公开(公告)号：CN115038812A

公开(公告)日：2022-09-09

申请号：CN202180013674.3

申请日：2021-02-26

Applicant: 拓自达电线株式会社

Inventor： 平野正树

IPC: C23C24/04

Abstract: 在固相粒子沉积装置的喷嘴运行时，也高效回收飞散的固相粒子。附件（1）由与冷喷涂装置（100）的喷嘴（130）接合的接合部（2）以及开口部（3）构成，该开口部（3）与接合部（2）结合且含有与回收部（20）连结的至少1个开口（3a、3b），该回收部回收喷嘴（130）向基板（170）喷射的、与基板（170）上的成膜无关的固相粒子（30b）。

公开(公告)号：CN117940609A

公开(公告)日：2024-04-26

申请号：CN202280059873.2

申请日：2022-09-28

Applicant: 拓自达电线株式会社

Inventor： 平野正树

IPC: C23C24/04 ,  B05B7/04 ,  B05B7/16

Abstract: 在喷镀法中使用的成膜装置具备：喷枪，其包括喷嘴(2b)；粉末供给部，其向上述喷枪供给成为成膜原料的粉末；以及气体供给部，其向喷枪供给工作气体。喷嘴(2b)具有：不锈钢管(23)，其作为喷嘴管；陶瓷管(22)，其与不锈钢管(23)的供工作气体流动的上游侧连接；喷嘴支架(21)，其供陶瓷管(22)嵌插。喷嘴保持架(21)包括第1部分(21A)，该第1部分(21A)沿工作气体在喷嘴保持架(21)内流动的第1方向延伸。该成膜装置还具备连接粉末供给部和第1部分(21A)的配管(5)。配管(5)的与第1部分(21A)连接的部分即配管(5A)沿与第1方向交叉的第2方向延伸。

公开(公告)号：CN116917545A

公开(公告)日：2023-10-20

申请号：CN202280018150.8

申请日：2022-03-23

Applicant: 拓自达电线株式会社

Inventor： 平野正树

IPC: C23C24/04

Abstract: 提供能够在基材的表面高效地形成品质稳定的膜的掩模治具、成膜方法以及成膜装置。掩模治具(1)是在喷镀法中使用的掩模治具(1)，该掩模治具(1)具备主体部(11)。主体部(11)包括第1面(11a)和第2面(11b)。第2面(11b)位于与第1面(11a)相反的一侧。在主体部(11)形成有自第1面(11a)到达第2面(11b)的贯通孔(13)。第2面(11b)包括相对于第1面(11a)的倾斜角度(θ1、θ2)为30°以上且小于90°的倾斜面(12a、12b)。第2面(11b)中的贯通孔(13)的开口端(13a)形成于倾斜面(12a、12b)。

公开(公告)号：CN115038812B

公开(公告)日：2024-05-28

申请号：CN202180013674.3

申请日：2021-02-26

Applicant: 拓自达电线株式会社

Inventor： 平野正树

IPC: C23C24/04

Abstract: 在固相粒子沉积装置的喷嘴运行时，也高效回收飞散的固相粒子。附件（1）由与冷喷涂装置（100）的喷嘴（130）接合的接合部（2）以及开口部（3）构成，该开口部（3）与接合部（2）结合且含有与回收部（20）连结的至少1个开口（3a、3b），该回收部回收喷嘴（130）向基板（170）喷射的、与基板（170）上的成膜无关的固相粒子（30b）。

公开(公告)号：CN115210405A

公开(公告)日：2022-10-18

申请号：CN202180019703.7

申请日：2021-03-05

Applicant: 拓自达电线株式会社

Inventor： 平野正树

IPC: C23C24/04

Abstract: 本公开为实现减低膜的膜厚差的喷涂喷嘴。本公开是一种冷喷涂装置（100）的喷涂喷嘴（1），其包括：含有供膜材料及载气通过的第1通路（20）的喷嘴主体（15）；设于喷嘴主体（15）的前端部且含有与第1通路（20）连通的第2通路（21）的喷嘴前端部（16），该第2通路（21）在远离其截面中心（P）的位置扩宽。

