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公开(公告)号：CN117544026A
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202310017820.0
申请日：2023-01-06
申请人： 北京科益虹源光电技术有限公司
摘要： 本申请实施例提供一种激光器的电机的控制方法及控制装置。在本申请实施例中，通过控制模块，接收主控计算机发送的不同类型的控制信号，并对不同类型的控制信号进行解析，得到对应的控制数据；通过控制模块，将控制数据输入至控制算法中，输出控制结果，控制结果可用于针对不同类型的待控制电机进行驱动控制；通过控制模块，根据不同类型的待控制电机，将所述控制结果作为控制指令转换为匹配的驱动信号，用于驱动不同类型的待控制电机进行驱动，控制电机运行。本发明可兼容不同类型的电机，如不同类型的步进电机，使得在更换不同步进电机的类型，可不更改控制回路的其他部件，减少了型号替换带来设计整改和验证周期。
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公开(公告)号：CN117543324A
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202211707469.X
申请日：2022-12-27
申请人： 北京科益虹源光电技术有限公司
摘要： 本申请实施例提供一种双腔准分子激光器的同步控制方法、控制设备及激光器。在本申请实施例中，针对双腔准分子激光器的每次放电过程，采集对应的超前的预置时间，以及采集用于确定各个腔体放电的延时时间对应的参数；根据采集到的预置时间、参数以及预置的控制关系，确定下一次放电的预置时间，以用于确定各个腔体对应放电信号之间对应的预置时间，以进行对应放电信号的触发，对应放电信号用于触发对应腔体进行放电。由于参数是用于确定延时时间的，所以可针对双腔的延时时间进行较高精度的放电同步控制，能够可以实时捕捉采集双腔的放电信号，形成快速反馈，实现同步延时实时可调的效果。
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公开(公告)号：CN116826505A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202310803066.3
申请日：2023-06-30
申请人： 北京科益虹源光电技术有限公司
摘要： 本发明涉及光刻机光源技术领域，具体涉及准分子激光器风机干扰信号提取方法、装置及激光器。所述方法包括：分别设计二阶低通滤波器和二阶高通滤波器；将二阶低通滤波器和二阶高通滤波器级联得到带通滤波器；根据带通滤波器，设置滤波参数，针对每个burst的每个脉冲，进行滤波：当前脉冲为所属burst的首脉冲时，利用首脉冲对应的输出能量初始化带通滤波器输入参数，得到对应的输出结果；当前脉冲为所属burst的非首脉冲时，利用当前脉冲对应的输出能量、同一burst内上一个脉冲的输出结果及输出能量，设置带通滤波器输入参数，得到对应的输出结果；根据带通滤波器的输出结果提取对应的干扰信号幅值。本发明能够直接提取干扰信号。
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公开(公告)号：CN116773147A
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN202310719665.7
申请日：2023-06-16
申请人： 北京科益虹源光电技术有限公司
IPC分类号： G01M11/02
摘要： 本申请提供激光器输出光斑特性测量装置及方法，包括分束镜、光波长转换元件、折光镜、远心镜头及探测装置；分束镜设置于待测激光光路中，将待测激光分为用作近场光束测量的第一光束和用作远场光束测量的第二光束；沿第一光束和第二光束传播方向上分别设置折光镜，以改变两光束传播路径长短及方向，并将第一光束和第二光束分别投射至光波长转换元件表面不同位置；光波长转换元件将接收的第一光束和第二光束转换为可见光；远心镜头和探测装置依次设置光波长转换元件之后，远心镜头将第一光束和第二光束的可见光光斑成像于探测装置，探测装置采集可见光斑信息。本申请是通过光波长转换元件将待测激光转化为可见光，以间接测试待测激光的光斑特性。
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公开(公告)号：CN116651616A
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202310632332.0
申请日：2023-05-31
申请人： 北京科益虹源光电技术有限公司
摘要： 本发明提供了一种金属氟化物捕获器及准分子激光器，金属氟化物捕获器包括:缸体、风扇和增压电机；所述缸体的中间设置有进气口；所述缸体的两端设置有增压腔；所述增压腔的侧壁上设置有出气口；所述风扇可转动地设置在所述增压腔内；所述增压电机的动力输出轴与风扇连接，带动风扇转动，用于迫使净化处理后的工作气体自出气口排出。本申请通过在金属氟化物捕获器的缸体两端增设增压电机和风扇，利用风扇的高速转动实现增压的效果，从而增大回流放电腔的工作气体流量，增强金属氟化物捕获器对金属氟化物的过滤能力；在增压增大气流的同时，净化后的工作气体的循环对布儒斯特窗的吹扫除尘的能力大大提升，除尘效果也随之提升。
