公开(公告)号：CN102192714B

公开(公告)日：2015-07-01

申请号：CN201110057679.4

申请日：2011-03-10

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 长滨龙也 ,  久保光司 ,  浅野秀光 ,  宫仓常太

IPC: G01B11/24

CPC classification number: G01B9/02068 ,  G01B9/02057 ,  G01B9/0209

Abstract: 一种光干涉测量装置，其包括：宽带光的光源；物镜部，其将宽带光的光路分成包括参照镜的参照光路和包括测量对象的测量光路，并且物镜部输出两个分支光的合成波；以及光路长度改变部，其改变参照光路的光路长度或改变测量光路的光路长度；其中，物镜部包括控制参照光和对象光之间的相位差以产生相消干涉条纹的相位差控制构件以及检测相消干涉条纹的最小辉度位置的最小辉度位置检测部。

公开(公告)号：CN102192714A

公开(公告)日：2011-09-21

申请号：CN201110057679.4

申请日：2011-03-10

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 长滨龙也 ,  久保光司 ,  浅野秀光 ,  宫仓常太

IPC: G01B11/24

CPC classification number: G01B9/02068 ,  G01B9/02057 ,  G01B9/0209

Abstract: 一种光干涉测量装置，其包括：宽带光的光源；物镜部，其将宽带光的光路分成包括参照镜的参照光路和包括测量对象的测量光路，并且物镜部输出两个分支光的合成波；以及光路长度改变部，其改变参照光路的光路长度或改变测量光路的光路长度；其中，物镜部包括控制参照光和对象光之间的相位差以产生相消干涉条纹的相位差控制构件以及检测相消干涉条纹的最小辉度位置的最小辉度位置检测部。

公开(公告)号：CN114746716A

公开(公告)日：2022-07-12

申请号：CN202080082861.2

申请日：2020-11-26

Applicant: 机械视觉照明有限公司 ,  株式会社三丰

Inventor： 增村茂树 ,  高滨康弘 ,  宫仓常太 ,  山县正意

IPC: G01B11/24

Abstract: 照明装置110具有：光源部112；透镜部116，其将照明光以特定的照射立体角IS向被测定物W照射；滤光部114，其将特定的照射立体角IS内分离为具有彼此不同的光的波长区域R、G，B的多个立体角区域IS1、IS2、IS3；拍摄装置CM以规定的观察立体角DS接收照明光产生的被测定物W的物体光，拍摄装置CM的各像素能够彼此识别不同的光的波长区域R、G、B，处理装置120具备：计算部124，其从构成物体光的多个立体角区域RS1、RS2、RS3与规定的观察立体角DS之间的包含关系求出与各像素对应的被测定物W各点的法线向量Vn；形状复原部128，其对被测定物W的形状进行复原。由此，能够迅速地复原对被测定物进行了拍摄的图像内的被测定物各点的信息。

公开(公告)号：CN112461165A

公开(公告)日：2021-03-09

申请号：CN202010940511.7

申请日：2020-09-09

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 今正人 ,  真家洋武 ,  佐佐木诚治 ,  宫仓常太

IPC: G01B15/04 ,  G01N23/046

Abstract: 本发明提供一种X射线测量装置的校正方法，包括：前段特征位置计算工序，将配置于N个部位的球的平行移动进行多次，确定处于N个部位的球各自的投影像的重心位置；单独矩阵计算工序，针对球分别计算单独投影矩阵；单独位置计算工序，基于单独投影矩阵来计算球各自的移动位置；坐标统一工序，计算球的特定的相对位置间隔；后段特征位置计算工序；变换矩阵计算工序，计算投影变换矩阵；旋转检测工序；位置计算工序；以及中心位置计算工序。由此，即使校正治具由于经年变化等而发生变形，也能够通过简单的工序容易地计算例如将被测定物以能够旋转的方式载置的旋转台的旋转中心位置。