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公开(公告)号：CN107614122B
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：CN201680033359.6
申请日：2016-06-03
Applicant: NTN株式会社
Inventor： 山中昭浩
IPC: B05C1/02
Abstract: 涂布单元(4)的直动机构(130)包括偏心板(116)、偏心轴(114)、线性导轨(132)、连结板(112)、可动部(108)、连结轴(110)以及轴承(122、124)。偏心板(116)随伺服电动机(120)而旋转，并安装于与涂布针保持件(102)的上下移动方向交差的伺服电动机(120)的旋转轴。连结板(112)以固定的长度将设于和涂布针保持件(102)一起上下移动的可动部(108)的连结轴(110)与偏心轴(114)之间连结。利用伺服电动机(120)的驱动，当偏心板(116)旋转时，伴随着偏心轴(114)的上、下方向的移动，涂布针(24)沿上、下方向往复移动。藉此，提供一种能够高速驱动涂布针的液体涂布单元及液体涂布装置。
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公开(公告)号：CN105828958B
公开(公告)日：2019-03-22
申请号：CN201480067703.4
申请日：2014-12-10
Applicant: NTN株式会社
Inventor： 山中昭浩
Abstract: 提供能高速驱动涂布针、并能在短时间内实施RFID标签等的电路描绘的涂布构件、涂布装置以及涂布方法。涂布构件包括：涂布针(24)，该涂布针(24)用于将液体涂布于加工对象件(5)；以及移动部(41、43～46)，该移动部(41、43～46)用于使涂布针(24)在第一方向上移动。移动部包括电动机(41)、凸轮构件(43)及可动构件(44～46)。电动机(41)具有转轴，并被配置成该转轴的延伸方向沿着第一方向的状态。凸轮构件(43)包括凸轮面(61)，并与转轴连接，上述凸轮面(61)具有相对于转轴的延伸方向倾斜的表面部分。可动构件(44～46)与凸轮面(61)接触，并能沿着转轴的延伸方向移动。涂布针(24)与可动构件(44～46)连接。
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公开(公告)号：CN102201355A
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN201110050773.7
申请日：2011-02-24
Applicant: NTN株式会社
IPC: H01L21/683 , H01L21/677 , G01N21/956 , B65G49/06 , H01L21/66
Abstract: 一种缺陷修正装置(1)，配置有供玻璃基板(99)装载的一对基板端支承台3。在一对基板端支承台(3)之间的区域内配置有多个基板支承用滚轮机构(4)，这些基板支承用滚轮机构(4)从下方对玻璃基板(99)予以支承。基板支承用滚轮机构(4)安装有将所装载的玻璃基板(99)的下表面吸附并保持的基板吸附台(26)。藉此，能得到用更简易的结构来对基板进行保持的基板保持装置和应用该基板保持装置的缺陷修正装置。
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公开(公告)号：CN101187737A
公开(公告)日：2008-05-28
申请号：CN200710188730.9
申请日：2007-11-13
Applicant: NTN株式会社
Inventor： 山中昭浩
Abstract: 本发明提供一种可获得没有不均的观察图像的微细图案修正装置。在该微细图案修正装置中，将玻璃定板(9)分割成以分别可沿水平方向移动的形态进行设置的两个副玻璃定板(10、11)。在观察位置(P)的下方存在副玻璃定板(11)的升降销孔(22)时，使副玻璃定板(11)移动而使该升降销孔(22)从观察位置(P)离开。因此，可消除由升降销孔(22)等引起的观察图像的不均。
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公开(公告)号：CN108602085B
公开(公告)日：2020-10-13
申请号：CN201780007891.5
申请日：2017-01-13
Applicant: NTN株式会社
Inventor： 山中昭浩
Abstract: 涂布材料容器具有固定部(21b)和容器部(21a)。固定部(21b)构成为能够固定至涂布机构所包括的固定构件(69)。在容器部(21a)的上部和下部设置有供涂布针(24)贯穿的孔(71)和孔(72)。上述容器部(21a)的侧面具有第一凸缘(80)。第一凸缘(80)的下表面与固定部(21b)的上表面接触。在容器部(21a)的侧面上的比第一凸缘(80)低的部分和固定部(21b)的侧面之间设置有间隙。容器部(21a)能够在间隙的范围内水平地移动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107006129A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201580057104.9
