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公开(公告)号：CN102862949A
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：CN201210331661.3
申请日：2012-09-07
申请人： 清华大学
摘要： 本发明公开了一种基于倒置工艺的双臂梁MEMS器件及其形成方法，该方法包括：提供衬底；依次在衬底上形成过渡层、底层电极和层间介质层；在层间介质层上形成上层电极层；刻蚀上层电极层和层间介质层以形成开口，露出底层电极的一部分，并且将上层电极层形成第一上层电极与第二上层电极；在第一上层电极与第二上层电极之上形成二维材料薄膜，其中，二维材料薄膜跨过开口；以及分别在二维材料薄膜两端上方形成第一金属接触和第二金属接触，其中，第一金属接触与第一上层电极的至少一部分相连，第二金属接触与第二上层电极的至少一部分相连。本发明的方法工艺成熟、易于实现，器件接触电阻小、稳定可靠。
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公开(公告)号：CN101714834A
公开(公告)日：2010-05-26
申请号：CN200910238145.4
申请日：2009-11-16
申请人： 清华大学
IPC分类号： H02N2/18
摘要： 一种碰撞式压电振动能量收集装置，属于压电材料能量转化与收集装置技术领域。装置包括支撑基片(2)、垫片(3)、振动块(4)、固定块(6)等；支撑基片(2)固定在垫片(3)上，垫片(3)固定在振动块(4)上，振动块(4)在环境振动或冲击的作用下与固定块之间产生相对运动，与固定块(6)发生碰撞，碰撞后支撑基片带动压电层以其自振频率振动。所述支撑基片为压电材料或固定有压电层(1)。所述支撑基片上有质量块(7)。本发明可以有效收集低频、高强度冲击能量，解决了因环境固有振动频率与振动结构谐振频率不易匹配、能量转换效率低等问题，适用于低频、冲击能量高、非连续振动环境，可应用于传感器或其他低功耗系统中自供电。
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公开(公告)号：CN100570397C
公开(公告)日：2009-12-16
申请号：CN200510085529.9
申请日：2005-07-26
申请人： 清华大学
IPC分类号： G01S5/18
摘要： 本发明公开了属于超声传感技术领域的一种空间位置检测系统及其检测方法。该空间位置检测系统，由超声发射装置、超声接收装置、光同步信号装置、数据处理系统和数据传输接口这几部分组成。主要应用于物体相对于某个参照坐标系的三维或二维平面上空间位置的检测。其数据处理系统利用光同步信号的传输，测量出超声波在介质中传播的渡越时间，或者可不用光同步信号的传输，直接测量出超声波从超声发射器到每个超声接收器的传播渡越时间之间的差值，进而确定超声发射器到每个超声接收器的距离，经过简单立体几何的演算，就能计算出超声发射器或发射装置顶端的三维空间位置，给航空航天、军事、医疗方面带来简单快捷的位置确定方法，有广泛的应用前途。
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公开(公告)号：CN118939116A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202410972772.5
申请日：2024-07-19
申请人： 清华大学
IPC分类号： G06F3/01 , A61B5/11 , A61B5/00 , G06F18/214 , G06F18/24 , G06N3/0464 , G06N3/044 , G06N3/096 , G16H50/20
摘要： 本公开实施例提供一种基于智能柔性传感系统的人体足踝信息获取方法及设备，该方法通过石墨烯织物和柔性传感器构建智能柔性传感系统，提高空间分辨率，实现高质量运动信号的精细化检测；将纳米功能材料石墨烯与高舒适度柔性衬底结合，制备了柔性智能传感阵列，测量对应的关节运动角度和松弛度；柔性传感器阵列能够贴合皮肤，实现无感化佩戴，降低被测试者的痛苦，提高检测结果的可靠度；通过构建人体足踝信息预测网络模型，将与人体相融的人体复杂结构多模生物力学的智能化分析，解决动力学模型和运动模型匹配关联问题，构建专用人工智能算法实现对运动和动力学信号的实时动态监测，具有临床实用性的关节功能评估系统并辅助运动损伤的临床诊疗。
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公开(公告)号：CN116898428A
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202310870060.8
申请日：2023-07-14
申请人： 清华大学
IPC分类号： A61B5/145 , G01N27/327 , G01N27/416 , A61B5/00
