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公开(公告)号：CN117895314A
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202211231678.1
申请日：2022-10-08
申请人： 北京科益虹源光电技术有限公司
摘要： 本发明公开了一种双腔准分子激光器气体控制方法、系统和准分子激光器。该控制方法包括以下步骤：根据多个实测的主振荡放电腔电压与预设的电压均值阈值的电压求得MO电压差值均值；在MO电压差值均值大于零的情况下，通过模糊PI控制调整PI参数，计算主振荡放电腔补气量，并判断是否对主振荡放电腔进行补气；基于功率放大放电腔电压均值，进行解耦计算，得到放大能力阈值,计算功率放大放电腔的放大能力与放大能力阈值的差值，并求得放大能力差值均值；在放大能力差值均值大于零的情况下，通过模糊PI控制调整功率放大放电腔的PI参数，计算功率放大放电腔补气量，并对功率放大放电腔进行补气。
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公开(公告)号：CN116960716B
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202210415545.3
申请日：2022-04-18
申请人： 北京科益虹源光电技术有限公司
IPC分类号： H01S3/097
摘要： 本发明公开了一种准分子激光器能量掉点恢复方法及装置。该方法包括以下步骤：在功率放大放电腔(104)出现能量掉点时，根据功率放大放电腔(104)在当前脉冲的电压预设值和电压增量，以及功率放大放电腔(104)在当前脉冲的出光能量和抵消能量信号，调整下一个脉冲的功率放大放电腔(104)的电压设定值；在主振荡放电腔(103)出现能量掉点时，根据功率放大放电腔(104)在当前脉冲的电压预设值和电压增量，调整下一次脉冲的功率放大放电腔(104)的电压设定值。本发明能够使准分子激光器系统快速恢复功率放大放电腔的出光口能量，因此对于光刻机的曝光线条的均匀度以及芯片的良品率影响均有显著的改善和提高。
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公开(公告)号：CN113783101B
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202110859996.1
申请日：2021-07-28
申请人： 北京科益虹源光电技术有限公司
IPC分类号： H01S3/13
摘要： 本发明公开了一种用于双腔准分子激光器的能量控制方法及装置。该方法包括：检测双腔准分子激光器的出光口的能量，查找到电压最大值；检测主振荡放电腔和功率放大放电腔之间的延时，得到测得延时信号；根据电压最大值和测得延时信号，计算并输出电压和延时信号，根据电压和延时信号对主振荡放电腔和功率放大放电腔进行控制，其中，对主振荡放电腔的控制包括：根据功率放大放电腔电压，对主振荡放电腔电压信号进行闭环控制，以限定功率放大放电腔电压在可调节电压范围内。本发明采用多环PI控制方法来控制双腔激光器的两个腔体的能量输出，在能量调节过程中，大大扩展了能量调节范围并且保证了能量控制的稳定性。
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公开(公告)号：CN116960717A
公开(公告)日：2023-10-27
申请号：CN202210388557.1
申请日：2022-04-14
申请人： 北京科益虹源光电技术有限公司
摘要： 本申请实施例提供一种激光器的波长调整方法及计算设备。在本申请实施例中，基于目标波长，获取激光器发射的不同波长与用于调整波长的不同电机运动位置之间的多个映射关系；获取最准确的映射关系，并确定电机运动位置，作为第一运动位置，控制电机运动到第一运动位置，以获取第一波长；根据目标波长、第一波长以及最准确的映射关系，确定电机第二运动位置，控制电机运动到第二运动位置，并获取第二波长；根据目标波长、第一波长以及第二波长确定第一定位误差，根据第一定位误差与第二定位误差进行对比，确定第二波长是否满足最准确的映射关系，在满足的情况下，完成激光器发射目标波长的调整。能够快速地实现激光器的波长调整和定位。
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公开(公告)号：CN114865444A
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202210511297.2
申请日：2022-05-11
申请人： 北京科益虹源光电技术有限公司
摘要： 本发明公开了一种准分子激光器剂量精度控制方法及系统。该方法至少包括如下步骤：S3：判断脉冲位置是否大于预设值n，如果小于等于则进入S4；如果大于则进入S5；S4：进行单脉冲能量稳定性控制计算，得到放电腔的当前放电电压Vi j,用于控制放电腔；然后进入S6；S5：进行剂量精度控制计算，得到放电腔的当前放电电压Vi j，用于控制放电腔；然后进入S6；S6：基于当前放电电压Vi j调整放电腔的放电电压。本发明能够抑制单脉冲能量和剂量引起的波动，保证激光器工作过程中的剂量精度要求。
