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公开(公告)号：CN118293787B
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202410721297.4
申请日：2024-06-05
Applicant: 杭州晶耐科光电技术有限公司
IPC: G01B9/02015 , G01B9/02 , G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种基于四波共路干涉的球面动态干涉仪及其检测方法。本发明利用一个组合的双干涉系统，包括泰曼格林干涉系统和四波共路干涉系统；其中泰曼格林干涉系统用于对整个光路中的被检镜进行调整，实现消球差镜的焦点与被检面的球心重合的光路对准调整，不做检测。待调整完成后，另一组四波共路干涉系统对被检镜的被检面的波前图像进行采集，具体是利用具有随机编码混合光栅的四波干涉传感器，获取稳定的被检测球面的波前信息，从而隔离外界的振动影响，本发明既能够实现必要的光路对准调整，又能够有效去除外界的振动影响，实现高精度的精密被检面的面形检测。
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公开(公告)号：CN111928788B
公开(公告)日：2021-11-26
申请号：CN202010915875.X
申请日：2020-09-03
Applicant: 杭州晶耐科光电技术有限公司
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明公开了一种双向对射光谱共焦平板厚度检测系统及其双光轴校准方法。本发明先分别调整系统两个共焦探头与被测平板表面的平行度；其次粗调系统两个共焦探头光轴对齐，使得两个共焦探头光轴平行且相交于被测平板中心点；最后精调系统两个共焦探头光轴对齐，使得其平行且相交于被测平板中心点；本发明利用两个五轴位移平台承载共焦探头置于被测平板两侧，通过调整对应的轴体旋钮，利用光能量法定量精确调整系统平行度、对齐共焦探头光轴。只有在进行了平行度校准与光轴对齐之后，系统才能精确进行参数标定与厚度检测，并且有效减小了后续平板厚度测量的误差，提高系统测量精度。
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公开(公告)号：CN115585894A
公开(公告)日：2023-01-10
申请号：CN202211377247.6
申请日：2022-11-04
Applicant: 杭州晶耐科光电技术有限公司
IPC: G01J9/02
Abstract: 本发明公开了一种基于4f系统实现四波前横向剪切率极小的波前检测方法。本发明包括利用两组消球差光学系统组成的4f系统，物面放置由振幅光栅和相位光栅所组成的随机编码混合光栅，经过4f系统将该混合光栅直接成像在CCD感光面的像面上。本发明不但可以实现四波前剪切率可以达到极小，达到高精度检测；通过调整混合光栅后不同位置的波前位于4f系统前焦面，可以实现对光栅后不同剪切量的干涉波前的4f成像，从而实现可变剪切率，实现高精度与高灵敏度的平衡；利用该成像方法还能解决CCD相机感光面受类似保护玻璃及其他物理结构限制，而无法控制实现较小的剪切率的不足，尤其是对于一些昂贵及特殊的相机、像增强器等。
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公开(公告)号：CN112945152A
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN202110172065.4
申请日：2021-02-08
Applicant: 杭州晶耐科光电技术有限公司
IPC: G01B11/30
Abstract: 本发明公开了一种基于双边掠入射共路自干涉技术的晶圆平坦度检测装置。本发明包含检测装置及检测方法两部分内容。在装置结构上，本发明采用了双边掠入射检测光路，解决了晶圆未抛光面在正入射时反射率过低的问题，同时无需翻转晶圆即可完成检测，实现了两个面检测结果的准确对应；本发明引入了光束整形系统，消除了掠入射导致的干涉图映射误差；本发明结合了具有共光路、自干涉特点的四波前横向剪切干涉技术，简化了系统结构、提高了抗环境干扰的能力。在检测方法上，本发明提出了由干涉法测得相位计算晶圆面型，再由晶圆面型计算晶圆平坦的参数的方法，可计算的晶圆平坦度参数包括：翘曲度、形变量、关于拟合面的变形量和最大厚度偏差。
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公开(公告)号：CN111928788A
公开(公告)日：2020-11-13
申请号：CN202010915875.X
申请日：2020-09-03
Applicant: 杭州晶耐科光电技术有限公司
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明公开了一种双向对射光谱共焦平板厚度检测系统及其双光轴校准方法。本发明先分别调整系统两个共焦探头与被测平板表面的平行度；其次粗调系统两个共焦探头光轴对齐，使得两个共焦探头光轴平行且相交于被测平板中心点；最后精调系统两个共焦探头光轴对齐，使得其平行且相交于被测平板中心点；本发明利用两个五轴位移平台承载共焦探头置于被测平板两侧，通过调整对应的轴体旋钮，利用光能量法定量精确调整系统平行度、对齐共焦探头光轴。只有在进行了平行度校准与光轴对齐之后，系统才能精确进行参数标定与厚度检测，并且有效减小了后续平板厚度测量的误差，提高系统测量精度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114322834A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111680644.6
