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公开(公告)号：CN105190319B
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201480025135.1
申请日：2014-03-27
Applicant: 诺思罗普·格鲁曼·利特夫有限责任公司
Inventor： 沃尔弗拉姆·盖格 , 朱利安·巴托洛迈奇克 , 彼得·莱因菲尔德
IPC: G01P15/08 , B81B5/00 , B81C1/00 , G01P15/125
CPC classification number: G01P15/125 , G01P15/0802 , G01P2015/0814 , G01P2015/0882
Abstract: 本发明涉及一种加速度传感器，包括：基板，其具有基板表面；以及采样块，其能够在与基板表面平行的第一方向(x)上而相对于基板移动。采样块具有梳状电极，该梳状电极能够与采样块一起移动并且具有在第一方向(x)上延伸的多个齿。加速度传感器还包括对电极，其固定连接至基板，对电极具有固定梳状电极，其中所述固定梳状电极具有沿与第一方向(x)相反的方向延伸的多个齿。可动梳状电极的齿与固定梳状电极的齿相接合。加速度传感器还包括屏蔽电极，该屏蔽电极固定连接至基板，并且适合用于在采样块的偏转移动期间提高采样块的气动阻尼。
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公开(公告)号：CN105980293A
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：CN201580006575.7
申请日：2015-02-11
Applicant: 诺思罗普·格鲁曼·利特夫有限责任公司
Inventor： 沃尔弗拉姆·盖格
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C1/00333 , B81B7/0064 , B81C1/00301
Abstract: 本发明涉及一种用于制造构件的方法，首先制造第一层复合体，其包括由导电材料制成的第一基底和至少一个构造在第一基底中并且填充有绝缘材料的沟槽，第一基底的第一区域至少在第一基底的第一表面上通过沟槽侧向与第一基底的其它区域电绝缘。接着制造第二层复合体，其包括第一层复合体和结构层。所述结构层具有构件的活动结构并且至少在第一区域中是导电的，结构层的第一区域在第一基底的第一区域中邻接第一基底的第一表面并且与之导电连接。然后，在第一基底的第二表面上——第二表面与第一表面相对置——在第一基底的第一区域中制出第一导电接触面，第一基底的第一区域在第一基底的第二表面上通过沟槽侧向与第一基底的其它区域电绝缘。借助该方法实现这样的构件，在其中借助第一基底的第一区域和第一接触面实现与结构层第一区域的电连接。
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公开(公告)号：CN106104205B
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201580013817.5
申请日：2015-01-27
Applicant: 诺思罗普·格鲁曼·利特夫有限责任公司
Inventor： 沃尔弗拉姆·盖格
IPC: G01C19/5726 , G01C25/00
CPC classification number: G01C25/005 , G01C19/5726
Abstract: 本发明涉及一种用于优化具有质量系统(100)的科里奥利陀螺仪(1)的接通时间的方法，该质量系统能够平行于第一轴(x)被激发科里奥利陀螺仪(1)的激振，其中，该质量系统的基于科里奥利力的、沿垂直于第一轴(x)的第二轴(y)的位移能够借助科里奥利陀螺仪的输出信号检验，该方法包括检测定义的时间点上的科里奥利陀螺仪的激振的振幅(A)，检测定义的时间点(ti)上的科里奥利陀螺仪的输出信号(S)，以及通过将测得的输出信号(S)乘以科里奥利陀螺仪的激振在稳态下的振幅(A0)与测得的振幅(A)的商来生成科里奥利陀螺仪的归一化的输出信号(S0)。
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公开(公告)号：CN106104205A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201580013817.5
申请日：2015-01-27
Applicant: 诺思罗普·格鲁曼·利特夫有限责任公司
Inventor： 沃尔弗拉姆·盖格
