公开(公告)号：CN117203368A

公开(公告)日：2023-12-08

申请号：CN202280030763.3

申请日：2022-03-30

Applicant: 拓自达电线株式会社

Inventor： 平野正树

IPC: C23C24/04

Abstract: 能够在基材的表面高效地形成品质稳定的膜的掩模治具(1)具备主体部(11)和掩模罩(12)。主体部(11)包括第1面(11s1)和位于与第1面(11s1)相反的一侧的第2面(11s2)。掩模罩(12)以与主体部(11)重叠的方式配置于主体部(11)的第2面(11s2)侧，包括第3面(12s1)和位于与第3面(12s1)相反的一侧的第4面(12s2)。掩模罩(12)由酰亚胺系树脂形成。

公开(公告)号：CN110603104A

公开(公告)日：2019-12-20

申请号：CN201880030617.4

申请日：2018-02-22

Applicant: 拓自达电线株式会社

Inventor： 平野正树

IPC: B05B1/12 ,  B05B7/16 ,  B05D1/08

Abstract: 实现一种能容易地控制成膜区域的喷雾器喷嘴等。喷雾器喷嘴（10）具备：喷嘴主体（1,2,3）；喷嘴头端部（4），其与喷嘴主体（1,2,3）的头端进行连结；至少1个轨道变更部（6），其配置于喷嘴头端部（4）中的载气通道内且使膜材料的轨道变更。

公开(公告)号：CN108698059A

公开(公告)日：2018-10-23

申请号：CN201780014477.7

申请日：2017-03-17

Applicant: 拓自达电线株式会社

Inventor： 平野正树

IPC: B05B7/16 ,  C23C4/12 ,  C23C24/04

CPC classification number: B05B7/20 ,  B05B7/1486 ,  B05B7/1626 ,  C23C4/12 ,  C23C24/04

Abstract: 实现易于在狭小区域成膜的、喷雾器喷嘴、成膜装置、及成膜方法。喷雾器喷嘴1具备：载气的通道沿着该载气的流向而缩小的气体入口部(2)、载气的通道沿着该载气的流向而扩大的通路扩大部(3)、形成有将所述载气的通道与外部空间连通的一个或多个开口(4a)的开口形成部(4)、以及、所述载气的通道沿着该载气的流向而缩小的气体出口部(5)。