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公开(公告)号：CN115877890B
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202310116087.8
申请日：2023-02-15
申请人： 广州志橙半导体有限公司
IPC分类号： G05D23/20
摘要： 本发明涉及人工智能领域，公开了一种CVD设备的温度控制方法及系统，用于实现CVD设备的温度智能控制以及提高温度控制的准确率。所述方法包括：对初始温度数据进行数据标准化处理，得到标准化温度数据；获取标准化温度数据的时间戳数据，并按照时间戳数据对标准化温度数据进行特征筛选处理，得到特征温度数据：对特征温度数据进行热场功率分析，得到目标CVD设备对应的功率数据；获取多个工艺流程信息，并根据功率数据对多个工艺流程信息进行加热器温度控制，生成每个工艺流程信息对应的加热器温度控制数据；将加热器温度控制数据输入预置的设备温度控制分析模型进行设备温度控制分析，得到每个工艺流程信息对应的温度控制分析结果。
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公开(公告)号：CN115796058B
公开(公告)日：2023-04-14
申请号：CN202310069551.2
申请日：2023-02-06
申请人： 广州志橙半导体有限公司
IPC分类号： G06F30/27 , G06F18/241 , G06F18/23 , G06F18/22 , G06N3/0442 , G06N3/0455 , G06N3/08
摘要： 本发明涉及人工智能领域，公开了一种CVD设备的设备数据分析方法及系统，用于实现智能化的CVD设备数据采集和分析并提高CVD设备的数据分析准确率。所述方法包括：根据多个特征属性参数和设备参数数据构建第一参数集合；对温度数据和多个特征属性参数进行数据映射匹配，得到温度数据，并根据构建第二参数集合；对第一参数集合和第二参数集合进行产品配方分析，生成多个产品配方数据，并对多个产品配方数据进行产品配方编码管理，得到配方管理编号；根据配方管理编号和产品配方数据进行工作状态数据预测，得到多个第二工作状态数据；根据多个第二工作状态数据对目标CVD设备进行设备运行故障和加热器寿命预测，得到目标预测结果。
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公开(公告)号：CN115796058A
公开(公告)日：2023-03-14
申请号：CN202310069551.2
申请日：2023-02-06
申请人： 广州志橙半导体有限公司
IPC分类号： G06F30/27 , G06F18/241 , G06F18/23 , G06F18/22 , G06N3/0442 , G06N3/0455 , G06N3/08
摘要： 本发明涉及人工智能领域，公开了一种CVD设备的设备数据分析方法及系统，用于实现智能化的CVD设备数据采集和分析并提高CVD设备的数据分析准确率。所述方法包括：根据多个特征属性参数和设备参数数据构建第一参数集合；对温度数据和多个特征属性参数进行数据映射匹配，得到温度数据，并根据构建第二参数集合；对第一参数集合和第二参数集合进行产品配方分析，生成多个产品配方数据，并对多个产品配方数据进行产品配方编码管理，得到配方管理编号；根据配方管理编号和产品配方数据进行工作状态数据预测，得到多个第二工作状态数据；根据多个第二工作状态数据对目标CVD设备进行设备运行故障和加热器寿命预测，得到目标预测结果。
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公开(公告)号：CN114686859B
公开(公告)日：2023-02-07
申请号：CN202210382788.1
申请日：2022-04-12
申请人： 广州志橙半导体有限公司
IPC分类号： C23C16/458 , C23C16/52
摘要： 本发明提供了一种CVD工作台旋转装置及CVD装置，CVD工作台旋转装置包括：旋转工作台，所述旋转工作台包括：主动旋转工作台和从动旋转工作台，所述主动旋转工作台和从动旋转工作台外侧均镶嵌齿套，主动旋转工作台的齿套和从动旋转工作台的齿套啮合；所述主动旋转工作台通过主传动轴转动连接在炉体内，所述主动传动轴与驱动机构连接。用来解决制件相对于气场固定不动的情况，放置在旋转工作台上的工装治具架在旋转过程中充当了扇叶的作用搅动了腔室内的原有气场，使其能更好的在腔体内行成一个相对稳定扩散的气场，制件在气场内保持一定的速度旋转与反应气体充分接触，从而使反应气体得以有足够的使用效率。
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公开(公告)号：CN114457322B
公开(公告)日：2023-01-24
申请号：CN202210271333.2
申请日：2022-03-18
申请人： 广州志橙半导体有限公司
IPC分类号： C23C16/458
摘要： 本发明提供了一种耐高温陶瓷涂层石墨托盘组件，包括：承载大盘、若干支撑及固定装置、若干托盘、机械驱动机构；所述承载大盘上通过若干支撑及固定装置连接有若干托盘，所述机械驱动机构用于驱动所述承载大盘及所述托盘转动。本申请在MOCVD或高温CVD外延生长炉中，在承载大盘与托盘间使用滚珠和中间定位柱架开且使用齿轮驱动的机械方法代替现有的气流导向使得托盘悬浮起来的方法,克服旋转时因气流不稳不均匀导致托盘和承载大盘发生磨擦碰撞，导致产生裂缝，也可以规避涂层与运动部件直接接触磨损暴露石墨基底，从而被腐蚀性气体渗入，使石墨崩坏导致托盘组件报废的缺点，从而有效提高耐高温陶瓷涂层石墨托盘组件的寿命。
