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公开(公告)号:CN108226216A
公开(公告)日:2018-06-29
申请号:CN201711407229.7
申请日:2017-12-22
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01N25/16
CPC classification number: G01B5/0014 , G01B5/0009 , G01B5/008 , G01B5/28 , G01B7/34 , G01N25/16
Abstract: 提供一种线膨胀系数测定方法和测定装置,其中,在恒温槽(30)的内部将步距规(10)与基准块规(20)平行地支承,利用测定对象物温度变更元件(50)和恒温槽(30)将步距规(10)的温度设为第一温度和第二温度,将基准块规(20)的从第一基准表面(21)至第二基准表面(22)的长度作为基准来对各个温度下的步距规(10)的从第一表面(11)至第二表面(12)的长度进行比较测定,根据第一温度下的测定对象物的长度和第二温度下的测定对象物的长度来计算测定对象物的线膨胀系数。
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公开(公告)号:CN109425635B
公开(公告)日:2022-08-02
申请号:CN201811012557.1
申请日:2018-08-31
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01N25/16
Abstract: 本发明提供一种热膨胀系数测定装置和热膨胀系数测定方法。热膨胀测定装置具备温度控制装置、光波干涉仪以及控制装置,控制装置具备:实测数据获取部,其依次变更被测定物的温度,获取在各温度下由光波干涉仪测定的实测数据;数据集生成部,其生成通过将各实测数据的干涉级次设定在任意的范围内所得到的多个验证用数据,从针对各温度的验证用数据中各选出一个验证用数据来形成数据集,来生成多个数据集;以及判定部,其关于多个数据集分别导出阶数各不相同的多个近似函数,针对每个近似函数计算基于验证用数据与近似函数的差的评价指标值,关于各近似函数提取评价指标值最小的候选数据集,基于各候选数据集是否相同来判定候选数据集的有效性。
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公开(公告)号:CN110879052A
公开(公告)日:2020-03-13
申请号:CN201910831748.9
申请日:2019-09-04
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
Abstract: 本发明提供一种测量点确定方法、非暂时性存储介质和测量点确定设备。该测量点确定方法用于确定在多个测量点处进行测量项的测量处理的测量设备所用的测量点的数量或布置,所述测量点确定方法包括以下步骤:获取测量点数量的最小值和最大值;获取针对测量设备的测量项的不确定性的目标值;对在通过测量设备使用测量点数量的最小值和最大值之间的两个或更多个测量点数量来测量测量项的情况下的不确定性进行估计;以及基于目标值和所估计的不确定性来确定测量设备的测量点数量。
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公开(公告)号:CN110879052B
公开(公告)日:2022-11-01
申请号:CN201910831748.9
申请日:2019-09-04
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
Abstract: 本发明提供一种测量点确定方法、非暂时性存储介质和测量点确定设备。该测量点确定方法用于确定在多个测量点处进行测量项的测量处理的测量设备所用的测量点的数量或布置,所述测量点确定方法包括以下步骤:获取测量点数量的最小值和最大值;获取针对测量设备的测量项的不确定性的目标值;对在通过测量设备使用测量点数量的最小值和最大值之间的两个或更多个测量点数量来测量测量项的情况下的不确定性进行估计;以及基于目标值和所估计的不确定性来确定测量设备的测量点数量。
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公开(公告)号:CN104251871A
公开(公告)日:2014-12-31
申请号:CN201410300968.6
申请日:2014-06-27
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 提供一种恒温槽,该恒温槽能够将试样的温度快速地改变至目标温度,并且能够在提供温度改变后将试样的温度保持在固定温度。恒温槽(101)包括变温部件(150)、恒温室(124)、试样保持室(123)和连通遮断部件(170、171)。变温部件(150)布置于恒温室(124),并且通过变温部件(150)调节恒温室(124)的温度。试样保持室(123)通过导热壁(120)与恒温室(124)分隔开,并且试样保持室(123)内部容纳试样SA。连通遮断部件(170、171)将恒温室(124)和试样保持室(123)之间的连接改变为连通状态或遮断状态。
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公开(公告)号:CN109425634B
