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    被检查体的外观检查装置
    1.
    发明公开
    被检查体的外观检查装置 有权

    公开(公告)号：CN1987347A

    公开(公告)日：2007-06-27

    申请号：CN200510003383.9

    申请日：2005-12-23

    Applicant: 株式会社先机

    Inventor： 秋山吉宏 ,  杨勇 ,  秋山咲惠

    IPC: G01B11/24

    CPC classification number: G01N21/95607 ,  G01N21/95684 ,  G01N2021/95638 ,  H05K13/08 ,  Y10T29/53178

    Abstract: 本发明揭示一种被检查体的外观检查装置，其目的在于在被检查体的外观检查上能构成扩展性好灵活的系统，另外，缩短基板等被检查体的检查时间，并提高检查精度。在基板(2)的外观检查装置(200)上，多台从属PC(140)和对基板(2)进行摄像的多个摄像单元(30)分别与所述多个摄像单元(30)的每一个对应设置，根据对应的摄像单元(30)摄得的基板(2)的摄像数据对基板(2)进行检查。该多台从属PC(140)的每一台对其它的从属PC(140)发送利用这些其它的从属PC(140)进行检查所需的公用数据。公用数据从由各从属PC(140)对应的摄像单元(30)拍摄的基板(2)的摄像数据中取得。从属PC(140)参照从各个其它的从属PC(140)接到的公用数据对基板(2)作外观检查。

    被检查体的外观检查装置
    2.
    发明公开
    被检查体的外观检查装置 有权

    公开(公告)号：CN1808058A

    公开(公告)日：2006-07-26

    申请号：CN200510003553.3

    申请日：2005-12-23

    Applicant: 株式会社先机

    Inventor： 秋山吉宏

    IPC: G01B11/24

    Abstract: 本发明揭示一种被检查体的外观检查装置，其目的在于缩短基板等被检查体的检查时间。在基板(2)的外观检查装置上，第1摄像单元(30a)及第2摄像单元(30b)通过与基板(2)作相对运动，从而对基板(2)的一面进行扫描。第3摄像单元(30c)及第4摄像单元(30d)配置成夹着基板(2)与第1摄像单元(30a)及第2摄像单元(30b)对向，通过与基板(2)作相对运动，从而对基板(2)的另一面进行扫描。基板输送电动机(58)使摄像单元(30)的各单元与基板(2)相对移动。在基板输送电动机(58)使摄像单元(30)的各个单元与基板(2)相对移动的一次的移动工序中，摄像单元(30)的各个单元完成对基板(2)的扫描。

    外观检测装置以及外观检测方法
    3.
    发明授权
    外观检测装置以及外观检测方法 失效

    公开(公告)号：CN100573112C

    公开(公告)日：2009-12-23

    申请号：CN200410039323.8

    申请日：2004-01-19

    Applicant: 株式会社先机

    Inventor： 秋山吉宏

    IPC: G01N21/892 ,  G02B26/10 ,  G01N21/95 ,  G06T7/00

    CPC classification number: G01N21/95684 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/8851 ,  G01N2021/8887 ,  G01N2021/95638

    Abstract: 本发明目的在于提供一种外观检测装置以及外观检测方法。远心透镜(32A)、(32B)和一维传感器(34A)、(34B)组成的两组远心光学系统设置成沿着基板(1)的摄象方向(74)排列。一维传感器(34A)读取的直线(70A)与一维传感器(34B)读取的直线(70B)部分重复。如果在该状态下获得一条直线的图象数据，将包括两组远心光学系统的扫描头在驱动方向(76)上送出一条直线。然后反复进行同样的处理，获得跨越基板(1)的所有直线的部分重叠的两组图象数据。在修正两个图象重叠部分的位置偏差和颜色偏差基础上合成，通过合成图象检测基板(1)。

    被检查体的外观检查装置
    4.
    发明授权
    被检查体的外观检查装置 有权

    公开(公告)号：CN100483068C

    公开(公告)日：2009-04-29

    申请号：CN200510003553.3

    申请日：2005-12-23

    Applicant: 株式会社先机

    Inventor： 秋山吉宏

    IPC: G01B11/24

    Abstract: 本发明揭示一种被检查体的外观检查装置，其目的在于缩短基板等被检查体的检查时间。在基板(2)的外观检查装置上，第1摄像单元(30a)及第2摄像单元(30b)通过与基板(2)作相对运动，从而对基板(2)的一面进行扫描。第3摄像单元(30c)及第4摄像单元(30d)配置成夹着基板(2)与第1摄像单元(30a)及第2摄像单元(30b)对向，通过与基板(2)作相对运动，从而对基板(2)的另一面进行扫描。基板输送电动机(58)使摄像单元(30)的各单元与基板(2)相对移动。在基板输送电动机(58)使摄像单元(30)的各个单元与基板(2)相对移动的一次的移动工序中，摄像单元(30)的各个单元完成对基板(2)的扫描。

