公开(公告)号：CN101523543A

公开(公告)日：2009-09-02

申请号：CN200780038402.9

申请日：2007-10-10

Applicant: 皇家飞利浦电子股份有限公司

Inventor： S·胡特曼

IPC: H01J35/04 ,  H01J35/20 ,  H01H1/48 ,  H01J3/26 ,  H01J7/18

CPC classification number: H01J35/04 ,  H01J7/18 ,  H01J35/20 ,  H01J41/12 ,  H01J2235/205

Abstract: 本发明描述了一种包括离子处理装置(140)的X射线管(100)，所述离子处理装置(140)具有至少一个离子收集器电极(141)。所述离子收集器电极(141)至少部分由吸气材料制成。所述离子处理装置(140)特别有益于包括无电场区域(131)的高端X射线管。所述离子处理装置(140)产生偏转离子(150)的电场。当撞击到吸气电极(141)上时，所述离子(150)被永久地收集并因此从所述X射线管(100)的真空罩的内部去除。这避免了对X射线管(100)的电子发射器(111)的离子轰击。另外，可以显著地减小残余气体所引起的电弧放电率。吸气材料的加热可以利用加热导线或通过散射电子(322)对包括吸气材料的电极(341、342)的限定轰击来实现。

公开(公告)号：CN100397550C

公开(公告)日：2008-06-25

申请号：CN02828993.5

申请日：2002-03-21

Applicant: 汉民微测科技股份有限公司

Inventor： Z·-W·陈

IPC: H01J47/00 ,  H01J3/14 ,  H01J3/26 ,  G01N23/00 ,  G21G5/00

CPC classification number: H01J37/28 ,  H01J37/141 ,  H01J2237/04756 ,  H01J2237/1035

Abstract: 一种回转减速浸没式物简系统及方法，它提供具有大束电流的低电压电子束，相当高的空间分辨率，相当大的扫描范围，和高的信号收集效率。该物镜包括用于在样品附近产生磁场的磁透镜，以把粒子束的粒子聚焦到样品上；具有用于在靠近样品处提供减速场到粒子束的电位的电极，当该束与样品碰撞时来减少粒子束的能量；包括沿该束轴设置的多个偏转单元的偏转系统，用于偏转该粒子束以使在具有大区域的样品上扫描成为可能，偏转单元中的至少一个放在该束的减速场中，其余的偏转单元放在磁透镜的中央腔内；以及具有相当小的孔径的环形探测单元，放在限定主束的孔径下面，以俘获二次电子(SE)和背散衬电子(BSE)。

公开(公告)号：CN1063003C

公开(公告)日：2001-03-07

申请号：CN95109507.2

申请日：1995-08-02

Applicant: 汤姆森消费电子有限公司

Inventor： D·F·格里彭特洛

IPC: H04N3/32 ,  H04N5/44 ,  H01J3/26

CPC classification number: H04N3/32

Abstract: 一种电子来偏转装置包括具有扫描电子束的阴极射线管。用于辅助电子束偏转的线圈(L)安装在所述阴极射线管上。在电源和返回电路之间连接有一个放大器(Q5，A6)，它的输入端与代表视频信号边缘过渡的信号相连，输出端与线圈(L)相连，用于产生脉冲电流(11，16)，根据该信号使电子束偏转。放大器(Q5，Q6)和线圈(L)的配置使得脉冲电流主要在线圈(L)和放大器(Q5，QA6)输出中循环，而在电源和返回电路中基本没有脉冲电流流动。

公开(公告)号：CN115410881A

公开(公告)日：2022-11-29

申请号：CN202211107676.1

申请日：2022-09-13

Applicant: 大连交通大学

Inventor： 郭方准 ,  石晓倩 ,  李彤

IPC: H01J3/02 ,  H01J3/18 ,  H01J3/26

Abstract: 本发明提供一种高性能电子枪，包括电子发射装置、控制极、第一阳极、聚焦极、第二阳极、电极、偏转装置、支撑装置和电子枪壳；控制极、电子发射装置、第一阳极、聚焦极、第二阳极和偏转装置位于电子枪壳内，并通过支撑装置相连；控制极用于控制电子的数量和速度，控制极处于负电位，且其电位高于阴极电位，控制极中心开有中心孔；电子发射装置包括阴极及与其相连的阴极支撑环；第一阳极可保证电子加速向阳极方向高速移动；聚焦极用于电子束形状约束；第二阳极处于0电位；偏转装置使电子束发生偏转；控制极、电子发射装置、第一阳极、聚焦极、第二阳极、偏转装置分别与电极电连。该高性能电子枪具有能量和束斑大小可调、可偏转、可脉冲等优点。

公开(公告)号：CN113707513A

公开(公告)日：2021-11-26

申请号：CN202110901033.3

申请日：2021-08-06

Applicant: 无锡日联科技股份有限公司

Inventor： 刘骏 ,  王刘成 ,  孔文文 ,  张伟 ,  仇小军

IPC: H01J3/26

Abstract: 本发明提供了一种电子束对中装置及对中方法，具体包括以下步骤：在真空状态下，产生电子束；对偏转线圈以一定步长施加偏转电流，并记录电流计的示数；计算机对扫描过程进行分析，得到电流计示数最小时所施加的偏转电流；重复上述步骤，得到电子束对中参数，解决了传统电子束对中装置结构复杂，调整起来费时费力的问题，通过扫描方式完成电子束的对中，大大提高了对中精度且可实现调整过程的智能化且对中装置结构简单，操作方便。

公开(公告)号：CN103956311A

公开(公告)日：2014-07-30

申请号：CN201410210102.6

申请日：2014-05-16

Applicant: 厦门大学

Inventor： 何坚

IPC: H01J3/18 ,  H01J3/26

Abstract: 带电粒子束轨迹控制装置，涉及电子离子光学设备。设有电极固定板、上绝缘板、下绝缘板、上电极板阵列、下电极板阵列和分压电阻；所述上绝缘板和下绝缘板分别固定于电极固定板的上下两面并镜向对称安装；在上绝缘板和下绝缘板上沿着带电粒子束飞行方向上电极板阵列和下电极板阵列构成2行电极板，每条电极板之间等距分布排列；上电极板阵列和下电极板阵列上的每条电极板通过分压电阻分压具有不同的电位。不受带电粒子束的位置影响，对距离电极板不同位置的带电粒子均以同一角度偏转；通过调节合适的电参数，就能使带电粒子按照预定的轨迹到达指定位置；从根本上解决了粒子束角发散的问题。

公开(公告)号：CN203812834U

公开(公告)日：2014-09-03

申请号：CN201420252606.X

申请日：2014-05-16

Applicant: 厦门大学

Inventor： 何坚

IPC: H01J3/18 ,  H01J3/26

Abstract: 一种带电粒子束轨迹控制装置，涉及电子离子光学设备。设有电极固定板、上绝缘板、下绝缘板、上电极板阵列、下电极板阵列和分压电阻；所述上绝缘板和下绝缘板分别固定于电极固定板的上下两面并镜向对称安装；在上绝缘板和下绝缘板上沿着带电粒子束飞行方向上电极板阵列和下电极板阵列构成2行电极板，每条电极板之间等距分布排列；上电极板阵列和下电极板阵列上的每条电极板通过分压电阻分压具有不同的电位。不受带电粒子束的位置影响，对距离电极板不同位置的带电粒子均以同一角度偏转；通过调节合适的电参数，就能使带电粒子按照预定的轨迹到达指定位置；从根本上解决了粒子束角发散的问题。