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公开(公告)号：CN105960375B
公开(公告)日：2018-12-25
申请号：CN201580006667.5
申请日：2015-02-11
Applicant: 诺思罗普·格鲁曼·利特夫有限责任公司
IPC: B81B3/00
Abstract: 本发明涉及一种用于制造构件的方法，首先制造第一层复合体，其包括结构层和填充有绝缘材料的沟槽，结构层至少在第一区域中是导电的。所述填充有绝缘材料的沟槽从结构层的第一表面起延伸并且设置在结构层的第一区域中。结构层的第一表面朝向第一层复合体的第一表面。此外该方法包括制造第二层复合体，其在第二层复合体的第一表面中包括第一凹部，以及连接第一层复合体与第二层复合体。第一层复合体的第一表面至少在区域中邻接第二层复合体的第一表面，并且填充沟槽设置在第一凹部的侧向位置中。在连接第一层复合体与第二层复合体后将第一层复合体的厚度从第一层复合体的第二表面起减少至填充沟槽的深度。第一层复合体的第二表面与第一层复合体的第一表面相对置。此外该方法还包括在结构层中制造构件的一个活动结构，所述活动结构具有两个第二区域，所述第二区域设置在结构层的第一区域中并且虽然彼此物理刚性连接，但却通过填充沟槽相互电绝缘。
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公开(公告)号：CN101687629B
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN200880022824.1
申请日：2008-03-28
Applicant: 诺思罗普·格鲁曼·利特夫有限责任公司
CPC classification number: B81B7/0006 , B81B2201/0235 , B81C2203/0118
Abstract: 本发明涉及一种构件(2)尤其是微机械、微电子机械或微光电机械构件(2)以及制造这种构件的方法，其中构件(2)具有以层状结构嵌入的活动结构(27)。为了能够更好地接触活动结构(27)的电极(5)，通过将具有不同的第一蚀刻深度(D1)和第二蚀刻深度(D2)的第一凹部(14)和第二凹部(15)蚀刻到第一层组件(10)的覆盖层(13)中，来形成条状导体桥(34)，其中第一层组件(10)还包括基底(11)和绝缘层(12)。较深的凹部(14)用于隔离条状导体桥(34)，而较浅的凹部(15)提供活动结构(27)用的移动空间，其中由条状导体桥(34)来桥接所述移动空间。
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公开(公告)号：CN101688775B
公开(公告)日：2011-11-30
申请号：CN200880022724.9
申请日：2008-03-28
Applicant: 诺思罗普·格鲁曼·利特夫有限责任公司
Inventor： 沃尔弗拉姆·盖格 , 彼得·莱因菲尔德 , 冈特·斯帕林格 , 朱利安·巴托洛迈奇克
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/574
Abstract: 为了避免当出现线性加速时在旋转速率传感器的情况下基于移动的单独结构(100、200、300、400、500、600)出现的测量误差，提出了如下旋转速率传感器，该旋转速率传感器包括基板和在设计平面(x-y)上相对于该基板移动的两个结构(100、200、300、400、500、600)，其中，这两个移动结构(100、200、300、400、500、600)相耦合以形成耦合结构，以使得：该耦合结构具有作为激励模式的、移动结构沿设计平面(x-y)上的第一方向(x)反相偏转的第一振荡模式；该耦合结构具有作为检测模式的第二振荡模式，其中，当激励第一振荡模式时并且在围绕旋转速率传感器的相对于设计平面(x-y)成直角的灵敏轴(z)旋转时，由科里奥利加速来激励第二振荡模式，并且该耦合结构被设计成在理想化前提的条件下，该耦合结构不具有能够由旋转速率传感器在平行于第二轴的方向上的线性加速激励的任何振荡模式。
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公开(公告)号：CN101688775A
公开(公告)日：2010-03-31
申请号：CN200880022724.9
申请日：2008-03-28
Applicant: 诺思罗普·格鲁曼·利特夫有限责任公司
Inventor： 沃尔弗拉姆·盖格 , 彼得·莱因菲尔德 , 冈特·斯帕林格 , 朱利安·巴托洛迈奇克
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/574
Abstract: 为了避免当出现线性加速时在旋转速率传感器的情况下基于移动的单独结构(100、200、300、400、500、600)出现的测量误差，提出了如下旋转速率传感器，该旋转速率传感器包括基板和在设计平面(x-y)上相对于该基板移动的两个结构(100、200、300、400、500、600)，其中，这两个移动结构(100、200、300、400、500、600)相耦合以形成耦合结构，以使得：该耦合结构具有作为激励模式的、移动结构沿设计平面(x-y)上的第一方向(x)反相偏转的第一振荡模式；该耦合结构具有作为检测模式的第二振荡模式，其中，当激励第一振荡模式时并且在围绕旋转速率传感器的相对于设计平面(x-y)成直角的灵敏轴(z)旋转时，由科里奥利加速来激励第二振荡模式，并且该耦合结构被设计成在理想化前提的条件下，该耦合结构不具有能够由旋转速率传感器在平行于第二轴的方向上的线性加速激励的任何振荡模式。
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