公开(公告)号：CN115029662A

公开(公告)日：2022-09-09

申请号：CN202210719986.2

申请日：2022-06-23

Applicant: 安徽工业大学

Inventor： 丁继成 ,  程阳 ,  郑军 ,  刘兴光 ,  赵栋才

IPC: C23C14/02 ,  C23C14/06 ,  C23C14/16 ,  C23C14/35 ,  C23C14/50 ,  B22F9/16

Abstract: 本发明属于表面工程技术领域，特别涉及一种高温耐磨自润滑复合涂层及其制备方法，其包括基体膜层及喷涂在其表面的耐磨涂层，基体膜层由下至上分别为Ti打底层、Ti2AlN过渡层及通过双靶磁控溅射依次交替溅射沉积的TiB2/Ti2AlN功能层；其中，Ti打底层厚度为200nm，Ti2AlN过渡层厚度为500～1000nm，TiB2/Ti2AlN功能层中的单层TiB2厚度为30～50nm，Ti2AlN单层厚度为20～40nm，基体膜层总厚度为2～5μm；本发明中所制备的纳米多层涂层不仅具有高温热稳定性同时兼具高温自润滑性能，解决了现行PVD硬质涂层刀具高速切削航空钛合金材料易粘结和易磨损问题，具有更广阔的市场前景，更适宜推广。