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公开(公告)号：CN116099740B
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202111321964.2
申请日：2021-11-09
申请人： 北京科益虹源光电技术有限公司
摘要： 本发明提供了一种带绕铁芯绝缘涂层制备方法，其包括步骤将表面未涂绝缘层的合金薄带绕制成铁芯；绕好的铁芯置于径向梯度温度场中加热，铁芯经保温后形成外圈温度高，内圈温度低的梯度型温度分布状态；将径向温度呈梯度分步的铁芯全部浸入涂层液中；将铁芯自涂层液中取出，置于径向梯度温度场中加热，烘干和固化涂层液，从而形成合金薄带表面的绝缘涂层。本申请可以使铁芯一次性整体完成绝缘涂层的制备，即一次性完成构成铁芯全部带材所有表面的涂层，极大地提高了涂层工艺效率。
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公开(公告)号：CN116111429A
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202111330620.8
申请日：2021-11-11
申请人： 北京科益虹源光电技术有限公司
摘要： 本发明提供了一种放电腔的流道角度调节结构及其激光器，其中，放电腔的腔体内设置有导流罩、贯流风机和第一执行机构；所述导流罩包括主罩体和摆转罩板；所述摆转罩板面对贯流风机设置；摆转罩板内侧铰连接在所述主罩体上；第一执行机构用于驱动所述摆转罩板摆转，进而调节所述摆转罩板与所述贯流风机之间的间隙和夹角大小。本发明通过设置可调节的流道结构，可通过改变导流罩与贯流风机之间的间隙大小、以及导流罩自身部分外部轮廓来适应工作气体流速变化，从而实现降噪减振的良好效果。
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公开(公告)号：CN116099740A
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202111321964.2
申请日：2021-11-09
申请人： 北京科益虹源光电技术有限公司
摘要： 本发明提供了一种带绕铁芯绝缘涂层制备方法，其包括步骤将表面未涂绝缘层的合金薄带绕制成铁芯；绕好的铁芯置于径向梯度温度场中加热，铁芯经保温后形成外圈温度高，内圈温度低的梯度型温度分布状态；将径向温度呈梯度分步的铁芯全部浸入涂层液中；将铁芯自涂层液中取出，置于径向梯度温度场中加热，烘干和固化涂层液，从而形成合金薄带表面的绝缘涂层。本申请可以使铁芯一次性整体完成绝缘涂层的制备，即一次性完成构成铁芯全部带材所有表面的涂层，极大地提高了涂层工艺效率。
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公开(公告)号：CN116073703A
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202111281355.9
申请日：2021-11-01
申请人： 北京科益虹源光电技术有限公司
IPC分类号： H02P5/50
摘要： 本申请实施例提供一种同轴电机驱动的控制方法及控制设备。在本申请实施例中，接收至少两个电机的驱动信息，根据驱动信息，通过对应的转速信息驱动至少两个电机中的一个电机；根据驱动信息，通过对应的转矩信息驱动至少两个电机中的其它电机。从而实现同轴电机同步驱动。且接收至少两个电机中的一个电机返回的转速信息，根据返回的转速信息调整该电机的转速信息，并发送调整后的转速信息至该电机；接收至少两个电机中的其它电机返回的电流信息，根据返回的电流信息调整转矩信息，并发送调整后的转矩信息至其它电机。使得通过对转速和转矩的控制，来实现对功耗的控制。
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公开(公告)号：CN115831643A
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202211386179.X
申请日：2022-11-07
申请人： 北京科益虹源光电技术有限公司
摘要： 本发明提供了一种磁芯散热器，其包括由导热材料制成的本体和上盖；本体设置有用于容纳磁芯的环形容纳槽；环形容纳槽的侧壁和底面上敷设有由绝缘且高热导率材料制成的涂层；所述上盖用于封盖住所述环形容纳槽上方开口。本发明通过在环形容纳槽的内表面喷涂一层绝缘且热导率高的涂层，磁芯可贴靠着环形容纳槽底面和两侧侧壁设置，磁芯的热量可直接以热传导方式通过本体进行散热，而提升散热器的散热性能。
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