公开(公告)号：CN111406099B9

公开(公告)日：2022-10-28

申请号：CN201980006006.0

申请日：2019-01-11

Applicant: 株式会社LG化学

Inventor： 尹美善 ,  金色拉 ,  李光珠 ,  延博拉 ,  朴成灿 ,  金殷英

IPC: C09J7/30 ,  C09J133/08 ,  C09J133/10 ,  C09J7/22 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明涉及背面研磨带和使用该背面研磨带研磨晶片的方法，所述背面研磨带包括聚合物基底和粘合层，其中所述粘合层包含含有30重量％至60重量％的衍生自玻璃化转变温度为0℃或更高的单体或低聚物的重复单元的(甲基)丙烯酸酯树脂，以及其中所述粘合层的玻璃化转变温度为-20℃至10℃。

公开(公告)号：CN111406099B

公开(公告)日：2022-09-23

申请号：CN201980006006.0

申请日：2019-01-11

Applicant: 株式会社LG化学

Inventor： 尹美善 ,  金色拉 ,  李光珠 ,  延博拉 ,  朴成灿 ,  金殷英

IPC: C09J7/30 ,  C09J133/08 ,  C09J133/10 ,  C09J7/22 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明涉及背面研磨带和使用该背面研磨带研磨晶片的方法，所述背面研磨带包括聚合物基底和粘合层，其中所述粘合层包含含有30重量％至60重量％的衍生自玻璃化转变温度为0℃或更高的单体或低聚物的重复单元的(甲基)丙烯酸酯树脂，以及其中所述粘合层的玻璃化转变温度为‑20℃至10℃。