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公开(公告)号：CN102933738B
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201180027644.4
申请日：2011-06-15
申请人： 株式会社神户制钢所
CPC分类号： B23K9/00 , C23C14/325 , H01J37/32055 , H01J37/3402
摘要： 本发明提供一种成膜速度快的电弧式蒸发源。本发明的电弧式蒸发源(1)具备：至少一个外周磁铁(3)，其包围标靶(2)的外周，并且被配置成其磁化方向沿着与标靶(2)的表面正交的方向；非环状的第一永磁铁(4A)，其配置于标靶(2)的背面侧，具有与所述外周磁铁(3)的极性同方向极性且被配置成其磁化方向沿着与标靶(2)的表面正交的方向；非环状的第二永磁铁(4B)，其在与所述第一永磁铁(4A)隔开间隔的状态下，配置于第一永磁铁(4A)与标靶(2)之间、或配置于第一永磁铁(4A)的背面侧，具有与所述外周磁铁(3)的极性同方向的极性并且被配置成其磁化方向沿着与标靶(2)的表面正交的方向；以及磁性体(5)，其配置在第一永磁铁(4A)与第二永磁铁(4B)之间。
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公开(公告)号：CN1347798A
公开(公告)日：2002-05-08
申请号：CN00137050.2
申请日：1997-06-24
申请人： 株式会社神户制钢所
IPC分类号： B29B7/20
CPC分类号： B29B7/283 , B29B7/183 , Y10S366/601
摘要： 本发明涉及一种在混合操作过程中不需停机就能按照混合操作的每个阶段将两个转子之间的相位差和速比改变到适当的数值的密闭式混合机。该密闭式混合机包括:置于一混合腔室中的不相互啮合的两个转子;分别转动两个转子的两个驱动单元;分别测量两个转子相位的两个相位测量装置;分别测量两个转子速度的两个测速装置;一个根据来自两个测速装置的信号和来自两个相位测量装置的信号控制两个驱动单元的控制单元。
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公开(公告)号：CN106460173B
公开(公告)日：2019-05-31
申请号：CN201580018128.3
申请日：2015-02-27
申请人： 株式会社神户制钢所
IPC分类号： C23C16/509 , C23C16/54 , H05H1/46
摘要： 提供一种在关于成膜辊的轴向的进行成膜的范围中、在不被卷绕基材的部分中防止异常放电的发生的等离子体化学气相沉淀成膜装置。等离子体化学气相沉淀成膜装置（10）具备：真空腔室（1）；金属制的成膜辊（2），在该成膜辊（2）的外周面中的周方向的一部分上卷绕带状的基材；磁场生成部（3），配置在成膜辊（2）的内部，在成膜辊（2）的外周面中的被卷绕基材的部分的外侧生成磁场；电源（4），连接在成膜辊（2）上，对该成膜辊（2）施加用来在磁场的区域内生成等离子体的交流电压；罩（9），将成膜辊（2）的外周面中的相对于被卷绕基材（A）的部分（2a）隔着该成膜辊（2）的旋转轴位于相反侧的部分且不与该基材（A）接触的部分（2b）覆盖。
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公开(公告)号：CN102933738A
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201180027644.4
申请日：2011-06-15
申请人： 株式会社神户制钢所
CPC分类号： B23K9/00 , C23C14/325 , H01J37/32055 , H01J37/3402
摘要： 提供一种成膜速度快的电弧式蒸发源。本发明的电弧式蒸发源(1)具备：至少一个外周磁铁(3)，其包围标靶(2)的外周，并且被配置成其磁化方向沿着与标靶(2)的表面正交的方向；非环状的第一永磁铁(4A)，其配置于标靶(2)的背面侧，具有与所述外周磁铁(3)的极性同方向极性且被配置成其磁化方向沿着与标靶(2)的表面正交的方向；非环状的第二永磁铁(4B)，其在与所述第一永磁铁(4A)隔开间隔的状态下，配置于第一永磁铁(4A)与标靶(2)之间、或配置于第一永磁铁(4A)的背面侧，具有与所述外周磁铁(3)的极性同方向的极性并且被配置成其磁化方向沿着与标靶(2)的表面正交的方向；以及磁性体(5)，其配置在第一永磁铁(4A)与第二永磁铁(4B)之间。
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公开(公告)号：CN1093791C
公开(公告)日：2002-11-06
申请号：CN96190389.9
申请日：1996-04-24
申请人： 株式会社神户制钢所
