公开(公告)号：CN109425635A

公开(公告)日：2019-03-05

申请号：CN201811012557.1

申请日：2018-08-31

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 横山雄一郎 ,  萩野健

IPC: G01N25/16

CPC classification number: G01N25/16

Abstract: 本发明提供一种热膨胀系数测定装置和热膨胀系数测定方法。热膨胀测定装置具备温度控制装置、光波干涉仪以及控制装置，控制装置具备：实测数据获取部，其依次变更被测定物的温度，获取在各温度下由光波干涉仪测定的实测数据；数据集生成部，其生成通过将各实测数据的干涉级次设定在任意的范围内所得到的多个验证用数据，从针对各温度的验证用数据中各选出一个验证用数据来形成数据集，来生成多个数据集；以及判定部，其关于多个数据集分别导出阶数各不相同的多个近似函数，针对每个近似函数计算基于验证用数据与近似函数的差的评价指标值，关于各近似函数提取评价指标值最小的候选数据集，基于各候选数据集是否相同来判定候选数据集的有效性。

公开(公告)号：CN107014858A

公开(公告)日：2017-08-04

申请号：CN201610849586.8

申请日：2016-09-23

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 横山雄一郎 ,  萩野健 ,  栗山豊

IPC: G01N25/16 ,  G01B3/02

Abstract: 本发明提供尺寸标准器的线膨胀系数测量方法及其测量装置、以及标准量规。将测量对象物（阶梯规（10））以及标准量规（标准量具（2））平行地支承在恒温槽（30）的内部，将恒温槽（30）的内部温度设为第1温度，将从标准量规的第1基准表面（2A）到第2基准表面（2B）的长度作为基准，对从测量对象物的第1表面（11）到第2表面（12）的长度进行比较测量，将恒温槽（30）的内部温度设为第2温度，同样将从第1基准表面（2A）到第2基准表面（2B）的长度作为基准，对从第1表面（11）到第2表面（12）的长度进行比较测量，根据第1温度下的测量对象物的长度和第2温度下的测量对象物的长度，算出测量对象物的线膨胀系数。

公开(公告)号：CN105277134A

公开(公告)日：2016-01-27

申请号：CN201510425225.6

申请日：2015-07-17

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 萩野键 ,  横山雄一郎 ,  栗山豊

IPC: G01B11/24

CPC classification number: G01B11/2441 ,  G01B5/0004 ,  G01B9/02039 ,  G01B9/02041 ,  G01B2210/52

Abstract: 本发明提供球形状测定方法和装置。一种球形状测定方法，使被测定球(10)能够自如地旋转，在各个旋转位置针对以彼此相邻的测定区域之间具有重复区域的方式设定的每个测定区域测定局部的球面形状，基于这些重复区域的形状来通过拼接运算将各个局部的球面形状接合，由此测定表面形状，在该球形状测定方法中，在从能够自由地保持或释放被测定球(10)的球保持机构(50)释放了被测定球(10)的状态下能够通过球支承台(52)保持球，通过转换对球进行保持的位置，能够高精度地测定球整体的形状。