公开(公告)号：CN211644606U

公开(公告)日：2020-10-09

申请号：CN201922479770.X

申请日：2019-12-31

申请人： 大连中鼎化学有限公司

发明人： 邱浩铭 ,  丛维军 ,  乐韵 ,  赵霖 ,  于洋 ,  金万宇 ,  刘智超 ,  邱长春

IPC分类号： C01B23/00

摘要： 本实用新型涉及一种回收制备超纯氩的装置，属于气体生产与应用领域。主要技术方案如下：一种回收制备超纯氩的装置，包括依次通过管路串连的前置缓冲罐、压缩机、尾气预处理系统和低温再沸液化氩气系统；所述的尾气预处理系统包括催化塔、热交换器、吸附干燥塔；所述的催化塔包括第一催化塔和第二催化塔，所述的第一催化塔连接第一热交换器，所述的第二催化塔连接第二热交换器；本实用新型可根据产品的纯度要求灵活调节。该方法特别适用于用氩气做保护气的工业炉放空废气中回收氩气，具有十分良好的经济效益和环保效益。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利