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公开(公告)号：CN110082358B
公开(公告)日：2022-01-04
申请号：CN201910368307.X
申请日：2019-05-05
申请人： 苏州天准科技股份有限公司
IPC分类号： G01N21/88
摘要： 本发明提供了一种结构光照明的实现方法，LED阵列放置于成像模组的离焦区域，可降低成像系统对LED阵列的成像分辨率，通过点亮LED阵列中不同位置的LED，可实现对LED阵列的正弦结构光相位的控制，实现了LED阵列的正弦结构光的相移，从而实现高亮LED线型结构光照明与成像，并提高了检测效率。
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公开(公告)号：CN110031483A
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201910368959.3
申请日：2019-05-05
申请人： 苏州天准科技股份有限公司
IPC分类号： G01N21/958
摘要： 本发明提供了一种基于透射式结构光照明的玻璃瑕疵检测方法，其配置简单、检测方便，可避免传统方案繁琐的打光验证试验，待检玻璃样品通过面阵相机成像，所得图像中的待检玻璃样品被结构光光源调制，进而获得条纹调制度分布图和相位分布图，通过条纹调制度分布图和相位分布图可实现增强各种玻璃内外部的瑕疵，从而实现了面阵探测，提高了瑕疵检测效率。
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公开(公告)号：CN109975324A
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201910368956.X
申请日：2019-05-05
申请人： 苏州天准科技股份有限公司
IPC分类号： G01N21/958
摘要： 本发明提供了一种基于方波结构的结构光照明瑕疵检测方法，其通过将产生的方波信号转换为正弦信号的叠加，并使成像模组对结构光光源的空间分辨率低于方波信号空间周期T的1/2，即可使待检玻璃样品图像仅受一阶正弦信号调制，此时，方波结构光照明形式就等价于是正弦结构光照明形式，也就实现了正弦结构光的照明效果，从而降低了对照明光源的要求，也提高了瑕疵检测效率。
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公开(公告)号：CN113240636B
公开(公告)日：2022-06-21
申请号：CN202110499062.1
申请日：2021-05-08
申请人： 苏州天准科技股份有限公司
摘要： 本发明提供了一种表面waviness智能检测方法、系统、存储介质和终端设备，方法包括系统标定及透视校正、产品检测。产品检测包括产品图像采集、解相位、三维重建和曲率计算、以及测量项获取，根据不同的测量项取产品对应区域的曲率值进行运算，获得一个与测量项相对应的测量值，当测量值大于该测量项设定的阈值时，判定该项NG。本发明的waviness量检测方法和系统，方法实现了系统的标定以及倾斜图像的校正，尤其针对镜面或镜面类3C产品的表面waviness量检测效果更佳，提高了检测的准确性；系统结构简单，可适应不同规格镜面/类镜面3C产品的表面waviness的精确量检测。
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公开(公告)号：CN112986284A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202110191707.5
申请日：2021-02-20
申请人： 苏州天准科技股份有限公司
IPC分类号： G01N21/958 , G01N21/01
摘要： 本发明公开了一种复合式光源结构及光学检测装置，光源结构包括可编程LED阵列、高亮黑白显示模组和分光镜；可编程LED阵列的照明角度范围为20°～80°，用于检测大角度倾斜的镜面特征；高亮黑白显示模组的照明角度范围为0～20°，用于检测小角度倾斜的镜面特征。光学检测装置包括光源结构、光源驱动器、光源控制器、处理器、镜头和相机；处理器将接收到的图像信息进行处理来识别瑕疵类型和关键尺寸；所述光源结构采用前述的复合式光源结构。本发明的光源可以实现任意形式的光强分布，极大的提高检测的灵活性；同时兼容了光度立体、反射式结构光两种测量检测方法，以低成本的光源结构实现了光滑表面待测件的精确3D测量。
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公开(公告)号：CN115237183A
公开(公告)日：2022-10-25
申请号：CN202211137099.0