摘要： 本公开提出一种基于体积量的汗液传感器及其制备方法，该汗液传感器包括基底层，基底层为第一柔性材料；电极层中产生电极和收集电极采用叉指电极的结构方式布置在基底层上，产生电极导线与产生电极连接，收集电极导线与收集电极连接；在汗液体积量变化时产生电极与收集电极间的电容变化，变化后的电容以电信号的方式通过产生电极导线和收集电极导线送至外部设备，以通过外部设备得到汗液体积量以及汗液聚集和蒸发的变化过程；封装层，封装层为第二柔性材料，封装层用于封装产生电极和收集电极，基底层的厚度为叉指电极的相邻叉指之间的间隙距离的预设倍数。利用本公开的汗液传感器能够更好地检测汗液量并监测汗液聚集和蒸发的长过程可逆变化。
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公开(公告)号：CN110074758A
公开(公告)日：2019-08-02
申请号：CN201910277114.3
申请日：2019-04-08
申请人： 清华大学
IPC分类号： A61B5/00 , A61B5/04 , A61B5/0408 , A61B5/0478 , A61B5/0492
摘要： 本发明公开了一种基于多层石墨烯纹身式无衬底电极制备方法及装置，其中，该方法包括：配制石墨烯氧化物溶液；将石墨烯氧化物溶液滴加到纹身衬底上，以使石墨烯氧化物溶液在纹身衬底挥发后形成石墨烯氧化物薄膜；通过激光还原石墨烯氧化物薄膜，形成石墨烯电极图案；通过水溶液剥离未还原的石墨烯氧化物薄膜，并去掉纹身衬底，生成纹身式无衬底电极。该方法通过去掉传统柔性电极通用的衬底层，直接使用全石墨烯电极，降低了电极与皮肤之间的阻抗，并通过使用心电、脑电、肌电等模块可实时观测用户的心电、脑电、肌电等信号。
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公开(公告)号：CN105391412A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201510885765.2
申请日：2015-12-04
申请人： 清华大学
摘要： 本发明公开了一种石墨烯分布式放大器，包括：栅传输线，其第一端为石墨烯分布式放大器的输入端，其第二端接栅极直流偏压；漏传输线，其第一端接漏极直流偏压，其第二端为石墨烯分布式放大器的输出端；以及多个相同的、顺次排列的石墨烯场效应管，其中，所有石墨烯场效应管的源极分别接地，栅极分别连接到栅传输线上，相邻两个石墨烯场效应管的两个栅极之间设有栅传输线电感，漏极分别连接到漏传输线上然后分别经过漏侧线电容接地，相邻两个石墨烯场效应管的两个漏极之间设有漏传输线电感。本发明具有如下优点：不采用外部电容，从而提升栅极人工传输线特征阻抗，特征阻抗增加引起增益成二次方增加，相比现有技术具有更高的增益效果。
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公开(公告)号：CN102751910B
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201210210358.8
申请日：2012-06-19
申请人： 清华大学
IPC分类号： H02N2/18
摘要： 本发明公开了一种适于从低频振动中收集能量的上变频振动能量收集装置，属于振动能量收集技术领域。本发明利用在运动和碰撞过程中视为刚体的铰接臂和扭簧组装成一个可将系统外部低频振动的能量转化为蕴含在系统内部机构之间的机械能的谐振频率很低的弹簧-质量二阶系统，再利用铰接臂和弹性结构的碰撞，使低频振动的能量转化成高频振动的能量，从而实现了上变频；再通过压电片将高频振动的能量转化成电能。本发明的装置结构简单，制作成本低，将机械能向电能转化的效率高；可为工作在低频振动环境中的传感器等低功耗系统提供能量，尤其适用于那些需长期工作在人工难以维护或更换部件、且存在低频振动的环境中的传感器节点。
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公开(公告)号：CN102865938B
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：CN201210331662.8
申请日：2012-09-07
申请人： 清华大学
IPC分类号： G01K7/02
摘要： 本发明公开了一种热电偶及其形成方法，该方法包括：提供衬底；在衬底之上形成介质层；在介质层之上形金属层；对金属层进行光刻及刻蚀处理以形成第一压焊块、第二压焊块和热偶金属条，其中第二压焊块与热偶金属条相连；在介质层之上形成碳基薄膜，其中，碳基薄膜的一端与压焊块接触，另一端与热偶金属条接触；在第一压焊块形成第一金属接触，并在第二压焊块之上形成第二金属接触。本发明的热电偶采用石墨烯，具有很高的塞贝克系数，且可以通过栅电压进行调制，因此制作的热电偶灵敏性高；利用气压形成的碳基薄膜平整、致密、质量好；形成碳基薄膜之后的工序少，对碳基薄膜的沾污或损害少；最终形成两面夹结构的电极，强度更大，接触电阻更小。
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