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公开(公告)号：CN119085510A
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202311312682.5
申请日：2023-10-11
Applicant: 杭州晶耐科光电技术有限公司
Abstract: 本发明公开了一种基于多波前共路干涉的便携式表面瑕疵3D轮廓仪装置。本发明包括照明系统、显微系统、光学成像系统和干涉系统，将干涉系统与显微系统结合，实现被测样品的表面微观轮廓检测。本发明2D相机能标定样品表面的瑕疵宽度。3D相机利用编码光栅与相位光栅组合，形成多波前横向剪切干涉的数字干涉传感器，实现被检样品的表面微观轮廓及划痕等瑕疵的深度检测。本发明采用共路干涉，抗干扰能力强，无需专用光学实验平台，可直接放置于三脚架上或机械臂上。且被测样品可以处于任何装配或加工状态，只需控制轮廓仪的多维调整架对样品进行调焦和成像，大大便利了样品的在线检测功能，设备特别适合于车间现场、户外环境实现抗干扰检测。
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公开(公告)号：CN114322834B
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202111680644.6
申请日：2021-12-29
Applicant: 杭州晶耐科光电技术有限公司
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种自由曲面零位干涉检测装置及计算全息图设计方法。本发明解决了非回转对称性自由曲面检测所需零位补偿元件难以设计、优化与仿真的难题。本发明利用自由曲面表达式进行密集采样得到采样点坐标并计算出对应法向量，基于双通光路光线追迹原理在选定位置计算得到计算全息图所需补偿离散点相位值，基于Zernike多项式拟合波前原理计算得到连续相位值，经自研算法与光路仿真软件优化后达到零位补偿标准，生成刻蚀光刻铬板所需工程图，产生包含零位补偿与辅助定位功能的计算全息图实物。位姿调节足够精准时，自由曲面面形误差由出射平面波携带，采集、解调与重构波前能够定量获得面形误差信息。
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公开(公告)号：CN114965365A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210246376.5
申请日：2022-03-14
Applicant: 杭州晶耐科光电技术有限公司
Abstract: 本发明公开了一种可用于活体细胞实时检测的干涉定量相位显微成像系统。本发明包括改进的显微成像系统、四波前横向剪切干涉系统；四波前横向剪切干涉系统包括混合光栅与CCD；改进的显微成像系统包括还包括窄带滤光片与孔径光阑共同组成的LED光源相干性限制系统；LED光源发出的光束经相干性限制系统的窄带滤光片与孔径光阑后，经第一准直透镜产生平行光，穿过样品载物台进入倒置显微物镜，出射光经反射镜与第二准直透镜后平行入射到四波前横向剪切干涉系统的混合光栅发生干涉，由CCD记录干涉图，再通过解调重构算法得到细胞三维图像。本发明可以在不损伤细胞的基础上进行实时成像，为细胞生物学的研究提出了新的活体检测方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112945152B
公开(公告)日：2022-08-26
申请号：CN202110172065.4
申请日：2021-02-08
Applicant: 杭州晶耐科光电技术有限公司
IPC: G01B11/30
Abstract: 本发明公开了一种基于双边掠入射共路自干涉技术的晶圆平坦度检测装置。本发明包含检测装置及检测方法两部分内容。在装置结构上，本发明采用了双边掠入射检测光路，解决了晶圆未抛光面在正入射时反射率过低的问题，同时无需翻转晶圆即可完成检测，实现了两个面检测结果的准确对应；本发明引入了光束整形系统，消除了掠入射导致的干涉图映射误差；本发明结合了具有共光路、自干涉特点的四波前横向剪切干涉技术，简化了系统结构、提高了抗环境干扰的能力。在检测方法上，本发明提出了由干涉法测得相位计算晶圆面型，再由晶圆面型计算晶圆平坦的参数的方法，可计算的晶圆平坦度参数包括：翘曲度、形变量、关于拟合面的变形量和最大厚度偏差。
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公开(公告)号：CN113411501A
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN202110725440.3
申请日：2021-06-29
Applicant: 杭州晶耐科光电技术有限公司
Abstract: 本发明公开了一种基于嵌入式及双光谱成像的无人机载电力巡检方法及系统。本发明包括双光谱视频采集模块、图像处理模块、双模式视频输出模块和通信模块；通过双光谱视频采集模块分别由可见光CCD和紫外光ICCD将可见光图像以及电晕放电产生的紫外光图像采集到系统内，经图像处理模块后得到处理完成的视频图像，最后经双模式视频输出模块分为两路，一路传输至液晶屏幕进行可视化输出，另一路由通信模块经编码后以码流形式进行推送。本发明实现了针对绝缘子的异常电晕放电位置检测和针对绝缘子和输电杆塔的目标识别，同时可以传递位姿信息、接收传感器信息以及存储视频文件，解决了传统电力巡检方法中巡检效率低、危险性高的问题。
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公开(公告)号：CN112964203A
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN202110181597.4
申请日：2021-02-08
Applicant: 杭州晶耐科光电技术有限公司
IPC: G01B11/30
Abstract: 本发明公开了一种检测粗糙平面面型的掠入射共路自干涉装置，其结构上包含光源及扩束镜、待测面、光束整形系统以及共路自干涉系统。本发明采用了掠入射检测光路以取代常规的正入射检测光路，利用掠入射状态下解决了正入射检测粗糙面时因反射率不足而造成的干涉图对比度差的问题，并提出了利用投影十字像的方法来标定掠入射角的大小；本发明设计了光束整形系统，对待测面反射的光束进行整形，将其截面形状由椭圆整形为正圆，解决了掠入射干涉技术中干涉图存在的映射误差的问题；本发明结合了基于四波前横向剪切干涉的共路自干涉技术，解决了传统干涉系统受环境扰动影响大的问题，同时无需参考光路，极大简化了系统结构。
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公开(公告)号：CN215642832U
公开(公告)日：2022-01-25
申请号：CN202121454311.7
申请日：2021-06-29
Applicant: 杭州晶耐科光电技术有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种基于嵌入式及双光谱成像的无人机载电力巡检设备。本实用新型包括双光谱视频采集模块、图像处理模块、双模式视频输出模块和通信模块；双光谱视频采集模块通过可见光CCD采集可见光图像，双光谱视频采集模块通过紫外光ICCD采集电晕放电产生的紫外光图像；可见光图像和紫外光图像经图像处理模块后得到处理完成的视频图像，最后经双模式视频输出模块分为两路，一路传输至液晶屏幕进行可视化输出，另一路由通信模块经编码后以码流形式进行推送。本实用新型解决了传统电力巡检方法中巡检效率低、危险性高的问题。
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