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公开(公告)号：CN117915535A
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202410169803.3
申请日：2024-02-06
申请人： 安徽工业大学
IPC分类号： H05H1/24
摘要： 本申请公开了一种提高柔性有机薄膜辉光等离子体预处理均匀性和重复性的方法及装置，包括腔室和射频电源，所述腔室的内部设置有平行板电极结构，包括第一极板和第二极板，所述第一极板的材质为不锈钢，所述第一极板处设置有石英玻璃；所述第二极板的材质为铝，所述第二极板的表面具有Al2O3薄膜层，所述第二极板处设置有陶瓷板；所述腔室连接有供气单元和抽真空单元。本发明采用DBD型平行板电极结构，利用介质阻挡放电产生辉光等离子体。通过优化电极结构、极板距离、处理工艺等措施，显著提高了柔性有机薄膜辉光等离子体预处理的均匀性和重复性，且预处理后薄膜亲水性得到明显改善。
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公开(公告)号：CN114959575B
公开(公告)日：2024-01-02
申请号：CN202210589861.2
申请日：2022-05-26
申请人： 安徽工业大学
摘要： 本发明涉及表面涂层技术领域，具体涉及一种薄膜传感器用绝缘耐磨防护涂层及其制备方法，该涂层由下而上依次包括金属衬底、CrN过渡层、AlCrN支撑层、AlCrSiON功能层，在氩离子刻蚀清洗后的金属衬底表面，采用电弧离子镀技术首先沉积0.2μm厚的CrN过渡层，然后沉积0.7μm厚的AlCrN支撑层，最后沉积0.5～3μm厚的AlCrSiON功能层厚度，所述AlCrSiON功能层主要由fcc‑(Al,Cr)N和fcc‑(Al,Cr)2O3混合相组成，通过实验证明，通过上述方案得到的绝缘耐磨涂层不仅具有优异的界面结合性能和耐磨损性能，而且具有较高的电阻值和电阻率，适用于薄膜传感器的表面防护。
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公开(公告)号：CN115125486A
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202210893289.9
申请日：2022-07-27
申请人： 安徽工业大学
摘要： 本发明涉及硬质涂层制备技术领域，具体涉及一种含有多层结构的高强韧纳米复合涂层及其制备方法，使用高功率脉冲磁控溅射技术在金属基体上制备具有多层结构的纳米复合AlTiSiN涂层，由下至上依次包括沉积在金属基体表面的AlTiN粘结层，多层AlTiN/TiSiN支撑层和TiSiN工作层，支撑层中TiSiN涂层Si含量为3～7％，工作层TiSiN中Si含量为8～15％。采用低负偏压AlTiN粘结层改善涂层结合力，采用多层支撑层降低涂层内应力，提高涂层韧性，同时引入多层界面结构，降低涂层缺陷，提高涂层致密度；通过控制氮气流量和占空比调节工作层TiSiN中Si含量，提高纳米复合涂层的硬度和耐磨性，制备的多层结构纳米复合涂层工艺简单，膜层光滑致密，具有较高的硬度和膜基结合力，良好的抗磨损性能。
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公开(公告)号：CN114993496A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210588653.0
申请日：2022-05-26
申请人： 安徽工业大学
IPC分类号： G01K7/02
摘要： 本发明涉及温度传感器技术领域，具体涉及一种合金表面快速响应薄膜热电偶制备方法。该薄膜热电偶由下到上依次包括合金基片、AlCrN基薄膜、热氧化绝缘膜、NiCr/NiSi传感功能薄膜、氧化铝保护膜，所述的热氧化膜通过热氧化法在高结合力AlCrN基薄膜表面原位自主生成，主要组分由氧化铝和氧化铬组分构成，本发明采用气相沉积技术制备的薄膜热电偶，各层薄膜组织致密，传感功能薄膜与金属工件之间完全电绝缘，塞贝克系数接近标准K型热电偶，具有快速响应和高可靠性等特点，满足金属工件在苛刻服役环境下的动态测温需求。
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公开(公告)号：CN113463039B
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202110744587.7
申请日：2021-07-01
申请人： 安徽工业大学
IPC分类号： C23C14/32
摘要： 本发明公开了一种线圈电磁挤压式磁过滤装置，属于真空镀膜技术领域，包括电弧阴极、聚焦线圈、安装法兰、偏转室、真空室、偏转挤压组件；所述电弧阴极设置在所述安装法兰上，所述安装法兰与所述偏转室的一端连接，所述偏转室的另一端与所述真空室连通，所述偏转挤压组件设置在所述偏转室与所述真空室的连接处。本发明采用磁挤压的方式，能完成从电源阴极至真空室的等离子体的偏转，完成大颗粒的过滤，使传统磁过滤等离子体非常集中的特点会有所改善，有利于大面积和均匀沉积；并且在完成膜层沉积时，工件转架具有很大的自由设计空间，不被磁控过滤弯管的位置所限制，值得被推广使用。
