公开(公告)号：CN100570439C

公开(公告)日：2009-12-16

申请号：CN200610074120.1

申请日：2006-03-28

Applicant: NTN株式会社

Inventor： 猿田正弘 ,  山中昭浩 ,  松岛昌良

IPC: G02F1/13 ,  G02F1/1335

Abstract: 本发明提供一种能正确、快速、容易地涂敷液状材料的涂敷针。该涂敷针(1)在前端部形成为锥状，在前端设有平坦面(3)，在前端部的外周面形成槽(4)。当前端的平坦面(3)与基板(6)接触时，存积在锥部(2)上部和槽(4)内的油墨(5)因毛细管现象而向前端流出。因此，能快速容易地涂敷大量的油墨(5)。

公开(公告)号：CN1840356A

公开(公告)日：2006-10-04

申请号：CN200610074106.1

申请日：2006-03-28

Applicant: NTN株式会社

Inventor： 小池孝志 ,  松岛昌良

IPC: B41J29/26 ,  B43L19/00

CPC classification number: Y02W30/828

Abstract: 本发明提供一种能以简单的结构迅速地修正缺陷部的图案修正装置。在该图案修正装置中，在待机状态下，使涂敷针前端部(19a)浸渍在修正液(17)中。在进行涂敷时，缸体部(20)使驱动轴(20a)下降，涂敷针(19)从容器(18)的孔(18b)伸出。在涂敷针前端部(19a)上附着有修正液(17a)。接着，涂敷缸体(13)使驱动轴(13a)下降，使涂敷针前端部(19a)与基板(20)的缺陷部(22)接触，将修正液(17a)涂敷在缺陷部(22)上。因此，可省去现有技术中的使涂敷针在缺陷部和油墨罐之间往复运动的工序。

公开(公告)号：CN1645189A

公开(公告)日：2005-07-27

申请号：CN200510006211.7

申请日：2005-01-21

Applicant: NTN株式会社

Inventor： 山中昭浩 ,  松岛昌良 ,  清水茂夫

IPC: G02F1/13

Abstract: 本发明提供装置构成及控制方法简单且价格低廉的微小图案修正装置。该微小图案修正装置，将被修正对象玻璃基板(8)搭载于玻璃平台(9)的表面，在玻璃平台(9)的背面上形成反射膜(10)，并且，将环状照明器(3)配设于观察光学系统(2)的物镜(11)的周围。自照明器(3)射出的环状光线，由反射膜(10)反射，透过玻璃平台(9)及被修正对象玻璃基板(8)的被观察部射入物镜(11)。因此，不需要在玻璃平台(9)的下方设置光源移动机构。