申请日：2022-09-19
申请人： 苏州天准科技股份有限公司
摘要： 本发明涉及半导体检测技术领域，提供了一种光照调节装置及检测系统，光照调节装置包括多组感应组、位置传感器、致动器、光强检测器和调节处理器；感应组包括横杆、立杆和感应形变端；光强检测器用于检测感应形变端辐射的光强；根据感应形变端的形状变化和感应组的位置变化驱动感应组的位置；检测系统包括多波长激光模块、测量光照模块、涡旋参考模块、对焦光学模块、图像采集模块、数据处理模块、外部输出模块和光强调节模块；该光照调节装置结构简单，每组感应组独立控制，通过位置调节实现缝隙透光调整光照强度的均匀性，提高了检测系统的成像或图像采集的质量，适应于多规格晶圆或光罩的检测，便于在半导体如晶圆或光罩的检测领域推广应用。
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公开(公告)号：CN115031658A
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202210640048.3
申请日：2022-06-08
申请人： 苏州天准科技股份有限公司
摘要： 本发明提供了一种3D激光成像系统，属于测量传感技术领域，系统包括3D激光位移传感器、转接保护器、光电传感器、电源和计算机；光电传感器和电源电讯连接至转接保护器；3D激光位移传感器通过IO&电源线连接至转接保护器，3D激光位移传感器通过数据传输网线连接至计算机；在采用多次曝光模式的3D激光位移传感器上设置温度补偿器，并通过非线性补偿算法进行温度补偿；本3D激光成像系统结构简单并增加了温度补偿和高速测量功能，多次曝光模提高测速，能很好的满足实际工作场景下对工件材质及环境温度的适应性要求，便于在工业量检测领域推广应用。
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公开(公告)号：CN110031482A
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201910368957.4
申请日：2019-05-05
申请人： 苏州天准科技股份有限公司
IPC分类号： G01N21/958
摘要： 本发明提供了一种基于反射式结构光照明的玻璃瑕疵检测方法，其配置简单、检测方便，不仅瑕疵增强效果明显，且可实现面阵检测，待检玻璃样品通过成像模组成像，所得图像中的待检玻璃样品被结构光光源调制，进而获得调制度分布图和相位梯度分布图，通过调制度分布图和相位梯度分布图可实现增强各种玻璃内外部的瑕疵，从而实现了面阵探测，提高了瑕疵检测效率。
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公开(公告)号：CN110031481A
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201910368316.9
申请日：2019-05-05
申请人： 苏州天准科技股份有限公司
IPC分类号： G01N21/958 , G01N21/01
摘要： 本发明提供了一种基于偏振的方波结构光照明实现方法，其通过调节液晶显示器与待检玻璃样品之间的距离d以及液晶显示器显示黑白方波条纹的空间周期，使得第一相机模块和第二相机模块对液晶显示器所处位置的空间分辨率均小于d/2，则可实现双相位图像的同时采集，相比现有的结构光检测系统的成像时间缩短了1/2，从而提高了瑕疵检测效率，且在液晶显示器显示黑白条纹的情况下，有效实现了对待检玻璃样品的正弦结构光照明。
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公开(公告)号：CN115237183B
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202211137099.0
申请日：2022-09-19
申请人： 苏州天准科技股份有限公司
摘要： 本发明涉及半导体检测技术领域，提供了一种光照调节装置及检测系统，光照调节装置包括多组感应组、位置传感器、致动器、光强检测器和调节处理器；感应组包括横杆、立杆和感应形变端；光强检测器用于检测感应形变端辐射的光强；根据感应形变端的形状变化和感应组的位置变化驱动感应组的位置；检测系统包括多波长激光模块、测量光照模块、涡旋参考模块、对焦光学模块、图像采集模块、数据处理模块、外部输出模块和光强调节模块；该光照调节装置结构简单，每组感应组独立控制，通过位置调节实现缝隙透光调整光照强度的均匀性，提高了检测系统的成像或图像采集的质量，适应于多规格晶圆或光罩的检测，便于在半导体如晶圆或光罩的检测领域推广应用。
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