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公开(公告)号：CN114457417B
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202210271334.7
申请日：2022-03-18
申请人： 广州志橙半导体有限公司
IPC分类号： C30B25/12 , C23C16/32 , C23C16/458 , C30B29/36
摘要： 本发明提供了一种陶瓷涂层石墨托盘旋转组件，包括承载盘和盖板，所述承载盘上设有第一定位结构，所述盖板底部设有第二定位结构，所述第一定位结构与第二定位结构相互配合。所述第一定位结构为第一凹槽或第一凸台，所述第二定位结构为第二凸台或第二凹槽，所述第一凹槽与第二凸台相互配合，所述第一凸台与第二凹槽相互配合。在承载盘与盖板间使用外圆裙边作中心的定位，使用凹凸槽作承载盘与盖板间的旋转角度方向的定位，代替现有的通过两盘间的重力和摩擦力来限位的方法,克服了在旋转时因惯性和气流导致承载盘和盖板间发生相对移位，使产品的生长条件发生改变的缺点，从而有效提高产品的生长质量和良率。
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公开(公告)号：CN114775047A
公开(公告)日：2022-07-22
申请号：CN202210382649.9
申请日：2022-04-12
申请人： 广州志橙半导体有限公司
摘要： 本发明提供了一种用于外延生长的反应装置，包括：反应器、石英腔、感应加热装置与进出气装置，所述感应加热装置包括感应加热线圈，所述感应加热线圈缠绕于石英腔外部，所述反应器设置于石英腔内部，所述进出气装置与所述反应器连接，本发明中感应加热线圈缠绕于石英腔外部，通过感应加热内部的石墨零部件为CVD反应提供热源，上半月保温层和下半月保温层合抱为圆管为内部的零部件保温。本发明解决了目前缺乏专用于外延生长的反应装置的问题。
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公开(公告)号：CN114457417A
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202210271334.7
申请日：2022-03-18
申请人： 广州志橙半导体有限公司
IPC分类号： C30B25/12 , C23C16/32 , C23C16/458 , C30B29/36
摘要： 本发明提供了一种陶瓷涂层石墨托盘旋转组件，包括承载盘和盖板，所述承载盘上设有第一定位结构，所述盖板底部设有第二定位结构，所述第一定位结构与第二定位结构相互配合。所述第一定位结构为第一凹槽或第一凸台，所述第二定位结构为第二凸台或第二凹槽，所述第一凹槽与第二凸台相互配合，所述第一凸台与第二凹槽相互配合。在承载盘与盖板间使用外圆裙边作中心的定位，使用凹凸槽作承载盘与盖板间的旋转角度方向的定位，代替现有的通过两盘间的重力和摩擦力来限位的方法,克服了在旋转时因惯性和气流导致承载盘和盖板间发生相对移位，使产品的生长条件发生改变的缺点，从而有效提高产品的生长质量和良率。
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公开(公告)号：CN114453773A
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202210377582.X
申请日：2022-04-12
申请人： 广州志橙半导体有限公司
IPC分类号： B23K26/38 , B23K26/08 , B23K26/70 , B23K101/40
摘要： 本发明适用于激光切割技术领域，提供了一种碳化硅晶圆激光切割设备，所述碳化硅晶圆激光切割设备包括：操作台，所述操作台上转动连接有第一螺纹杆，所述第一螺纹杆上螺纹连接有第一螺纹块；安装板，安装在所述第一螺纹块上，所述安装板上安装有激光自动切割组件；连接驱动组件，安装在所述操作台内部。该碳化硅晶圆激光切割设备会自动感应是否有碳化硅晶圆经过，只有当碳化硅晶圆处于激光自动切割组件下方时，激光自动切割组件才会自动运转，来进行激光切割操作，避免不必要的激光使用导致的意外发生，同时该装置具有自动调节切割位置的效果，使用方便，自动化程度高，便于操作。
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公开(公告)号：CN115858541B
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202310125391.9
申请日：2023-02-16
申请人： 广州志橙半导体有限公司
IPC分类号： G06F16/22 , G06K19/06 , G06Q10/0633 , G06F16/242
摘要： 本发明涉及数据处理的技术领域，提供了一种工艺配方参数的处理方法及装置，其中方法包括：获取CVD工艺设备的工艺配方参数及数据，其中，所述工艺配方参数包括温度、压力、流量、电流、电压；针对所述CVD工艺设备的每个工艺配方，系统将创建一个唯一对应的配方编号；将所述工艺配方参数与其对应的配方编号关联存储在工艺配方参数库中；最后生成一个二维码，并在所述二维码中存储所述配方编号；其中，所述二维码用于设置在与所述配方编号所对应的产品上。本发明中只需要扫描二维码则可以从中获取对应的配方编号，从而从工艺配方参数库获取对应配方编号的工艺配方参数，无需工作人员手动输入，有利于提高生产效率及准确率。
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