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公开(公告)号：CN1337576A
公开(公告)日：2002-02-27
申请号：CN01111104.6
申请日：2001-02-27
Applicant: 株式会社先机
Abstract: 在检查印刷电路板等的行传感型外观检查装置中,要求改善检查精度和缩短测试时间这两相互对立的指标。为此,外观检查装置的测试单元(14)具有扫描头。扫描头具有照明单元(30)和行传感器(34)。照明单元(30)具有落射照明源(100)和侧方照明源(102)。落射照明源(100)与被查体之间设有对齐落射光用的透镜状片(106)。进行侧方测试时,落射照明源(100)内除中央部分以外的区域也照明,对侧方光产生辅助光。
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