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公开(公告)号：CN106989668A
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201611177236.8
申请日：2016-12-19
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B11/00
Abstract: 提供一种在三轴上响应的扫描探针，以用于坐标测量机。扫描探针利用复用技术以产生X、Y和Z位置信号。X和Y位置信号表示触针联接部分围绕旋转中心的旋转，且Z位置信号表示触针联接部分沿着轴向方向的位置。Z位置信号对轴向检测偏转器在横向于轴向方向的至少一个方向上的运动基本上不敏感。X、Y和Z位置信号可以被处理，以确定触针的接触部分的3D位置，其可以包括利用Z位置信号结合扫描探针的已知三角学，从X或Y位置信号中的至少一个移除轴向运动交叉耦合分量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106338247A
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201610525935.0
申请日：2016-07-06
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B11/02
CPC classification number: G01C3/08 , G01B11/026 , G01B2210/50 , G02B21/0032 , G02B21/0064
Abstract: 提供了一种色点传感器(CPS)系统，其对因为当利用不同功率水平驱动CPS照明源时产生的输入频谱分布强度不一致性导致的潜在误差进行补偿。该CPS系统包含：光笔，包括共焦光路，该共焦光路包含色散元件并且配置为以接近要测量的工件表面的不同距离聚焦不同波长；照明源；以及CPS电子器件。该CPS电子器件包含：照明源控制部，配置为利用不同功率水平驱动照明源；CPS波长检测器，包括沿着CPS波长检测器的测量轴分布的多个像素，以提供输出频谱分布数据；以及功率水平频谱补偿部，配置为补偿输出频谱分布数据，以消除或者减小因为当利用不同功率水平驱动CPS照明源时产生的输入频谱分布强度不一致性导致的潜在误差。
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公开(公告)号：CN112857211B
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202011347388.4
申请日：2020-11-26
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B11/00
Abstract: 一种用于将色度范围传感器光学探针联接到坐标测量机(CMM)的配置，包括电自动连接部和具有第一和第二联接元件的自由空间光纤联接部。第一联接元件具有第一光纤连接器，其被配置为通过第一光纤联接到CMM的波长检测器和光源元件，并且被配置为安装到CMM的探针头部。第二联接元件具有第二光纤连接器，其被配置为通过第二光纤联接到色度范围传感器(CRS)光学探针的光笔，并且被配置为安装到CRS光学探针。第一或第二联接元件中的一个包括一对光学透镜，其被配置为将经由第一光纤接收的光准直，并将准直的光聚焦到第二光纤中。
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公开(公告)号：CN106949831B
公开(公告)日：2019-12-03
申请号：CN201611179005.0
申请日：2016-12-19
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： D.W.塞斯科
IPC: G01B11/00
Abstract: 提供一种扫描探针，以用于坐标测量机。扫描探针包括旋转位置检测配置和轴向位置检测配置，旋转位置检测配置输出表示触针联接部分围绕旋转中心的旋转的X和Y位置信号，轴向位置检测配置输出表示触针联接部分沿着轴向方向的位置的Z位置信号。Z位置信号对轴向检测偏转器在横向于轴向方向的至少一个方向上的运动基本上不敏感。X、Y和Z位置信号可以被处理，以确定触针的接触部分的3D位置，其可以包括利用Z位置信号结合扫描探针的已知三角学，从X或Y位置信号中的至少一个移除轴向运动交叉耦合分量。
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公开(公告)号：CN109141228A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201810631258.X
申请日：2018-06-19
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： D.W.塞斯科
CPC classification number: G01B11/007 , G01B5/012 , G01B5/008 , G01B11/005
Abstract: 提供了一种在三个轴线中响应的扫描探针，以在坐标测量机中使用。扫描探针包括框架、触针悬挂部分和触针位置测量部分。触针位置检测部分包括光源，所述光源被操作为朝向相对于所述触针联接部分固定的位置指示元件辐照源光。所述位置指示元件包括具有发射体材料(例如，磷光体)的位置指示发射器，所述发射体材料输入和吸收来自所述光源的光并且响应为输出激发光。在各种实施例中，所述激发光被作为以下中的至少一种而被引导：沿着轴向测量光斑路径的轴向测量光，以在轴向位置敏感检测器上形成轴向测量光斑；和/或，沿着转动测量光斑路径的转动测量光，以在转动位置敏感检测器上形成转动测量光斑。
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公开(公告)号：CN109141227A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201810630926.7
申请日：2018-06-19
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： D.W.塞斯科
IPC: G01B11/00
Abstract: 提供了一种用于在坐标测量机中使用的在3个轴线中响应的扫描探针。扫描探针包括框架、触针悬挂部分和触针位置检测部分。触针位置检测部分包括光源和位置指示元件，该位置指示元件相对于触针联接部分固定并且包括具有发射体材料(例如，磷光体)的至少一个发射器部分，所述发射体材料输入和吸收来自光源的光并且通过输出激发光来响应。在各种实施例中，激发光作为测量光沿着测量光斑路径(例如，包括远心成像配置)被引导，以在位置敏感检测器(例如，象限型光电检测器)上的光斑位置处形成测量光斑，对此，光斑位置响应于位置指示元件和触针联接部分的位置的对应改变而改变。
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