IPC: G01C19/5726 , G01C25/00
CPC classification number: G01C25/005 , G01C19/5726
Abstract: 本发明涉及一种用于优化具有质量系统(100)的科里奥利陀螺仪(1)的接通时间的方法，该质量系统能够平行于第一轴(x)被激发科里奥利陀螺仪(1)的激振，其中，该质量系统的基于科里奥利力的、沿垂直于第一轴(x)的第二轴(y)的位移能够借助科里奥利陀螺仪的输出信号检验，该方法包括检测定义的时间点上的科里奥利陀螺仪的激振的振幅(A)，检测定义的时间点(ti)上的科里奥利陀螺仪的输出信号(S)，以及通过将测得的输出信号(S)乘以科里奥利陀螺仪的激振在稳态下的振幅(A0)与测得的振幅(A)的商来生成科里奥利陀螺仪的归一化的输出信号(S0)。
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公开(公告)号：CN101687629A
公开(公告)日：2010-03-31
申请号：CN200880022824.1
申请日：2008-03-28
Applicant: 诺思罗普·格鲁曼·利特夫有限责任公司
IPC: B81B7/00
CPC classification number: B81B7/0006 , B81B2201/0235 , B81C2203/0118
Abstract: 本发明涉及一种构件(2)尤其是微机械、微电子机械或微光电机械构件(2)以及制造这种构件的方法，其中构件(2)具有以层状结构嵌入的活动结构(27)。为了能够更好地接触活动结构(27)的电极(5)，通过将具有不同的第一蚀刻深度(D1)和第二蚀刻深度(D2)的第一凹部(14)和第二凹部(15)蚀刻到第一层组件(10)的覆盖层(13)中，来形成条状导体桥(34)，其中第一层组件(10)还包括基底(11)和绝缘层(12)。较深的凹部(14)用于隔离条状导体桥(34)，而较浅的凹部(15)提供活动结构(27)用的移动空间，其中由条状导体桥(34)来桥接所述移动空间。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105190319A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201480025135.1
申请日：2014-03-27
Applicant: 诺思罗普·格鲁曼·利特夫有限责任公司
Inventor： 沃尔弗拉姆·盖格 , 朱利安·巴托洛迈奇克 , 彼得·莱因菲尔德
IPC: G01P15/08 , B81B5/00 , B81C1/00 , G01P15/125
CPC classification number: G01P15/125 , G01P15/0802 , G01P2015/0814 , G01P2015/0882
Abstract: 本发明涉及一种加速度传感器，包括：基板，其具有基板表面；以及采样块，其能够在与基板表面平行的第一方向(x)上而相对于基板移动。采样块具有梳状电极，该梳状电极能够与采样块一起移动并且具有在第一方向(x)上延伸的多个齿。加速度传感器还包括对电极，其固定连接至基板，对电极具有固定梳状电极，其中所述固定梳状电极具有沿与第一方向(x)相反的方向延伸的多个齿。可动梳状电极的齿与固定梳状电极的齿相接合。加速度传感器还包括屏蔽电极，该屏蔽电极固定连接至基板，并且适合用于在采样块的偏转移动期间提高采样块的气动阻尼。
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公开(公告)号：CN101688776B
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN200880022744.6
申请日：2008-03-28
Applicant: 诺思罗普·格鲁曼·利特夫有限责任公司
Inventor： 沃尔弗拉姆·盖格
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/574
Abstract: 本发明涉及一种科里奥利陀螺仪，该科里奥利陀螺仪具有包括基板(5、22、24、26)、至少两个单独结构(61、62、63、64、500、600、700、800)和弹性元件(1、2、3、21、23、25)的配置，其中弹性元件(1、2、3、21、23、25)将具有力传递器(514、614、714、814)并具有分接头(534、634、734、834)的单独结构(61、62、63、64、500、600、700、800)耦合至基板(5、22、24、26)，并且使单独结构彼此耦合，其中该配置具有可以由力传递器(514、614、714、814)激励的至少一个激励模式(7)以及可以由分接头(534、634、734、834)测量的至少一个检测模式(8)，其中激励模式(7)和检测模式(8)是封闭的，结果，在无需考虑制造公差的情况下，通过线性加速和/或振动不能引起激励模式和检测模式的干扰激励。
