压力传感器及电子设备
    19.
    发明公开

    公开(公告)号:CN113167663A

    公开(公告)日:2021-07-23

    申请号:CN201980078540.2

    申请日:2019-12-03

    Applicant: 索尼公司

    Abstract: 一种压力传感器,所述压力传感器包括:电容传感器电极层,所述电容传感器电极层包括多个感测部;第一参考电极层,所述第一参考电极层面对所述传感器电极层的第一表面;第二参考电极层,所述第二参考电极层面对所述传感器电极层的第二表面;弹性层,所述弹性层设置在所述第一参考电极层与所述传感器电极层之间;和间隙层,所述间隙层设置在所述第二参考电极层与所述传感器电极层之间。在该压力传感器中,所述传感器电极层、所述第一参考电极层和所述第二参考电极层具有狭缝。

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