公开(公告)号：CN111183555A

公开(公告)日：2020-05-19

申请号：CN201880066474.2

申请日：2018-05-11

Applicant: 拓自达电线株式会社

Inventor： 平野正树

IPC: H01R4/02 ,  C23C24/04 ,  H01R4/00 ,  H01R43/02 ,  H02G15/02 ,  C23C4/12

Abstract: 本发明实现能减轻操作者负担的电线连接结构（80）、电线连接方法、及接线桩（1）。具备：1条或多条电线（10）；接线桩（1），其具有供1条或多条电线（10）插入的、与1条或多条电线（10）对应的1个或多个插入孔（7）；通过喷涂而形成的连接部（20），其在1条或多条电线（10）穿过1个或多个插入孔（7）后的一侧将1条或多条电线（10）与接线桩（1）连接。

公开(公告)号：CN118785962A

公开(公告)日：2024-10-15

申请号：CN202380023460.3

申请日：2023-02-13

Applicant: 拓自达电线株式会社

Inventor： 平野正树

IPC: B01J4/00 ,  B05C19/06 ,  B05D1/02 ,  B05D3/00 ,  B65B69/00 ,  B05B7/16

Abstract: 粉体投入用部件(1)具备第1部件(10)和第2部件(15)，该第1部件(10)包括底部(11)和外框(12)。底部(11)形成有底部孔(11CV)。外框(12)自底部(11)的外周沿与底部(11)交叉的第1方向延伸。第2部件(15)以被外框(12)包围的方式安装于底部(11)。第2部件(15)包括在俯视时具有宽度的前端部(15A)。前端部(15A)具有沿第1方向延伸且形成有第1空洞(15CV)的筒形状的部分。

公开(公告)号：CN110603104B

公开(公告)日：2022-07-12

申请号：CN201880030617.4

申请日：2018-02-22

Applicant: 拓自达电线株式会社

Inventor： 平野正树

IPC: B05B1/12 ,  B05B7/16 ,  B05D1/08

Abstract: 实现一种能容易地控制成膜区域的喷雾器喷嘴等。喷雾器喷嘴（10）具备：喷嘴主体（1,2,3）；喷嘴头端部（4），其与喷嘴主体（1,2,3）的头端进行连结；至少1个轨道变更部（6），其配置于喷嘴头端部（4）中的载气通道内且使膜材料的轨道变更。

公开(公告)号：CN111183555B

公开(公告)日：2022-02-11

申请号：CN201880066474.2

申请日：2018-05-11

Applicant: 拓自达电线株式会社

Inventor： 平野正树

IPC: H01R4/02 ,  C23C24/04 ,  H01R4/00 ,  H01R43/02 ,  H02G15/02 ,  C23C4/12

Abstract: 本发明实现能减轻操作者负担的电线连接结构（80）、电线连接方法、及接线桩（1）。具备：1条或多条电线（10）；接线桩（1），其具有供1条或多条电线（10）插入的、与1条或多条电线（10）对应的1个或多个插入孔（7）；通过喷涂而形成的连接部（20），其在1条或多条电线（10）穿过1个或多个插入孔（7）后的一侧将1条或多条电线（10）与接线桩（1）连接。

公开(公告)号：CN118742671A

公开(公告)日：2024-10-01

申请号：CN202380023397.3

申请日：2023-02-13

Applicant: 拓自达电线株式会社

Inventor： 平野正树 ,  大塚侑平

IPC: C23C24/04 ,  B05B7/16

Abstract: 在冷喷涂法等喷镀法中使用的喷嘴(2b)具备供作为成膜原料的粉末(10)和工作气体通过的喷嘴管(23)。喷嘴管(23)具有表面粗糙度Sa为粉末(10)的粒度分布的累积粒径D10的25％以下的内周面。