公开(公告)号：CN116413292A

公开(公告)日：2023-07-11

申请号：CN202310428213.3

申请日：2023-04-20

申请人： 西安西部新锆科技股份有限公司

发明人： 陈秋羽 ,  刘海明 ,  周军 ,  李宇力 ,  孙涛涛 ,  周宣 ,  马天洋 ,  刘琼 ,  丁郁航 ,  李东

IPC分类号： G01N23/20008 ,  G01N23/203 ,  B24B1/04

摘要： 本发明公开了一种振动抛光制备锆合金EBSD样品的方法，该方法包括：一、对需表征的锆合金进行电火花线切割得到切割样品；二、对切割样品的待表征面及相对面打磨得到打磨样品；三、利用微米级金刚石抛光剂一次机械抛光并清洗吹干得到一次抛光样品；四、对一次抛光样品进行二次振动抛光得到二次抛光样品；五、清洗吹干得到锆合金EBSD样品。本发明结合一次机械抛光和二次振动抛光制备得到高解析率的锆合金EBSD样品，从而在EBSD表征中获得高质量的菊池花样，以实现对不同种类锆合金的微观形貌、晶粒取向、晶界类型及应变大小分布等信息的全面准确获取，操作简便，成本低，安全高效，无化学污染，且技术参数易控制，效果稳定。