投影透镜
    11.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109154679B

    公开(公告)日:2021-05-14

    申请号:CN201780031679.2

    申请日:2017-05-19

    Abstract: 投影透镜(LN)具有透镜基板(10)和形成在透镜基板(10)的表面的至少由八层构成的防反射膜(20)。从空气侧起数,防反射膜(20)的第一层(21)的材料为MgF2,第二层(22)、第四层(24)、第六层(26)以及第八层(28)的折射率为2.0~2.3,第三层(23)、第五层(25)以及第七层(27)的材料为SiO2,在设计主波长λ0=550nm的情况下的、相对于透镜基板(10)的折射率ns的第一层(21)~第八层(28)的1/4波长光学膜厚Q1~Q8满足预先决定的式(1)~式(8)。

    光学元件以及投影透镜
    12.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110691996A

    公开(公告)日:2020-01-14

    申请号:CN201880034026.4

    申请日:2018-03-09

    Abstract: 光学元件在光学元件基板上具有防反射膜。防反射膜具有从空气侧起依次交替地层叠八层以上的由SiO2构成的低折射率膜和由TiO2、Nb2O5或者Ta2O5构成的一种以上的高折射率膜而成的构造。在防反射膜中,若将设计主波长设为550nm,则从空气侧起数而得的第一层~第六层的1/4波长光学膜厚为:在第一层的低折射率膜中为0.94±0.05,在第二层的高折射率膜中为1.29±0.25,在第三层的低折射率膜中为0.08±0.05,在第四层的高折射率膜中为0.45±0.20,在第五层的低折射率膜中为2.05±0.20,在第六层的高折射率膜中为0.45±0.20。

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