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发明公开
树脂膜的形成方法及装置失效

公开(公告)号：CN101018616A

公开(公告)日：2007-08-15

申请号：CN200480043970.4

申请日：2004-09-14

Applicant: 欧利生电气株式会社

Inventor： 小林秀雄 , 铃木隆之 , 小泽直人

IPC: B05D1/40 , B05D3/06 , G11B7/26

CPC classification number: G11B7/266 , B05D1/002 , B05D5/10 , B05D7/22

Abstract: 交替地多次进行通过高速旋转而使供给到光盘等的基板之间的内周侧的粘接剂等液状物质或供给到基板上的内周侧的液状物质延展的工序和使其低速旋转的工序，并且在低速旋转时从内周侧向外周侧依次连续地或间歇性地移动着照射光线，从而从内周侧依次使液状物质半硬化或硬化。由此，从内周侧向外周侧阶段性地确定由液状物质形成的树脂膜的厚度。

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