公开(公告)号：CN118296366A

公开(公告)日：2024-07-05

申请号：CN202311517042.8

申请日：2023-11-14

Applicant: 张江国家实验室

Inventor： 喻虹 ,  王大卫 ,  梁洪涛

IPC: G06F18/214 ,  G01B15/00 ,  G06N3/048 ,  G06N3/08

Abstract: 机器学习中多解问题的训练方法、X射线测量方法及装置，应用在纳米测量技术领域，利用X射线获取待检测目标件的散射图谱；利用测量模型对散射图谱分析，得到待检测器件的关键尺寸；测量模型是通过将样本器件的数据集输入至待训练测量模型中，基于联合损失函数对待训练测量模型进行训练得到的；联合损失函数的损失因子包括基于样本器件的关键尺寸的预测值的损失因子、预测值的巴比涅互补损失因子、预测值的中心对称损失因子及预测值的巴比涅互补的中心对称损失因子。通过结合物理先验信息在模型训练过程中构建联合损失函数，计算同一散射图谱对应的所有可能结构的损失，解决了多解问题，训练好的测量模型可以实时且高精度的X射线散射测量计算。

公开(公告)号：CN118296345A

公开(公告)日：2024-07-05

申请号：CN202311568419.2

申请日：2023-11-22

Applicant: 张江国家实验室

Inventor： 梁洪涛 ,  喻虹 ,  王成龙

IPC: G06F18/213 ,  G01B15/00 ,  G06F18/214 ,  G06F30/27 ,  G06N20/00

Abstract: 本申请实施例提供了一种关键尺寸的测量方法、装置、设备及存储介质，涉及通信技术领域，该方法包括：获取待测量物体的散射图；待测量物体的散射图是X射线经待测量物体被散射后形成的；从待测量物体的散射图中提取待测量物体的特征信号；基于待测量物体的特征信号，通过目标模型确定待测量物体的关键尺寸；其中，目标模型是通过仿真样本训练出初始模型，再经测量样本对初始模型再次训练后得到的。本申请实施例中，通过仿真样本训练初始模型，可以得到泛化能力较好的基础模型；再利用待测量物体对初始模型再次进行训练，得到目标模型，能够有效改善由于测量系统的随机干扰带来的预测偏差的问题。

公开(公告)号：CN118294472A

公开(公告)日：2024-07-05

申请号：CN202311587297.1

申请日：2023-11-24

Applicant: 张江国家实验室

Inventor： 喻虹 ,  杨海瑞

IPC: G01N23/00 ,  G06N20/00 ,  G01B15/00

Abstract: 本发明实施例提供一种评估测量的不确定度方法及装置，应用于测量分析领域，包括：获取待检测对象在不同角度的待检测三维图像；三维图像包括亮斑结构和暗部细节结构；将按照设定检测顺序获取的不同角度的待检测三维图像进行降维处理，得到待检测对象的二维图像；将二维图像分别输入至K个待使用模型中，输出K个测量数据和N个不确定度，其中N为不大于K的正整数；根据K个测量数据和N个不确定度，确定待检测对象的目标测量数据和目标测量数据对应的目标不确定度。可以实现较快速的得到目标测量数据和目标不确定度，从而便于后续根据确定目标测量数据的精度。

公开(公告)号：CN220084691U

公开(公告)日：2023-11-24

申请号：CN202320858065.4

申请日：2023-04-17

Applicant: 张江国家实验室

Inventor： 喻虹 ,  谈志杰

IPC: G01N21/01 ,  G01N21/88 ,  G01N21/956

Abstract: 本公开涉及一种光学测量设备。该光学测量设备包括：光源，所述光源被配置为产生至少两束测量光束，其中，所述至少两束测量光束中的每束测量光束被配置为分别沿不同的出射光路行进以用于照射到相应的样品上；以及至少两个光学探测器，所述至少两个光学探测器中的每个光学探测器分别设于相应的一条出射光路上，且每个光学探测器被配置为接收并检测沿相应的出射光路行进的测量光束与相应的样品相互作用所产生的出射光的至少一部分。