公开(公告)号：CN1702831A

公开(公告)日：2005-11-30

申请号：CN200510079085.8

申请日：2003-05-16

Applicant: 富士通株式会社 ,  株式会社日本激光

Inventor： 佐佐木伸夫 ,  宇塚达也 ,  大木孝一

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/268 ,  G02F1/133

Abstract: 由多个激光源所发射的激光束被分为多个子光束，其被照射到一个基片上的无定形半导体的所选择部分上，以使得该无定形半导体结晶化。本发明的一种用于使半导体结晶化的方法，包括如下步骤：将激光束照射到具有显示区域和围绕该显示区域的外围区域的一个基片上的半导体上，以使该半导体熔化和结晶化；在第一扫描方向上执行外围区域的结晶化；在把支承该基片的可旋转台旋转90度之后，在与第一扫描方向相垂直的第二扫描方向上执行外围区域的结晶化；以及沿着与像素的三原色子像素区域的排列方向相平行的第三扫描方向上执行显示区域的结晶化。

公开(公告)号：CN1702834A

公开(公告)日：2005-11-30

申请号：CN200510079088.1

申请日：2003-05-16

Applicant: 富士通株式会社 ,  株式会社日本激光

Inventor： 佐佐木伸夫 ,  宇塚达也 ,  大木孝一

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/268 ,  G02F1/133

Abstract: 由多个激光源所发射的激光束被分为多个子光束，其被照射到一个基片上的无定形半导体的所选择部分上，以使得该无定形半导体结晶化。通过一个光束扩展器纠正在该激光束之间的发散角的差别。本发明的一种用于使半导体结晶化的方法，包括如下步骤：把由多个激光源所发射的激光束通过一个聚焦光学系统照射到的基片上的半导体层上，以使该半导体层熔化和结晶化，其中由该激光源所发射的激光束所形成的多个光点至少部分地相互重叠。

公开(公告)号：CN1702833A

公开(公告)日：2005-11-30

申请号：CN200510079087.7

申请日：2003-05-16

Applicant: 富士通株式会社 ,  株式会社日本激光

Inventor： 佐佐木伸夫 ,  宇塚达也 ,  大木孝一

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/268 ,  G02F1/133

Abstract: 由多个激光源所发射的激光束被分为多个子光束，其被照射到一个基片上的无定形半导体的所选择部分上，以使得该无定形半导体结晶化。通过一个光束扩展器纠正在该激光束之间的发散角的差别。该装置包括第一和第二激光源；聚焦光学系统；以及用于把由第一和第二激光源所发射的激光束引导到该聚焦光学系统的组合光学系统；其中该组合光学系统包括置于第一激光源之后的一个λ/2波片、置于第一和第二激光源中至少一个激光源之后的光束扩展器、以及用于把由第一和第二激光源所发射的激光束相组合的偏振分束器。

公开(公告)号：CN1702832A

公开(公告)日：2005-11-30

申请号：CN200510079086.2

申请日：2003-05-16

Applicant: 富士通株式会社 ,  株式会社日本激光

Inventor： 佐佐木伸夫 ,  宇塚达也 ,  大木孝一

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/268 ,  G02F1/133

Abstract: 一种使半导体结晶化的装置，包括至少一个激光源；用于把由激光源所发射的激光束分为多个子光束的光束分离装置；用于把子光束聚焦在基片上的无定形半导体上的至少一个聚焦光学系统；用于改变由该聚焦光学系统所形成的子光束的至少两个光点位置之间的距离的运动机构；用于把激光束转向到该聚焦光学系统的第一平面镜；以及被提供在该聚焦光学系统中以接收由第一平面镜所反射的子光束的第二平面镜，其中第一平面镜和第二平面镜之间的子光束与该运动机构的运动方向相平行。