公开(公告)号：CN104903760B

公开(公告)日：2017-10-27

申请号：CN201380067662.4

申请日：2013-12-20

Applicant: 柯尼卡美能达株式会社

Inventor： 地大英隆 ,  高原浩滋 ,  中村孔二 ,  波多野卓史

IPC: G02B5/28 ,  B32B7/02 ,  G02B5/22 ,  G02B5/26

CPC classification number: G02B5/208 ,  B32B7/02 ,  B32B2307/412 ,  B32B2307/418 ,  B32B2551/00 ,  G02B5/282 ,  H04N5/33 ,  H04N9/045

Abstract: IR截止滤光片的多层膜具有以下的特性。由形成在基板(2)上的高折射率层(4)以及低折射率层(5)的层叠体构成，450nm～600nm的波长范围内的平均透过率是90％以上。在0°入射时透过率为50％的波长处于650±25nm的范围内。满足0.5％/nm＜|ΔT|＜7％/nm。0°入射和30°入射时的、透过率为50％的波长的差是8nm以内。0°入射和30°入射时的、透过率为75％的波长的差是20nm以内。上述的|ΔT|是0°入射时的|(T70％－T30％)/(λ70％－λ30％)|的值(％/nm)，T70％是透过率的值是70％，T30％是透过率的值是30％，λ70％是透过率为70％的波长(nm)，λ30％是透过率为30％的波长(nm)。

公开(公告)号：CN108368604A

公开(公告)日：2018-08-03

申请号：CN201680074911.6

申请日：2016-12-07

Applicant: 柯尼卡美能达株式会社

Inventor： 地大英隆 ,  松田亮二

IPC: C23C14/54 ,  C23C14/50

Abstract: 本发明提供降低从目标膜厚的偏移的成膜装置。成膜装置(1)是(n+1)层以上(n是1以上的正整数。)的多层膜的成膜装置。成膜装置(1)具备：鼓(10)，其一边支承基板(50)一边旋转；成膜机构(20)，其对基板(50)进行成膜处理；以及控制机构(40)，其是控制鼓(10)的旋转的控制机构(40)，根据多层膜的目标膜厚、初始设定的成膜机构(20)的成膜速率以及初始设定的鼓(10)的转速计算鼓(10)的旋转数，并调整鼓(10)的转速，使计算出的鼓(10)的旋转数接近整数。

公开(公告)号：CN104903760A

公开(公告)日：2015-09-09

申请号：CN201380067662.4

申请日：2013-12-20

Applicant: 柯尼卡美能达株式会社

Inventor： 地大英隆 ,  高原浩滋 ,  中村孔二 ,  波多野卓史

IPC: G02B5/28 ,  B32B7/02 ,  G02B5/22 ,  G02B5/26

CPC classification number: G02B5/208 ,  B32B7/02 ,  B32B2307/412 ,  B32B2307/418 ,  B32B2551/00 ,  G02B5/282 ,  H04N5/33 ,  H04N9/045 ,  G02B5/22 ,  G02B5/26 ,  G02B5/28

Abstract: IR截止滤光片的多层膜具有以下的特性。由形成在基板(2)上的高折射率层(4)以及低折射率层(5)的层叠体构成，450nm～600nm的波长范围内的平均透过率是90％以上。在0°入射时透过率为50％的波长处于650±25nm的范围内。满足0.5％/nm＜|ΔT|＜7％/nm。0°入射和30°入射时的、透过率为50％的波长的差是8nm以内。0°入射和30°入射时的、透过率为75％的波长的差是20nm以内。上述的|ΔT|是0°入射时的|(T70％－T30％)/(λ70％－λ30％)|的值(％/nm)，T70％是透过率的值是70％，T30％是透过率的值是30％，λ70％是透过率为70％的波长(nm)，λ30％是透过率为30％的波长(nm)。