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公开(公告)号：CN114242457A
公开(公告)日：2022-03-25
申请号：CN202111628431.9
申请日：2021-12-28
申请人： 安徽工业大学
摘要： 本发明涉及电容器技术领域，具体涉及一种提高电容器用ZnAl金属化薄膜环境适应性和耐压稳定性的方法，利用辉光放电等离子体技术对PP介质膜进行预处理，然后再进行真空蒸镀金属化薄膜，通过采取辉光等离子体放电技术对电容器用双向拉伸聚丙烯(BOPP)基膜进行预处理，显著提高了ZnAl金属化薄膜的致密度，进而增强了金属化薄膜的环境适应性和耐压稳定性。
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公开(公告)号：CN114150263A
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN202111491280.7
申请日：2021-12-08
申请人： 安徽工业大学 , 安徽赛福电子有限公司
摘要： 本发明涉及表面处理技术领域，具体涉及一种提高有机基体上金属化薄膜形核均匀性的方法，包括步骤如下：(1)选用厚度和粗糙度合适的聚合物作为基材；(2)对基膜依次采用无水乙醇和去离子水超声波清洗，时间均为1～3min，吹干备用；(3)对基膜进行等离子体预处理，使用空气作为反应气体，气压为10～20Pa，离子源功率为20～45W，处理时间为1～15min；(4)在预处理后的基膜上继续沉积金属膜。该方法可显著提升沉积粒子的形核密度，有利于形成均匀致密的金属化薄膜。
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公开(公告)号：CN113463039A
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN202110744587.7
申请日：2021-07-01
申请人： 安徽工业大学
IPC分类号： C23C14/32
摘要： 本发明公开了一种线圈电磁挤压式磁过滤装置，属于真空镀膜技术领域，包括电弧阴极、聚焦线圈、安装法兰、偏转室、真空室、偏转挤压组件；所述电弧阴极设置在所述安装法兰上，所述安装法兰与所述偏转室的一端连接，所述偏转室的另一端与所述真空室连通，所述偏转挤压组件设置在所述偏转室与所述真空室的连接处。本发明采用磁挤压的方式，能完成从电源阴极至真空室的等离子体的偏转，完成大颗粒的过滤，使传统磁过滤等离子体非常集中的特点会有所改善，有利于大面积和均匀沉积；并且在完成膜层沉积时，工件转架具有很大的自由设计空间，不被磁控过滤弯管的位置所限制，值得被推广使用。
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公开(公告)号：CN110983245A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201911342039.0
申请日：2019-12-23
申请人： 金轮针布(江苏)有限公司 , 安徽工业大学
摘要： 本发明公开一种低温沉积高硬低摩擦系数涂层针布的制备方法，包括如下步骤：将研磨抛光后的针布材料清洗烘干制得针布材料基体；对所述针布材料基体表面进行辉光放电清洗；在所述针布材料基体表面进行Cr粘结层沉积；在所述Cr粘结层上进行Cr/DLC纳米多层结构工作层沉积；制备的涂层针布由针布基体到表面依次包括所述针布材料基体、所述Cr粘结层、所述Cr/DLC纳米多层结构工作层，所述Cr/DLC纳米多层结构工作层为金属Cr层和DLC层交替沉积制备成形；本发明低温沉积高硬低摩擦系数涂层针布的制备方法，成功解决了金属针布表面镀膜结合力差、不耐磨，针布基体易发生回火软化等问题，获得了高硬度、减摩耐磨的涂层针布。
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公开(公告)号：CN118910539A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202410952404.4
申请日：2024-07-16
申请人： 安徽工业大学
摘要： 本发明涉及表面强化技术领域，具体涉及一种提高马氏体不锈钢耐腐蚀磨损渗氮层及其制备方法，采用真空电弧镀膜机实现低温低气压高效渗氮。所述渗氮层的厚度不小于8微米；所述渗氮层的组织以膨胀马氏体αN相为主，同时存在少量的ε‑Fe2‑3N相和γ'‑Fe4N相；所述渗氮层的自腐蚀电流密度小于3.0×10‑8A/cm2，显微硬度不低于HV700，显著提升不锈钢的抗腐蚀磨损性能。该渗氮层制备方法避免了复杂形状零部件的边角效应和打弧问题，有效降低渗氮层表面脆性，同时提升高强度不锈钢的耐氢脆性。该渗氮层有望应用于海洋环境下的马氏体不锈钢精密零部件，保障高端装备长期稳定服役。
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