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公开(公告)号：CN101122681A
公开(公告)日：2008-02-13
申请号：CN200710141393.8
申请日：2007-08-09
Applicant: 船井电机株式会社
CPC classification number: G11B7/13927 , G02B26/0825 , G11B7/1362
Abstract: 本发明提供一种适合于大批量生产的可变形镜的制造方法，该方法包括如下步骤：在该支撑基板(2)上叠置具有类似梳齿状的凸条部分(41b，42b)的一对夹具(41，42)，使得所述凸条部分彼此正交；并且将所述支撑柱(5)和压电元件(4)插入至由所述凸条部分(43)之间的间隙所形成的通孔部分；以及将所述镜基板(3)放置在所述支撑柱和所述压电元件上；分别将所述支撑基板与所述支撑柱、所述支撑基板与所述压电元件以及所述镜基板与所述支撑柱彼此接合；在与该凸条部分的凸出方向相反的方向上抽出所述夹具；以及在反射镜基板的外表面上形成反射膜。
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公开(公告)号：CN101162593A
公开(公告)日：2008-04-16
申请号：CN200710180144.X
申请日：2007-10-10
Applicant: 船井电机株式会社
CPC classification number: G11B7/13925 , G02B26/06 , G02B26/0825 , G11B7/1362
Abstract: 一种可变形镜，其包括：基板；下电极膜，其设置在基板上；压电膜，其设置在下电极膜上；上电极膜，其设置在压电膜上；绝缘膜，其设置在上电极膜上；以及镜膜，其设置在绝缘膜上。下电极膜、压电膜和上电极膜作为驱动部以使镜膜变形。上电极膜被分成多个分割电极，并且驱动部包括执行镜膜的主要变形的部分和执行镜膜的变形的微调的部分。
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公开(公告)号：CN101008705A
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：CN200610142820.X
申请日：2006-10-26
Applicant: 船井电机株式会社 , 国立大学法人京都大学
Abstract: 一种可变形镜，包括：驱动部，其包括压电膜、将该压电膜夹在中间的第一和第二电极膜；基板，其形成于第一电极膜上以便支撑驱动部。当驱动部受到驱动时，镜膜的形状变化。该基板由至少一种选自Si、SiO2和MgO的材料形成。该压电膜由锆钛酸铅或由含有Nb的且与锆钛酸铅同类的钙钛矿氧化物形成。第一电极膜由多个具有不同成分的层形成；并且在这些层中，形成于基板上的一个层为由包含至少一种选自Ti、Cr和W的元素的成分构成的金属层；并且形成于压电膜上的一个层为由包含至少一种选自Pt、Ir和Ru的元素的成分构成的金属层。
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公开(公告)号：CN101122677B
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN200710141385.3
申请日：2007-08-09
Applicant: 船井电机株式会社
CPC classification number: G02B26/0858 , G02B26/06 , Y10S359/90
Abstract: 一种适于大规模生产的可变形镜的制造方法，包括如下步骤：沿着将要成为可变形镜的区域间的边界、在作为支撑基板(2)的第一晶圆(20)和作为镜基板(3)的第二晶圆(30)的表面上形成第一沟槽和第二沟槽；设置第一与第二晶圆，使支撑柱(5)和压电元件(4)夹在第一晶圆与第二晶圆的上述区域之间，且形成所述第二沟槽的表面朝内，以使其接合；通过对第二晶圆外表面的平坦化处理直到至少抵达第二沟槽，将第二晶圆分割成镜基板；通过沿着第一沟槽折断第一晶圆，将第一晶圆分割成支撑基板；以及在分割步骤得到的每个镜基板的外表面形成反射膜(6)。根据本发明的可变形镜的制造方法，可以同时得到许多具有良好质量的可变形镜，且该方法足以适应大规模生产。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101122678B
公开(公告)日：2011-02-02
申请号：CN200710141386.8
申请日：2007-08-09
Applicant: 船井电机株式会社