申请日：2021-12-29
Applicant: 杭州晶耐科光电技术有限公司
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种自由曲面零位干涉检测装置及计算全息图设计方法。本发明解决了非回转对称性自由曲面检测所需零位补偿元件难以设计、优化与仿真的难题。本发明利用自由曲面表达式进行密集采样得到采样点坐标并计算出对应法向量，基于双通光路光线追迹原理在选定位置计算得到计算全息图所需补偿离散点相位值，基于Zernike多项式拟合波前原理计算得到连续相位值，经自研算法与光路仿真软件优化后达到零位补偿标准，生成刻蚀光刻铬板所需工程图，产生包含零位补偿与辅助定位功能的计算全息图实物。位姿调节足够精准时，自由曲面面形误差由出射平面波携带，采集、解调与重构波前能够定量获得面形误差信息。
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公开(公告)号：CN114965365B
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202210246376.5
申请日：2022-03-14
Applicant: 杭州晶耐科光电技术有限公司
Abstract: 本发明公开了一种可用于活体细胞实时检测的干涉定量相位显微成像系统。本发明包括改进的显微成像系统、四波前横向剪切干涉系统；四波前横向剪切干涉系统包括混合光栅与CCD；改进的显微成像系统包括还包括窄带滤光片与孔径光阑共同组成的LED光源相干性限制系统；LED光源发出的光束经相干性限制系统的窄带滤光片与孔径光阑后，经第一准直透镜产生平行光，穿过样品载物台进入倒置显微物镜，出射光经反射镜与第二准直透镜后平行入射到四波前横向剪切干涉系统的混合光栅发生干涉，由CCD记录干涉图，再通过解调重构算法得到细胞三维图像。本发明可以在不损伤细胞的基础上进行实时成像，为细胞生物学的研究提出了新的活体检测方法。
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公开(公告)号：CN118293787A
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202410721297.4
申请日：2024-06-05
Applicant: 杭州晶耐科光电技术有限公司
IPC: G01B9/02015 , G01B9/02 , G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种基于四波共路干涉的球面动态干涉仪及其检测方法。本发明利用一个组合的双干涉系统，包括泰曼格林干涉系统和四波共路干涉系统；其中泰曼格林干涉系统用于对整个光路中的被检镜进行调整，实现消球差镜的焦点与被检面的球心重合的光路对准调整，不做检测。待调整完成后，另一组四波共路干涉系统对被检镜的被检面的波前图像进行采集，具体是利用具有随机编码混合光栅的四波干涉传感器，获取稳定的被检测球面的波前信息，从而隔离外界的振动影响，本发明既能够实现必要的光路对准调整，又能够有效去除外界的振动影响，实现高精度的精密被检面的面形检测。
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公开(公告)号：CN112964203B
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：CN202110181597.4
申请日：2021-02-08
Applicant: 杭州晶耐科光电技术有限公司
IPC: G01B11/30
Abstract: 本发明公开了一种检测粗糙平面面型的掠入射共路自干涉装置，其结构上包含光源及扩束镜、待测面、光束整形系统以及共路自干涉系统。本发明采用了掠入射检测光路以取代常规的正入射检测光路，利用掠入射状态下解决了正入射检测粗糙面时因反射率不足而造成的干涉图对比度差的问题，并提出了利用投影十字像的方法来标定掠入射角的大小；本发明设计了光束整形系统，对待测面反射的光束进行整形，将其截面形状由椭圆整形为正圆，解决了掠入射干涉技术中干涉图存在的映射误差的问题；本发明结合了基于四波前横向剪切干涉的共路自干涉技术，解决了传统干涉系统受环境扰动影响大的问题，同时无需参考光路，极大简化了系统结构。
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公开(公告)号：CN113411501B
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN202110725440.3
申请日：2021-06-29
Applicant: 杭州晶耐科光电技术有限公司
Abstract: 本发明公开了一种基于嵌入式及双光谱成像的无人机载电力巡检方法及系统。本发明包括双光谱视频采集模块、图像处理模块、双模式视频输出模块和通信模块；通过双光谱视频采集模块分别由可见光CCD和紫外光ICCD将可见光图像以及电晕放电产生的紫外光图像采集到系统内，经图像处理模块后得到处理完成的视频图像，最后经双模式视频输出模块分为两路，一路传输至液晶屏幕进行可视化输出，另一路由通信模块经编码后以码流形式进行推送。本发明实现了针对绝缘子的异常电晕放电位置检测和针对绝缘子和输电杆塔的目标识别，同时可以传递位姿信息、接收传感器信息以及存储视频文件，解决了传统电力巡检方法中巡检效率低、危险性高的问题。
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