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公开(公告)号：CN113783100A
公开(公告)日：2021-12-10
申请号：CN202110600173.7
申请日：2021-05-31
申请人： 北京科益虹源光电技术有限公司
摘要： 本申请实施例提供一种激光器的能量补偿方法及装置。在本申请实施例中，获取激光器的放电腔的能量信息；根据所述能量信息以及目标能量信息，确定能量偏差，并提取所述能量偏差中的干扰频率；对所述能量偏差以及所述干扰频率进行自动控制，并根据控制后的对应控制结果，确定所述放电腔的补偿电压，以使对所述放电腔的放电电压进行补偿。通过对能量偏差以及干扰频率的控制，调整激光器的输出能量，可以在一定程度上减少由放电腔振动引起的激光器能量波动，以保证激光器输出较为稳定的能量。
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公开(公告)号：CN113783097B
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202110406445.X
申请日：2021-04-15
申请人： 北京科益虹源光电技术有限公司
IPC分类号： H01S3/104
摘要： 本发明公开了一种双腔激光器能量的控制方法及系统。该控制方法包括如下步骤：获取实际输出的综合激光能量；根据综合激光能量和目标激光能量，得到能量误差；根据能量误差以及猝发信号的属性，进行比例积分计算，得到待调节值；将待调节值解耦为对应于双腔室的两个控制变量，并将控制变量分别输出给双腔室的激光激发执行机构；激光激发执行机构根据控制变量，输出激光能量，更新综合激光能量；重复上述过程，直至出光结束。该控制方法实现了激光器两个腔体的综合能量的调节，能获得更大的激光能量调控范围。
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公开(公告)号：CN115912022B
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202111013309.0
申请日：2021-08-31
申请人： 北京科益虹源光电技术有限公司
摘要： 本发明公开了一种双腔准分子激光器的能量调节方法，包括以下步骤：S1：当前猝发信号检测到激光器的出光，触发中断，基于MO电压检测值和PA电压检测值，计算得到MO电压增量，并利用MO电压增量对PA电压进行闭环控制；S2：在当前猝发信号后的间隔期间内，对MO电压进行更新，作为下一个猝发信号用的MO电压，并返回步骤S1。本发明利用被偏置的MO电压检测值与PA电压检测值的差值，使MO电压可调，以扩大激光器出光能量的可调节范围；而且，本发明用MO电压增量对PA电压增量进行反向补偿，进一步提高了PA电压的稳定性。
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公开(公告)号：CN116842004A
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202210301987.5
申请日：2022-03-25
申请人： 北京科益虹源光电技术有限公司
IPC分类号： G06F16/22 , G06F16/245 , G06F16/25 , G06F16/27
摘要： 本申请实施例提供一种数据的存储方法及计算设备。在本申请实施例中，创建第一数据库，用于接替第二数据库持续存储待存储数据；根据创建的第一数据库，确定数据库的状态信息表示为第一数据库，以指示第一数据库可进行数据存储；根据数据库的状态信息表示为第一数据库，将第二数据库切换为第一数据库，并将获取到的待存储数据存储至第一数据库。由此实现了数据在受到文件格式限制的情况下，能够将激光器产生的数据全部进行存储，并且保证激光器能够稳定运行。解决了在操作系统和文件格式受限的情况下，数据量过大导致无法继续进行数据存储的问题。
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公开(公告)号：CN116720360A
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN202310682658.4
申请日：2023-06-09
申请人： 北京科益虹源光电技术有限公司
IPC分类号： G06F30/20 , G06F18/213 , G06F111/10
摘要： 本发明涉及光刻机光源技术领域，具体涉及光刻机光源输出能量的建模方法及模型，所述方法包括：在同一输入电压下各burst的同一位置脉冲对应的各输出能量值中，随机选取一个作为该输入电压下、该burst内的当前位置脉冲的输出能量值，构建原始输出能量模型；针对光刻机光源输出能量进行频域分析，确定风机振动为所述输出能量的最大干扰后，构建干扰信号模型；在原始输出能量模型中加入干扰信号模型，得到光刻机光源输出能量模型。
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