申请日：2015-10-15
Applicant: NTN株式会社 , 古河电气工业株式会社
Abstract: 本发明使用糊状导电材料来适当地修正在基板上形成的电极图案的断线部分。缺陷修正装置(100)具备刮扫针(10)、Z平台(120)、XY平台(110)以及控制装置(200)。刮扫针(10)对涂布于断线部分(3)的糊料(4)进行整形。控制装置(200)控制Z平台(120)以使刮扫针(10)与电极图案(21、22)之间的距离(D)为规定值(Dth)，并在将距离(D)保持在规定值(Dth)的状态下，通过XY平台(110)使刮扫针(10)进行刮扫。规定值(Dth)根据糊料(4)因烧成而产生的收缩量来确定。
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公开(公告)号：CN100437220C
公开(公告)日：2008-11-26
申请号：CN200510006211.7
申请日：2005-01-21
Applicant: NTN株式会社
IPC: G02F1/13
Abstract: 本发明提供装置构成及控制方法简单且价格低廉的微小图案修正装置。该微小图案修正装置，将被修正对象玻璃基板(8)搭载于玻璃平台(9)的表面，在玻璃平台(9)的背面上形成反射膜(10)，并且，将环状照明器(3)配设于观察光学系统(2)的物镜(11)的周围。自照明器(3)射出的环状光线，由反射膜(10)反射，透过玻璃平台(9)及被修正对象玻璃基板(8)的被观察部射入物镜(11)。因此，不需要在玻璃平台(9)的下方设置光源移动机构。
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公开(公告)号：CN101047090A
公开(公告)日：2007-10-03
申请号：CN200710091711.4
申请日：2007-03-29
Applicant: NTN株式会社
IPC: H01J9/50 , G02F1/133 , G02F1/1335 , G03F1/00
CPC classification number: Y02W30/828
Abstract: 一种图形修正装置(1)，其涂布单元(20)具有：底部开设有第1孔(21a)、注入修正液(22)的容器(21)；具有与第1孔(21a)大致相同直径的涂布针(24)；使容器(21)及涂布针(24)上下移动并使容器(21)及涂布针(24)相对上下移动从而使涂布针前端部(24a)从第1孔(21a)中突出将修正液(22)附着在前端部(24a)上的气缸(34)。因此，本发明的图形修正装置与必须在容器和缺陷部之间使涂布针往复移动的以往技术相比，可用简单的结构迅速修正缺陷部。
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公开(公告)号：CN109641229B
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN201780052841.9
申请日：2017-08-18
Applicant: NTN株式会社
Inventor： 山中昭浩
Abstract: 涂覆设备(100)使用涂覆针(142)将液体材料(146)施加到目标对象的表面。该涂覆设备包括涂覆单元(140)、容器(144)、驱动装置(145)、Z轴工作台(130)以及控制器(200)，涂覆单元具有涂覆针，容器容纳液体材料，驱动装置构造成使涂覆针上下移动，Z轴工作台构造成使涂覆单元上下移动，控制器构造成驱动驱动装置以及Z轴工作台以便执行涂覆操作。该控制器通过根据对应于附接的涂覆单元而设定的操作参数来控制驱动装置以及Z轴工作台以调节液体材料的涂覆量。
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公开(公告)号：CN109689221A
公开(公告)日：2019-04-26
申请号：CN201780052887.0
申请日：2017-08-30
Applicant: NTN株式会社
Inventor： 山中昭浩
Abstract: 提供液体涂布单元和液体涂布装置，与现有的液体涂布单元和液体涂布装置相比，能抑制多次连续地涂布高粘度的液体材料时的涂布量的变化。液体涂布单元包括涂布针(1)、储存液体材料(L)的液体材料容器(5)、使涂布针(1)相对于液体材料容器(5)升降的驱动部。在液体材料容器(5)中，形成有用于储存液体材料(L)的空间(50)、用于供涂布针(1)插通空间(50)的第一孔(51)和第二孔(52)。第一孔(51)形成于比空间(50)更靠重力方向下方的位置。第二孔(52)隔着空间(50)而形成于与第一孔(51)相反一侧。液体材料容器(5)包括防水层(9)，所述防水层(9)形成为从第一孔(51)的内周面上延伸至液体材料容器(5)的外周面中围住第一孔(51)的部分区域上。
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