CPC classification number: G02B26/0858 , G02B26/06
Abstract: 本发明提供一种可变形镜的制造方法，其适于大规模生产，所述方法包括：接合步骤，用于将支撑柱(5)和压电元件(4)夹在支撑基板(2)和镜基板(3)之间，并且至少分别将支撑基板与支撑柱、支撑基板与压电元件、镜基板与支撑柱相互接合；弹性膜形成步骤，用于在镜基板的外表面形成平坦的弹性膜(7)；以及反射膜形成步骤，用于在弹性膜上形成反射膜(6)。本发明的可变形镜的制造方法可以可靠地获得可变形镜，且适于大规模生产。
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公开(公告)号：CN101183174A
公开(公告)日：2008-05-21
申请号：CN200710169485.7
申请日：2007-11-16
Applicant: 船井电机株式会社
IPC: G02B26/08 , H01L41/08 , H01L41/083 , H02N2/02
CPC classification number: G02B26/0825 , G02B26/0858 , H01L41/083
Abstract: 一种可变形镜，包括：具有镜面的镜基板；支承构件，其支承该镜基板，并具有沿近似垂直于该镜基板的方向延伸的通孔；电极部，其设置于支承构件的与支承该镜基板的表面相对的底侧，以覆盖所述通孔的至少一部分；以及致动器，其插入所述通孔内，并结合和固定到所述电极部上，当经由该电极部向所述致动器供电时，所述致动器伸展和收缩以使该镜面以及该镜基板变形。
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公开(公告)号：CN101122678A
公开(公告)日：2008-02-13
申请号：CN200710141386.8
申请日：2007-08-09
Applicant: 船井电机株式会社
CPC classification number: G02B26/0858 , G02B26/06
Abstract: 本发明提供一种可变形镜的制造方法，其适于大规模生产，所述方法包括：接合步骤，用于将支撑柱(5)和压电元件(4)夹在支撑基板(2)和镜基板(3)之间，并且至少分别将支撑基板与支撑柱、支撑基板与压电元件、镜基板与支撑柱相互接合；弹性膜形成步骤，用于在镜基板的外表面形成平坦的弹性膜(7)；以及反射膜形成步骤，用于在弹性膜上形成反射膜(6)。本发明的可变形镜的制造方法可以可靠地获得可变形镜，且适于大规模生产。
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公开(公告)号：CN101122677A
公开(公告)日：2008-02-13
申请号：CN200710141385.3
申请日：2007-08-09
Applicant: 船井电机株式会社
CPC classification number: G02B26/0858 , G02B26/06 , Y10S359/90
Abstract: 一种适于大规模生产的可变形镜的制造方法，包括如下步骤：沿着将要成为可变形镜的区域间的边界、在作为支撑基板(2)的第一晶圆(20)和作为镜基板(3)的第二晶圆(30)的表面上形成第一沟槽和第二沟槽；设置第一与第二晶圆，使支撑柱(5)和压电元件(4)夹在第一晶圆与第二晶圆的上述区域之间，且形成所述第二沟槽的表面朝内，以使其接合；通过对第二晶圆外表面的平坦化处理直到至少抵达第二沟槽，将第二晶圆分割成镜基板；通过沿着第一沟槽折断第一晶圆，将第一晶圆分割成支撑基板；以及在分割步骤得到的每个镜基板的外表面形成反射膜(6)。根据本发明的可变形镜的制造方法，可以同时得到许多具有良好质量的可变形镜，且该方法足以适应大规模生产。
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公开(公告)号：CN101008704A
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：CN200610142819.7
申请日：2006-10-26
Applicant: 船井电机株式会社 , 国立大学法人京都大学
Abstract: 一种可变形镜，具有：基板；形成于基板上的下部电极膜；形成于下部电极膜上的压电膜；形成于压电膜上的上部电极膜；和镜膜，其直接形成于基板上，并且设置为由下部电极膜、压电膜、和上部电极膜所构成的驱动部包围。该镜膜设置在基板中所设置的可动部上，并且驱动部的至少一部分设置在该可动部上。
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