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公开(公告)号：CN105960375A
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201580006667.5
申请日：2015-02-11
Applicant: 诺思罗普·格鲁曼·利特夫有限责任公司
IPC: B81B3/00
CPC classification number: B81B3/0086 , B81C1/00333
Abstract: 本发明涉及一种用于制造构件的方法，首先制造第一层复合体，其包括结构层和填充有绝缘材料的沟槽，结构层至少在第一区域中是导电的。所述填充有绝缘材料的沟槽从结构层的第一表面起延伸并且设置在结构层的第一区域中。结构层的第一表面朝向第一层复合体的第一表面。此外该方法包括制造第二层复合体，其在第二层复合体的第一表面中包括第一凹部，以及连接第一层复合体与第二层复合体。第一层复合体的第一表面至少在区域中邻接第二层复合体的第一表面，并且填充沟槽设置在第一凹部的侧向位置中。在连接第一层复合体与第二层复合体后将第一层复合体的厚度从第一层复合体的第二表面起减少至填充沟槽的深度。第一层复合体的第二表面与第一层复合体的第一表面相对置。此外该方法还包括在结构层中制造构件的一个活动结构，所述活动结构具有两个第二区域，所述第二区域设置在结构层的第一区域中并且虽然彼此物理刚性连接，但却通过填充沟槽相互电绝缘。
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公开(公告)号：CN101688776A
公开(公告)日：2010-03-31
申请号：CN200880022744.6
申请日：2008-03-28
Applicant: 诺思罗普·格鲁曼·利特夫有限责任公司
Inventor： 沃尔弗拉姆·盖格
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/574
Abstract: 本发明涉及一种科里奥利陀螺仪，该科里奥利陀螺仪具有包括基板(5、22、24、26)、至少两个单独结构(61、62、63、64、500、600、700、800)和弹性元件(1、2、3、21、23、25)的配置，其中弹性元件(1、2、3、21、23、25)将具有力传递器(514、614、714、814)并具有分接头(534、634、734、834)的单独结构(61、62、63、64、500、600、700、800)耦合至基板(5、22、24、26)，并且使单独结构彼此耦合，其中该配置具有可以由力传递器(514、614、714、814)激励的至少一个激励模式(7)以及可以由分接头(534、634、734、834)测量的至少一个检测模式(8)，其中激励模式(7)和检测模式(8)是封闭的，结果，在无需考虑制造公差的情况下，通过线性加速和/或振动不能引起激励模式和检测模式的干扰激励。
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公开(公告)号：CN105980293B
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201580006575.7
申请日：2015-02-11
Applicant: 诺思罗普·格鲁曼·利特夫有限责任公司
Inventor： 沃尔弗拉姆·盖格
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明涉及一种用于制造构件的方法，首先制造第一层复合体，其包括由导电材料制成的第一基底和至少一个构造在第一基底中并且填充有绝缘材料的沟槽，第一基底的第一区域至少在第一基底的第一表面上通过沟槽侧向与第一基底的其它区域电绝缘。接着制造第二层复合体，其包括第一层复合体和结构层。所述结构层具有构件的活动结构并且至少在第一区域中是导电的，结构层的第一区域在第一基底的第一区域中邻接第一基底的第一表面并且与之导电连接。然后，在第一基底的第二表面上——第二表面与第一表面相对置——在第一基底的第一区域中制出第一导电接触面，第一基底的第一区域在第一基底的第二表面上通过沟槽侧向与第一基底的其它区域电绝缘。借助该方法实现这样的构件，在其中借助第一基底的第一区域和第一接触面实现与结构层第一区域的电连接。
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