CPC分类号： B29B7/183 , B29B7/186 , B29B7/7495 , B29C47/0004 , B29C47/0009 , B29C47/0813 , B29C47/0861 , B29C47/402 , B29C47/6056 , B29K2021/00 , B29K2105/0005 , B29K2105/16
摘要： 本发明的密闭型搅拌装置备有形成蚕茧形断面密闭腔(2)的机身部件(1)和平行地配置在上述腔(2)内的、反向旋转的一对旋转体(3)(4)，其特征在于，各旋转体(3)(4)具有在圆周方向等角度隔开的3个绕中心轴线螺旋状延伸的长翼(18)(19)(20)，各旋转体(3)(4)的中心轴线(17a、17b)以上述长翼(18)(19)(20)不相互啮合的程度相距距离L，长翼部分(18)(19)(20)的旋转体断面形状为(a)上述旋转体断面形状为略三角形；和下列中的一种：(b)上述旋转体断面形状中的旋转方向背面(26)的非作用面(22)包含以翼的翼尖(21)的端点(18a)为起点的直线；(c)上述旋转体断面形状中的旋转方向背面(26)由一个光滑的近似凹形或近似凸形或近似直线的曲面形成，设上述旋转体断面形状的最大直径为Dr、最小直径为Dd时，在0.5＜Dd/Dr＜0.75的范围内，(d)最好在0.6＜Dd/Dr＜0.7的范围内；重要的是要把非作用面(22)做成为比较平坦的面。
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公开(公告)号：CN1076214C
公开(公告)日：2001-12-19
申请号：CN97103162.2
申请日：1997-01-31
申请人： 株式会社神户制钢所
IPC分类号： B01F7/00
CPC分类号： B29B7/28
摘要： 本发明提供一种结构小巧、维修容易且可靠性高的封闭式搅拌机。本发明封闭式搅拌机是一种带有一个可与搅拌机机体连续设置、用于投入待搅拌物料的料斗7中能自由升降的浮动重块9，其中设有与上述搅拌机机体1连续设置并使上述浮动重块9升降的油缸并设有一个与上述搅拌机机体1分开的、用于在油压侧与气压侧之间进行压力变换的空油压力转换器3，上述用于使浮动重块9升降的油缸13的油压侧与上述空油压力转换器3的油压侧相连接。
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公开(公告)号：CN1185371A
公开(公告)日：1998-06-24
申请号：CN97126446.5
申请日：1997-12-19
申请人： 株式会社神户制钢所
IPC分类号： B29B7/32
CPC分类号： B29B7/186
摘要： 一种封闭式搅拌装置,该封闭式搅拌装置能够在各种搅拌条件下均匀搅拌和粉碎搅拌物,不需要维修第一和第二转子的转子转动机构工序,同时搅拌物装置的吞吐量没有损失,避免了搅拌物温度的过度增长。在该装置中,当第一和第二转子在腔室内转动时,通过搅拌物在腔室内壁和第一和第二转子之间的顶端间隙的流动获得所需搅拌状态的搅拌物,并通过所施加的剪切力粉碎搅拌物。相对应第一和第二转子装有三个具有多个顶部的螺旋形长叶片,并沿着轴向形成了三个顶端间隙。
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公开(公告)号：CN1183344A
公开(公告)日：1998-06-03
申请号：CN97114819.8
申请日：1997-06-24
申请人： 株式会社神户制钢所
IPC分类号： B29B7/18
CPC分类号： B29B7/283 , B29B7/183 , Y10S366/601
摘要： 本发明涉及一种在混合操作过程中不需停机能就按照混合操作的每个阶段将两个转子之间的相位差和速比改变到适当的数值的密闭式混合机。该密闭式混合机包括:置于一混合腔室中的不相互啮合的两个转子;分别转动两个转子的两个驱动单元;分别测量两个转子相位的两个相位测量装置;分别测量两个转子速度的两个测速装置;一个根据来自两个测速装置的信号和来自两个相位测量装置的信号控制两个驱动单元的控制单元。
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公开(公告)号：CN1163794A
公开(公告)日：1997-11-05
申请号：CN97103162.2
申请日：1997-01-31
申请人： 株式会社神户制钢所
IPC分类号： B01F7/00
CPC分类号： B29B7/28
摘要： 本发明提供一种结构小巧、维修容易且可靠性高的封闭式搅拌机。本发明封闭式搅拌机是一种带有一个可与搅拌机机体连续设置、用于投入待搅拌物料的料斗7中能自由升降的浮动重块9，其中设有与上述搅拌机机体1连续设置并使上述浮动重块9升降的油缸并设有一个与上述搅拌机机体1分开的、用于在油压侧与气压侧之间进行压力变换的空油压力转换器3，上述用于使浮动重块9升降的油缸13的油压侧与上述空油压力转换器3的油压侧相连接。
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