-
公开(公告)号：CN118297829A
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202311752571.6
申请日：2023-12-18
申请人： 张江国家实验室
摘要： 本申请实施例提供了一种宇宙线去除方法、装置、设备及存储介质，涉及信息处理技术领域，该方法为：对待测物体进行多次短曝光，获得多张第一周期信号图像，第一周期信号图像包含多个周期单元；对多张第一周期信号图像进行叠加处理，得到第二周期信号图像并确定第二周期信号图像中各周期单元的光斑掩膜分布；基于所述光斑掩膜分布，确定第一周期信号图像中的光斑掩膜中是否存在宇宙线，从而确定第一周期信号图像是否受宇宙线影响；将未受宇宙线影响的各第一周期信号图像进行叠加，得到针对待测物体的目标周期信号图像。通过对待测物体进行多次短曝光，可以得到多张弱信号的周期信号图像，较容易地校测出宇宙线噪声。
-
公开(公告)号：CN118296344A
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202311566807.7
申请日：2023-11-22
申请人： 张江国家实验室
IPC分类号： G06F18/213 , G01B15/00 , G06F18/10 , G06F30/27 , G06N20/00
摘要： 基于机器学习加速的X射线小角散射测量方法及装置，用以在确定样品关键尺寸时加快仿真计算散射信号的速度，进而减少求解关键尺寸所花费的时间。该方法包括：通过测量系统获取待测样本的测量散射图；测量散射图为在不同位置关系下测量系统的X射线经过待测样本被散射后形成的散射图；所述位置关系为X射线与所述待测样本的方位角和入射角；解析所述待测样本的测量散射图中散射信号的分布特征，得到表征所述待测样本的关键尺寸的测量特征信号；将所述测量特征信号与仿真特征信号进行比较，确定与所述测量特征信号的差异最小的仿真特征信号；将与所述测量特征信号的差异最小的仿真特征信号相对应的一组模拟关键尺寸作为待测样本的关键尺寸。
-
公开(公告)号：CN118328914A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202310914756.6
申请日：2023-07-24
申请人： 张江国家实验室
IPC分类号： G01B15/00 , G21K1/08 , G21K1/04 , G01N23/201 , G01N23/20016
摘要： 本发明提供一种基于多光束入射的小角X射线散射量测装置及方法，该装置包括：X射线源(1)；聚焦镜(2)；光阑组(3)，包括具有多个孔径光阑(311)的光束选择器(310)，聚焦后的X射线束通过多个孔径光阑而选择性地得到多束入射光束，多个孔径光阑分别用于调整多束入射光束的发散角；样品台(4)，用于载放样品，多束入射光束相对于样品的法线方向以不同的入射角照射到样品表面的规定位置；探测器(5)，接收多束入射光束被样品散射后并从样品射出的多束检测光束，以获取多束检测光束的散射光强空间分布；以及数据处理系统(6)，基于散射光强空间分布及多束入射光束各自的入射角，确定样品的三维结构信息。
-
公开(公告)号：CN118294484A
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202311561294.0
申请日：2023-11-21
申请人： 张江国家实验室
IPC分类号： G01N23/201
摘要： 本申请提供一种掠入射小角度X射线散射布拉格峰定位方法，包括：接收以第一角度掠入射至二维周期结构样品的X射线，其中，二维周期结构样品包括多个粒子；确定二维周期结构样品的实空间结构参数；根据实空间结构参数确定二维周期结构样品中的粒子所对应的第一散射矢量分量和第二散射矢量分量，其中，第一散射矢量和第二散射矢量相互正交；根据第一散射矢量分量和所述第二散射矢量分量，确定第三散射矢量分量和第一散射角度信息，其中，第三散射矢量分量与第一散射矢量、第二散射矢量正交，第一散射角度信息指的是布拉格峰对应的散射角度信息。该方案，能够实现针对二维周期分布结构样品的GISAXS的布拉格峰的准确定位。
-
公开(公告)号：CN118329942A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202310870906.8
申请日：2023-07-14
申请人： 张江国家实验室