公开(公告)日:2022-12-13
申请号:CN201811012107.2
申请日:2018-08-31
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01N25/16
Abstract: 本发明提供一种热膨胀系数测定装置和热膨胀系数测定方法。热膨胀测定装置具备:温度控制装置,其检测被测定物的温度;光波干涉仪,其使用单一波长的光对被测定物的长度尺寸进行测定;实测数据获取部,其依次变更被测定物的温度,获取在各温度下由光波干涉仪测定的被测定物的长度尺寸的实测数据;数据集生成部,其针对各实测数据生成通过将干涉级次设定在任意的范围内所得到的多个验证用数据,从针对各温度的验证用数据中分别选出一个验证用数据作为数据集并生成验证用数据的选择的组合不同的多个数据集;以及判定部,其关于多个数据集分别计算一阶近似函数,使用基于数据集的各验证用数据与一阶近似函数的残差的评价指标值来判定数据集的有效性。
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公开(公告)号:CN108226216B
公开(公告)日:2021-11-16
申请号:CN201711407229.7
申请日:2017-12-22
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01N25/16
Abstract: 提供一种线膨胀系数测定方法和测定装置,其中,在恒温槽(30)的内部将步距规(10)与基准块规(20)平行地支承,利用测定对象物温度变更元件(50)和恒温槽(30)将步距规(10)的温度设为第一温度和第二温度,将基准块规(20)的从第一基准表面(21)至第二基准表面(22)的长度作为基准来对各个温度下的步距规(10)的从第一表面(11)至第二表面(12)的长度进行比较测定,根据第一温度下的测定对象物的长度和第二温度下的测定对象物的长度来计算测定对象物的线膨胀系数。
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公开(公告)号:CN109425635A
公开(公告)日:2019-03-05
申请号:CN201811012557.1
申请日:2018-08-31
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01N25/16
CPC classification number: G01N25/16
Abstract: 本发明提供一种热膨胀系数测定装置和热膨胀系数测定方法。热膨胀测定装置具备温度控制装置、光波干涉仪以及控制装置,控制装置具备:实测数据获取部,其依次变更被测定物的温度,获取在各温度下由光波干涉仪测定的实测数据;数据集生成部,其生成通过将各实测数据的干涉级次设定在任意的范围内所得到的多个验证用数据,从针对各温度的验证用数据中各选出一个验证用数据来形成数据集,来生成多个数据集;以及判定部,其关于多个数据集分别导出阶数各不相同的多个近似函数,针对每个近似函数计算基于验证用数据与近似函数的差的评价指标值,关于各近似函数提取评价指标值最小的候选数据集,基于各候选数据集是否相同来判定候选数据集的有效性。
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公开(公告)号:CN107014858A
公开(公告)日:2017-08-04
申请号:CN201610849586.8
申请日:2016-09-23
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 本发明提供尺寸标准器的线膨胀系数测量方法及其测量装置、以及标准量规。将测量对象物(阶梯规(10))以及标准量规(标准量具(2))平行地支承在恒温槽(30)的内部,将恒温槽(30)的内部温度设为第1温度,将从标准量规的第1基准表面(2A)到第2基准表面(2B)的长度作为基准,对从测量对象物的第1表面(11)到第2表面(12)的长度进行比较测量,将恒温槽(30)的内部温度设为第2温度,同样将从第1基准表面(2A)到第2基准表面(2B)的长度作为基准,对从第1表面(11)到第2表面(12)的长度进行比较测量,根据第1温度下的测量对象物的长度和第2温度下的测量对象物的长度,算出测量对象物的线膨胀系数。
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公开(公告)号:CN116007550A
公开(公告)日:2023-04-25
申请号:CN202211265075.3
申请日:2022-10-17
Applicant: 株式会社三丰
Inventor: 萩野健
Abstract: 本发明涉及不确定度估计方法和存储程序的存储介质。不确定度估计方法,包括以下步骤:获取第一变量值和第二变量值,第一变量值是当坐标测量机(100)的预定测量条件值是第一值时包括在指示测量尺寸和最大允许长度测量误差之间的关系的函数中的多个变量值,第二变量值是当测量条件值是第二值时发生的多个变量值;通过基于多个第一变量值和第二变量值计算当测量条件值是第三值时发生的变量值,来计算对应于第三值的最大允许长度测量误差;以及基于计算的最大允许长度测量误差来估计坐标测量机(100)的测量不确定度。
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