    扫描头及可用该扫描头的外观检查方法和装置
    5.
    发明授权
    扫描头及可用该扫描头的外观检查方法和装置 失效

    公开(公告)号：CN1243970C

    公开(公告)日：2006-03-01

    申请号：CN01111104.6

    申请日：2001-02-27

    Applicant: 株式会社先机

    Inventor： 秋山吉宏 ,  岩野行雄

    IPC: G01N21/956 ,  G01B11/24 ,  G02B26/10

    Abstract: 在检查印刷电路板等的行传感型外观检查装置中 要求改善检查精度和缩短测试时间这两相互对立的指标。为此，外观检查装置的测试单元(14)具有扫描头。扫描头具有照明单元(30)和行传感器(34)。照明单元(30)具有落射照明源(100)和侧方照明源(102)。落射照明源(100)与被查体之间设有对齐落射光用的透镜状片(106)。进行侧方测试时，落射照明源(100)内除中央部分以外的区域也照明，对侧方光产生辅助光。

    外观检测装置以及外观检测方法
    6.
    发明公开
    外观检测装置以及外观检测方法 失效

    公开(公告)号：CN1517702A

    公开(公告)日：2004-08-04

    申请号：CN200410039323.8

    申请日：2004-01-19

    Applicant: 株式会社先机

    Inventor： 秋山吉宏

    IPC: G01N21/892

    CPC classification number: G01N21/95684 ,  G01N21/8806 ,  G01N21/8851 ,  G01N2021/8887 ,  G01N2021/95638

    Abstract: 本发明目的在于提供一种外观检测装置以及外观检测方法。远心透镜(32A)、(32B)和一维传感器(34A)、(34B)组成的两组远心光学系统设置成沿着基板(1)的摄象方向(74)排列。一维传感器(34A)读取的直线(70A)与一维传感器(34B)读取的直线(70B)部分重复。如果在该状态下获得一条直线的图象数据，将包括两组远心光学系统的扫描头在驱动方向(76)上送出一条直线。然后反复进行同样的处理，获得跨越基板(1)的所有直线的部分重叠的两组图象数据。在修正两个图象重叠部分的位置偏差和颜色偏差基础上合成，通过合成图象检测基板(1)。

    用于检查对象的检查装置
    7.
    发明公开
    用于检查对象的检查装置 无效

    公开(公告)号：CN101910784A

    公开(公告)日：2010-12-08

    申请号：CN200980102083.2

    申请日：2009-01-14

    Applicant: 株式会社先机

    Inventor： 秋山吉宏

    IPC: G01B11/02 ,  G01B11/245 ,  H05K13/08

    CPC classification number: G01B11/245 ,  G01B11/06

    Abstract: 在基板检查系统中，第一扫描单元(30)的线性传感器(38)通过经由远心透镜(40)对垂直观察基板(2)的被检查面而得到的映像进行扫描。第二扫描单元(32)的线性传感器(38)对以从垂直于检查面的方向起向第一方向侧倾斜第一角度(α)的角度观察基板(2)的检查面而得到的映像进行扫描。第三扫描单元(34)的线性传感器(38)对以从垂直于检查面的方向起向第二方向侧倾斜第二角度(β)的角度观察基板(2)的检查面而得到的映像进行扫描。判断部利用由第一扫描单元(30)、第二扫描单元(32)以及第三扫描单元(34)所获得的图像数据计算基板(2)的检查面的高度。

    被检查体的外观检查装置
    8.
    发明授权
    被检查体的外观检查装置 有权

    公开(公告)号：CN100439862C

    公开(公告)日：2008-12-03

    申请号：CN200510003383.9

    申请日：2005-12-23

    Applicant: 株式会社先机

    Inventor： 秋山吉宏 ,  杨勇 ,  秋山咲恵

    IPC: G01B11/24

    CPC classification number: G01N21/95607 ,  G01N21/95684 ,  G01N2021/95638 ,  H05K13/08 ,  Y10T29/53178

    Abstract: 本发明揭示一种被检查体的外观检查装置，其目的在于在被检查体的外观检查上能构成扩展性好灵活的系统，另外，缩短基板等被检查体的检查时间，并提高检查精度。在基板(2)的外观检查装置(200)上，多台从属PC(140)和对基板(2)进行摄像的多个摄像单元(30)分别与所述多个摄像单元(30)的每一个对应设置，根据对应的摄像单元(30)摄得的基板(2)的摄像数据对基板(2)进行检查。该多台从属PC(140)的每一台对其它的从属PC(140)发送利用这些其它的从属PC(140)进行检查所需的公用数据。公用数据从由各从属PC(140)对应的摄像单元(30)拍摄的基板(2)的摄像数据中取得。从属PC(140)参照从各个其它的从属PC(140)接到的公用数据对基板(2)作外观检查。

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