IPC分类号： G01N23/201 , G01N23/20008
摘要： 本发明涉及一种X射线散射量测装置及X射线散射量测方法，通过对X射线源、第一X射线聚焦镜、第二X射线聚焦镜、至少一个光阑的位置；第一X射线聚焦镜、第二X射线聚焦镜的姿态；以及至少一个光阑的尺寸进行调节，从而能够使得从X射线源发出的X射线入射到待测样品上而形成较小的光斑截面尺寸，因而能够获得更小的量测区域尺寸。
-
公开(公告)号：CN118296366A
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202311517042.8
申请日：2023-11-14
申请人： 张江国家实验室
IPC分类号： G06F18/214 , G01B15/00 , G06N3/048 , G06N3/08
摘要： 机器学习中多解问题的训练方法、X射线测量方法及装置，应用在纳米测量技术领域，利用X射线获取待检测目标件的散射图谱；利用测量模型对散射图谱分析，得到待检测器件的关键尺寸；测量模型是通过将样本器件的数据集输入至待训练测量模型中，基于联合损失函数对待训练测量模型进行训练得到的；联合损失函数的损失因子包括基于样本器件的关键尺寸的预测值的损失因子、预测值的巴比涅互补损失因子、预测值的中心对称损失因子及预测值的巴比涅互补的中心对称损失因子。通过结合物理先验信息在模型训练过程中构建联合损失函数，计算同一散射图谱对应的所有可能结构的损失，解决了多解问题，训练好的测量模型可以实时且高精度的X射线散射测量计算。
-
公开(公告)号：CN118296345A
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202311568419.2
申请日：2023-11-22
申请人： 张江国家实验室
IPC分类号： G06F18/213 , G01B15/00 , G06F18/214 , G06F30/27 , G06N20/00
摘要： 本申请实施例提供了一种关键尺寸的测量方法、装置、设备及存储介质，涉及通信技术领域，该方法包括：获取待测量物体的散射图；待测量物体的散射图是X射线经待测量物体被散射后形成的；从待测量物体的散射图中提取待测量物体的特征信号；基于待测量物体的特征信号，通过目标模型确定待测量物体的关键尺寸；其中，目标模型是通过仿真样本训练出初始模型，再经测量样本对初始模型再次训练后得到的。本申请实施例中，通过仿真样本训练初始模型，可以得到泛化能力较好的基础模型；再利用待测量物体对初始模型再次进行训练，得到目标模型，能够有效改善由于测量系统的随机干扰带来的预测偏差的问题。
-
公开(公告)号：CN118294472A
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202311587297.1
申请日：2023-11-24
申请人： 张江国家实验室
摘要： 本发明实施例提供一种评估测量的不确定度方法及装置，应用于测量分析领域，包括：获取待检测对象在不同角度的待检测三维图像；三维图像包括亮斑结构和暗部细节结构；将按照设定检测顺序获取的不同角度的待检测三维图像进行降维处理，得到待检测对象的二维图像；将二维图像分别输入至K个待使用模型中，输出K个测量数据和N个不确定度，其中N为不大于K的正整数；根据K个测量数据和N个不确定度，确定待检测对象的目标测量数据和目标测量数据对应的目标不确定度。可以实现较快速的得到目标测量数据和目标不确定度，从而便于后续根据确定目标测量数据的精度。
-
公开(公告)号：CN220084691U
公开(公告)日：2023-11-24
申请号：CN202320858065.4
申请日：2023-04-17
申请人： 张江国家实验室
IPC分类号： G01N21/01 , G01N21/88 , G01N21/956
摘要： 本公开涉及一种光学测量设备。该光学测量设备包括：光源，所述光源被配置为产生至少两束测量光束，其中，所述至少两束测量光束中的每束测量光束被配置为分别沿不同的出射光路行进以用于照射到相应的样品上；以及至少两个光学探测器，所述至少两个光学探测器中的每个光学探测器分别设于相应的一条出射光路上，且每个光学探测器被配置为接收并检测沿相应的出射光路行进的测量光束与相应的样品相互作用所产生的出射光的至少一部分。
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
9 条记录 (耗时 0.028 秒)
