公开(公告)号：CN104979239B

公开(公告)日：2020-01-14

申请号：CN201410386624.1

申请日：2014-08-07

Applicant: 中外炉工业株式会社

Inventor： 西尾勤

IPC: H01L21/67

Abstract: 一种基板处理装置及基板保持构件，能够缩短基板的搬运时间。对基板进行处理的基板处理装置(10)的特征是，包括：基板保持构件(5)，该基板保持构件(5)对基板进行保持；处理部，该处理部包括对基板进行处理的多个处理单元；以及搬运元件(11)，该搬运元件(11)对基板进行搬运，搬运元件(11)构成为在基板保持构件(5)保持有基板的状态下，将基板保持构件(5)在各处理单元之间水平地搬运，各所述处理单元从上方和/或下方接近基板保持构件(5)。

公开(公告)号：CN107921461B

公开(公告)日：2019-08-20

申请号：CN201680049967.6

申请日：2016-03-24

Applicant: 中外炉工业株式会社

Inventor： 岩成贤治 ,  户内八郎 ,  神户寿夫

IPC: B05C5/02 ,  B05D1/26 ,  B05D7/00

Abstract: 向曲面基材涂敷涂敷液的涂敷装置的特征在于，包括：储存箱，该储存箱储存涂敷液；狭缝喷嘴，该狭缝喷嘴将涂敷液涂敷于曲面基材；供给部，该供给部从储存箱向狭缝喷嘴供给涂敷液；以及控制部，该控制部对涂敷装置进行控制，控制部以使向狭缝喷嘴供给的涂敷液的供给压力或供给量恒定的方式对供给部进行控制，此外，该控制部以使狭缝喷嘴的移动速度与从狭缝喷嘴的狭缝前端部到曲面基材的涂敷面的距离成反比的方式对狭缝喷嘴进行控制。

公开(公告)号：CN110114620A

公开(公告)日：2019-08-09

申请号：CN201780080731.3

申请日：2017-06-07

Applicant: 中外炉工业株式会社

Inventor： 笹内谦一

IPC: F24H1/14 ,  F23B60/02 ,  F24H1/10 ,  F28F27/00

Abstract: 一种热交换器，设有使介质液体在燃烧炉内循环的由钢材形成的热交换用配管，使在燃烧炉中燃烧竹片产生的燃烧废气与热交换用配管接触而对介质液体进行加热，包括：流出侧温度检测装置，上述流出侧温度检测装置对从热交换器流出一侧的介质液体温度进行检测；以及温度调节装置，上述温度调节装置设于流向热交换器的一侧，并根据流出侧温度检测装置的检测输出对热交换用配管的介质液体的温度进行调节，通过温度调节装置将热交换器内的介质液体的温度控制在盐酸露点以上且400℃以下。

公开(公告)号：CN108431500B

公开(公告)日：2019-06-21

申请号：CN201680076607.5

申请日：2016-08-02

Applicant: 中外炉工业株式会社

Inventor： 横井範之

IPC: F23L7/00 ,  F23L15/02

CPC classification number: F23L7/00 ,  F23L15/02 ,  Y02E20/348

Abstract: 在成对地设置有蓄热式燃烧装置的蓄热式燃烧设备中，设置收容有对从空气供给路径向蓄热部引导的燃烧用空气中的氮气进行吸附的氮气吸附材料的氮气处理部，使燃烧用空气中的氮气吸附于所述氮气处理部中的氮气吸附材料，并且在使燃烧废气通过蓄热部而向废气排气路径引导的情况下，使吸附于收容在氮气处理部的氮气吸附材料的氮气脱离，与燃烧废气一起通过废气排气路径并排出。

公开(公告)号：CN109574511A

公开(公告)日：2019-04-05

申请号：CN201711439897.8

申请日：2017-12-26

Applicant: 中外炉工业株式会社

Inventor： 夏贞雄 ,  永井久也

IPC: C03C17/00

CPC classification number: C03C17/002 ,  C03C2218/112

Abstract: 本发明提供一种基板的涂布方法以及基板的涂布装置，其在同时开始喷嘴的移动与涂敷液从喷嘴的喷出的情况下，能够容易地使从涂布开始时起几秒内的期间的涂膜厚度尽可能地恒定，从而能够防止基板的利用面积减少。在同时开始喷出涂敷液(D)的喷嘴(3)的移动与涂敷液从喷嘴的喷出而向基板(8)涂布涂敷液时，逐渐增加喷嘴的移动速度(Vt)(Vt1、Vt2、Vt3)，以使得基板的单位面积的涂敷液量恒定，从而涂膜厚度恒定。

