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公开(公告)号：CN101539532A
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200910128666.4
申请日：2009-03-20
Applicant: 日本碍子株式会社
IPC: G01N21/88
CPC classification number: G01N21/95692 , G01N15/088 , G01N21/47 , G01N2015/0846
Abstract: 本发明涉及蜂窝结构体缺陷检查装置。课题是提供能够以高灵敏度检测蜂窝结构体的小的缺陷或产生在外周附近的缺陷的机构。通过提供具备整流板(41)和气流形成机构(空气源(92)以及集管(59))的蜂窝结构体缺陷检查装置来完成上述课题。
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