布装置组成，结构简单，使用方便，便于维护和制造。
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公开(公告)号：CN105280837B
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201510589704.1
申请日：2015-09-17
申请人： 上海大学
IPC分类号： H01L51/52
摘要： 本发明公开了一种具有自我修复能力的复合阻隔结构，具有多个功能结构层，包括在基板之上依次叠置基础Al2O3层、中部铝层、中部Al2O3层和外部致密结构层，基础Al2O3层构成第一道阻隔层，外部致密结构层能阻隔水氧分子透过，中部Al2O3层和外部致密结构层共同构成第二道阻隔层，纯铝层作为修复剂层，能在叠置基础Al2O3层和中部Al2O3层出现缝隙缺陷时提供Al原子，在缺陷处自发氧化形成Al2O3，填补相应缺陷。本发明复合水氧阻隔层的多层复合结构既有优异的水氧阻隔性，又具备良好的重复弯曲性能及缺陷形成后的自我修复能力，在柔性衬底性能的水氧阻隔性、弯曲性能提升方面具有广泛应用前景。
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公开(公告)号：CN105449123A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201510793022.2
申请日：2015-11-18
申请人： 上海大学
IPC分类号： H01L51/56
CPC分类号： H01L51/56
摘要： 本发明公开了一种水氧阻隔层的制备方法，在基板之上依次制备至少2层薄膜层形成水氧复合阻隔层，制备每层薄膜层时，至少任意相邻的两层薄膜层在制备时提供选择的制备参数不同，使水氧复合阻隔层内的各层薄膜层组成水氧微通路不连通的失配结构。本发明在基板之上制备多层薄膜层形成水氧复合阻隔层，通过调节一种或几种影响薄膜沉积的参数，便可以使得薄膜以不同结构、不同性质甚至不同生长模式进行生长，进而使得在前一个膜层中的水汽通路与后一个膜层中的水汽通路失配，不能联通的水汽通路无法导通大气中的水氧，从而增强了薄膜的水氧阻隔性能，本发明方法简单易用，在未来柔性显示阻隔层的工业生产中具有相当的可推广潜力。
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公开(公告)号：CN105280837A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201510589704.1
申请日：2015-09-17
申请人： 上海大学
IPC分类号： H01L51/52
CPC分类号： H01L51/5253
摘要： 本发明公开了一种具有自我修复能力的复合阻隔结构，具有多个功能结构层，包括在基板之上依次叠置基础Al2O3层、中部铝层、中部Al2O3层和外部致密结构层，基础Al2O3层构成第一道阻隔层，外部致密结构层能阻隔水氧分子透过，中部Al2O3层和外部致密结构层共同构成第二道阻隔层，纯铝层作为修复剂层，能在叠置基础Al2O3层和中部Al2O3层出现缝隙缺陷时提供Al原子，在缺陷处自发氧化形成Al2O3，填补相应缺陷。本发明复合水氧阻隔层的多层复合结构既有优异的水氧阻隔性，又具备良好的重复弯曲性能及缺陷形成后的自我修复能力，在柔性衬底性能的水氧阻隔性、弯曲性能提升方面具有广泛应用前景。
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公开(公告)号：CN105449123B
公开(公告)日：2018-03-06
申请号：CN201510793022.2
申请日：2015-11-18
申请人： 上海大学
IPC分类号： H01L51/56
摘要： 本发明公开了一种水氧阻隔层的制备方法，在基板之上依次制备至少2层薄膜层形成水氧复合阻隔层，制备每层薄膜层时，至少任意相邻的两层薄膜层在制备时提供选择的制备参数不同，使水氧复合阻隔层内的各层薄膜层组成水氧微通路不连通的失配结构。本发明在基板之上制备多层薄膜层形成水氧复合阻隔层，通过调节一种或几种影响薄膜沉积的参数，便可以使得薄膜以不同结构、不同性质甚至不同生长模式进行生长，进而使得在前一个膜层中的水汽通路与后一个膜层中的水汽通路失配，不能联通的水汽通路无法导通大气中的水氧，从而增强了薄膜的水氧阻隔性能，本发明方法简单易用，在未来柔性显示阻隔层的工业生产中具有相当的可推广潜力。
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公开(公告)号：CN105549340A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201610098275.2
申请日：2016-02-24
申请人： 上海大学
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/2004 , G03F7/2022
摘要： 本发明公开了一种卷对卷柔性衬底光刻方法和装置，通过对曝光紫外线传输路径及曝光方式进行设计，从而实现柔性衬底的光刻，而不需要传统柔性衬底需贴附在玻璃基板上光刻以及工艺最后的衬底剥离等工艺步骤，一方面节省了工艺设备成本，另一方面提高生产的良率与生产节拍，本发明制作工艺简单，能有效提高生产节拍，在更低的生产成本的条件下，实现柔性衬底的快速和高质量光刻制造。本发明装置主要由紫外光源、柔性衬底传送系统和光刻胶涂布装置组成，结构简单，使用方便，便于维护和制造。
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公开(公告)号：CN105428312B
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：CN201510793039.8
申请日：2015-11-18
申请人： 上海大学
摘要： 本发明公开了一种柔性衬底的制备和分离方法，采用刚性材料基底和柔性衬底间制备由连接层和网格状连续框架层构成的组合层，其中连续框架层在后续相应器件或膜层的制备条件下稳定，在特定处理下分解，通过反应条件改变使得连续框架层分解或形态变化，在连接层中形成网格状气体通路，使得连接层在等离子气氛下完成去除，进而完成柔性衬底的分离。本发明分离方法既可以保证衬底完整无损的前提下完成衬底的剥离，也可以充分利用成熟的基于玻璃基板的膜层制备工艺、配套设备，有推广价值。
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公开(公告)号：CN105304816B
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201510793028.X
申请日：2015-11-18
申请人： 上海大学
摘要： 本发明公开了一种柔性基底剥离方法，在刚性材料基底之上依次制备连接层和反应层，然后以反应层上表面作为制备柔性基底的载体基板表面，在反应层上表面上制备柔性基底，再进行后续相应器件或膜层的制备，其中连接层和反应层皆在柔性基底和后续相应器件或膜层制备过程中保持稳定，且连接层在反应层的制备过程中也保持稳定，当完成柔性基底和后续相应器件或膜层的制备之后，再通过改变化学反应条件，使得反反应层与连接层发生反应，使连接层和反应层被去除，从而使柔性基底与刚性材料基底分离。本发明既可以保证衬底完整无损的前提下完成衬底的剥离，也可以充分利用成熟的基于玻璃的膜层制备工艺、配套设备，有利于产业化推广。
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公开(公告)号：CN105428312A
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201510793039.8
申请日：2015-11-18
申请人： 上海大学
IPC分类号： H01L21/77
CPC分类号： H01L27/1262
摘要： 本发明公开了一种柔性衬底的制备和分离方法，采用刚性材料基底和柔性衬底间制备由连接层和网格状连续框架层构成的组合层，其中连续框架层在后续相应器件或膜层的制备条件下稳定，在特定处理下分解，通过反应条件改变使得连续框架层分解或形态变化，在连接层中形成网格状气体通路，使得连接层在等离子气氛下完成去除，进而完成柔性衬底的分离。本发明分离方法既可以保证衬底完整无损的前提下完成衬底的剥离，也可以充分利用成熟的基于玻璃基板的膜层制备工艺、配套设备，有推广价值。
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