公开(公告)号：CN109073321A

公开(公告)日：2018-12-21

申请号：CN201780023822.3

申请日：2017-04-24

Applicant: 中外炉工业株式会社

Inventor： 岩本匡弘 ,  横井範之

IPC: F27D1/10 ,  C21D1/00

Abstract: 一种耐火物结构体，在固定构件的一面侧设置由耐火材料构成的耐火物，并且在耐火物的内部设置具有基部和分叉部的螺柱构件，该螺柱构件设置有至少覆盖分叉部的外周侧的耐热性纤维材料，且基部侧安装于固定构件，以使分叉部朝向耐火物的内部。

公开(公告)号：CN105080276B

公开(公告)日：2017-10-03

申请号：CN201410457904.7

申请日：2014-09-10

Applicant: 中外炉工业株式会社

Inventor： 村元俊博 ,  森川俊彦

IPC: B01D53/00 ,  A61L9/00

Abstract: 本发明提供一种能够抑制装置的高度、并且也能够防止块状的蓄热体的移动的蓄热式除臭装置。该蓄热式除臭装置具备：加热腔(3)，其对成为除臭对象的气体进行加热并除臭；以及蓄热部(4)，其具备多个，例如为两个，该多个例如两个蓄热部(4)在加热腔的两侧与该加热腔横向并排配置，构成使气体在加热腔内流通的流路，且收纳有在气体通过时用于换热的蓄热块(13)，两个蓄热部分别朝向远离加热腔的方向歪斜地倾斜。

公开(公告)号：CN106918228A

公开(公告)日：2017-07-04

申请号：CN201610344038.X

申请日：2016-05-23

Applicant: 中外炉工业株式会社

Inventor： 松林寿

IPC: F27B21/00 ,  F27D9/00

CPC classification number: F27B21/00 ,  F27D9/00 ,  F27D2009/0005 ,  F27D2009/0013 ,  F27D2009/0072 ,  F27D2009/0083

Abstract: 本发明提供一种能够高效地进行加热及冷却的紧凑的工业用炉。该工业用炉具备：加热流路(4)，其设于炉体(2)内，具有加热器(3)且能够与对工件进行热处理的热处理空间(1a)连通；冷却流路(6)，其设于炉体内，具有冷却器(5)且能够与热处理空间连通；挡板(7)，其以择一的方式阻塞上述加热流路与冷却流路中的任一方，并使另一方与热处理空间连通；风扇(8)，其设于炉体内，且使炉体内的空气循环；以及隔热顶部(6a)，其介于加热流路与冷却流路之间。

公开(公告)号：CN103629930B

公开(公告)日：2016-11-30

申请号：CN201210312900.0

申请日：2012-08-29

Applicant: 中外炉工业株式会社

Inventor： 大塚浩史

IPC: F27B19/04

Abstract: 能在加热中途将挥发的成分从粉体中分离的粉体连续烧成装置包括：挥发炉（2），该挥发炉（2）具有炉体（4）和在炉体（4）内移动的炉床（5），在上述挥发炉（2）中，将原料粉体连续地供给至炉床（5）并进行加热，以从原料粉体中去除挥发成分；烧成炉（3），该烧成炉（3）具有炉体（13）和在炉体（13）内移动的炉床（14），在上述烧成炉（3）中，将从挥发炉（2）中排出的原料粉体连续地供给至炉床（14），并对原料粉体进一步加热以将其烧成；以及中间漏斗（12），该中间漏斗（12）将挥发炉（2）与烧成炉（3）连接，并通过储存一定量以上的原料粉体，来利用原料粉体将挥发炉（2）的炉内空间与烧成炉（3）的炉内空间隔离。

公开(公告)号：CN103597913B

公开(公告)日：2016-09-14

申请号：CN201380001628.7

申请日：2013-02-27

Applicant: 中外炉工业株式会社

Inventor： 古屋英二 ,  赤野真也

IPC: H05H1/50 ,  C23C14/32 ,  C23C14/48

CPC classification number: H01J37/3266 ,  C23C14/32

Abstract: 本发明提供一种能够形成适用于等离子体辅助法的等离子体的等离子体发生装置。该等离子体发生装置的特征在于，包括：腔室（2）；等离子体枪（3），该等离子体枪（3）设置成朝向腔室（2）的内部，且具有放出电子的阴极（7）、和形成对阴极（7）所放出的电子进行引导的磁通的收束线圈（11）；以及辅助磁铁（4），该辅助磁铁（4）在腔室（2）的内部形成磁通，而且，对收束线圈（11）施加使磁通的方向发生变动的励磁电流。