非接触式位移传感器
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110823091B

    公开(公告)日:2022-06-14

    申请号:CN201910706108.5

    申请日:2019-08-01

    Inventor: 久保光司

    Abstract: 一种非接触式位移传感器,包括:聚焦定时计算器,其计算测量光聚焦在可测量物体表面上的测量侧聚焦定时、参考光聚焦在第一参考表面上的第一参考侧聚焦定时以及参考光聚焦在第二参考表面上的第二参考侧聚焦定时;特性计算器,其基于第一参考侧聚焦定时、第二参考侧聚焦定时和光路长度差来计算液体透镜装置的折射率特性;以及位置计算器,其基于折射率特性和测量侧聚焦定时相对于驱动信号周期的相位来计算可测量物体的位置。

    可变焦距透镜装置
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110850434B

    公开(公告)日:2024-03-26

    申请号:CN201910710687.0

    申请日:2019-08-02

    Inventor: 久保光司

    Abstract: 一种可变焦距透镜装置,其设置有:可变焦距透镜,其中响应于输入的驱动信号,聚焦位置周期性地改变;光源,其经由可变焦距透镜在物体处发射检测光;光电检测器,其接收被物体反射的检测光并输出光检测信号;信号处理器,其基于输入的光检测信号,输出与其中检测光被聚焦在物体表面上的聚焦时间点同步的光发射信号;照明器,其基于输入的光发射信号,利用照明光向物体提供脉冲照明;以及图像捕获器,其通过可变焦距透镜捕获物体的图像。

    光谱共焦传感器和测量方法

    公开(公告)号:CN107976145B

    公开(公告)日:2021-11-02

    申请号:CN201710984723.3

    申请日:2017-10-20

    Inventor: 久保光司

    Abstract: 本发明提供一种光谱共焦传感器和测量方法。该光谱共焦传感器包括:光源部,用于射出具有不同波长的多个光束;多个光学头,用于将从所述光源部射出的所述多个光束会聚于不同的聚焦位置处,并且射出在所述聚焦位置处被测量点反射的测量光;分光器,其包括:线传感器,以及光学系统,其包括用于使从所述多个光学头射出的多个测量光束发生衍射的衍射光栅,并且向所述线传感器的不同的多个受光区域射出通过所述衍射光栅所衍射的所述多个测量光束;以及位置计算部,用于基于所述线传感器的所述多个受光区域各自的受光位置来计算作为所述多个光学头的测量对象的多个测量点的位置。

    焦距可变光学系统
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113138434A

    公开(公告)日:2021-07-20

    申请号:CN202110073563.3

    申请日:2021-01-20

    Abstract: 本发明涉及焦距可变光学系统。焦距可变光学系统(10)具备:成像透镜(3),对来自物镜(2)的平行光束进行汇聚并形成中间像;中继系统(4),从物体侧起依次包含第一中继透镜(41)以及第二中继透镜(42)并将中间像中继到无限远;以及液体共振式的透镜系统(5),被配置在第一中继透镜(41)与第二中继透镜(42)之间,透镜系统(5)的前侧主点被配置成,相对于物镜(2)的出射光瞳而共轭,满足以下的式(1):90≤fTube/fR1≤2.15…(1),其中,fTube:成像透镜的焦距;fR1:第一中继透镜(41)的焦距。

    光谱共焦传感器
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107044822B

    公开(公告)日:2021-04-27

    申请号:CN201710064423.3

    申请日:2017-02-04

    Abstract: 本发明提供一种光谱共焦传感器和测量方法。光谱共焦传感器包括第一光源,用于射出包括具有不同波长的多个光束的测量光;第二光源,用于射出具有预定波长的可见光束;光学头,其使入射光会聚在与所述入射光的波长相对应的焦点位置处,并且输出在所述焦点位置处由测量对象反射的反射光;位置计算部,用于基于所述光学头所输出的反射光来计算所述测量对象的位置;以及切换部,用于选择性地在仅所述测量光进入所述光学头的第一操作和至少所述可见光束进入所述光学头的第二操作之间进行切换。

    非接触型位移传感器
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110793432B

    公开(公告)日:2023-04-18

    申请号:CN201910677959.1

    申请日:2019-07-25

    Abstract: 一种非接触型位移传感器,包括:光源,其发射测量光;液体透镜装置,其折射率响应于输入驱动信号而周期性地变化;物镜,其将从光源发射并已经穿过液体透镜装置的测量光照射在可测量物体处;光检测器,接收由可测量物体反射的测量光,并输出光检测信号;以及信号处理器(控制器),其基于从光检测器输出的光检测信号计算测量光聚焦在可测量物体的表面上的聚焦定时,并且基于聚焦定时相对于驱动信号周期的相位获得可测量物体的位置。

    焦距可变透镜设备
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN109683217B

    公开(公告)日:2022-11-15

    申请号:CN201811223259.7

    申请日:2018-10-19

    Abstract: 本发明提供一种焦距可变透镜设备,该焦距可变透镜设备包括:在同一光轴上排列的物镜和成像透镜;前侧透镜系统和后侧透镜系统,其设置在光轴上的物镜和成像透镜之间的区间中,并根据输入的驱动信号改变折射率;以及光阑,其设置在光轴上的前侧透镜系统和后侧透镜系统之间的区间中。

    可变焦距透镜装置和可变焦距透镜控制方法

    公开(公告)号:CN108802870B

    公开(公告)日:2021-12-07

    申请号:CN201810396310.8

    申请日:2018-04-27

    Abstract: 本发明的可变焦距透镜装置(1)具有:折射率根据输入的驱动信号(Cf)变化的透镜系统(3);配置在与透镜系统(3)相同的光轴上的物镜;通过透镜系统(3)和物镜来检测测量对象物的图像的图像检测单元(4);使驱动信号(Cf)跟随透镜系统(3)的谐振频率的谐振锁定控制单元(611);以及切换谐振锁定控制单元(611)的动作或停止的谐振锁定操作单元(711)。

    非接触型位移传感器
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110793432A

    公开(公告)日:2020-02-14

    申请号:CN201910677959.1

    申请日:2019-07-25

    Abstract: 一种非接触型位移传感器,包括:光源,其发射测量光;液体透镜装置,其折射率响应于输入驱动信号而周期性地变化;物镜,其将从光源发射并已经穿过液体透镜装置的测量光照射在可测量物体处;光检测器,接收由可测量物体反射的测量光,并输出光检测信号;以及信号处理器(控制器),其基于从光检测器输出的光检测信号计算测量光聚焦在可测量物体的表面上的聚焦定时,并且基于聚焦定时相对于驱动信号周期的相位获得可测量物体的位置。

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