公开(公告)号：CN117285075A

公开(公告)日：2023-12-26

申请号：CN202311214902.0

申请日：2023-09-20

申请人： 湖北工业大学

发明人： 李亚龙 ,  杨照迪 ,  张晓星 ,  万昆

IPC分类号： C01G41/04

摘要： 本发明公开了一种基于光电协同制备六氟化钨的方法和装置，本发明在等离子体反应器放电区域内沿着气体进入的方向依次填充光催化剂和金属钨，并对等离子体反应器放电区域进行光照射，背景气体在放电反应区域内产生大量的等离子体(高能电子)，SF6在光催化和等离子体的协同作用下发生分解，SF6分解生成氟原子和SF5、SF4等低氟硫化物，产生的氟离子和SF5、SF4等低氟硫化物进一步与金属钨发生反应，生成WF6电子特气，不仅实现SF6的氟资源利用，而且以无毒的SF6废气代替剧毒氟气在等离体子反应器中进行反应，操作安全，能耗低。

公开(公告)号：CN116947102A

公开(公告)日：2023-10-27

申请号：CN202310643329.9

申请日：2023-06-01

申请人： 湖北工业大学

发明人： 张晓星 ,  李亚龙 ,  杨照迪 ,  万昆

IPC分类号： C01G39/04 ,  B01J19/08 ,  B01D53/50 ,  B01D53/68 ,  B01D53/78

摘要： 本发明公开了一种基于等离子体活化SF6制备MoF6的方法和装置，所述的方法如下：S1、将钼粉末填充在等离子体反应器放电区域内；S2、向等离子体反应器放电区域内通入惰性气体和六氟化硫气体，惰性气体被电离成等离子体，六氟化硫气体经等离子体活化后被电离成氟原子和低氟硫化物；S3、氟原子和低氟硫化物与钼粉末发生反应，生成MoF6气体和硫单质。本发明首次提出以无毒的SF6废气代替剧毒氟气在等离子体条件下与Mo进行反应生成MoF6，与传统以金属Mo和氟气(F2)在高温下(250℃以上)制备MoF6的方法相比，大幅度降低了反应的温度，从而大幅度降低了能耗，而且操作安全，实现了SF6的硫氟资源利用，解决了SF6转化率低的问题。