公开(公告)号：CN202853565U

公开(公告)日：2013-04-03

申请号：CN201220310628.8

申请日：2012-06-29

Applicant: 上海理工大学

Inventor： 句爱松 ,  彭博方 ,  杨召雷 ,  董洪波 ,  胡凯 ,  侯文玫

IPC: G01B9/02

Abstract: 本实用新型公开了一种声光式外差干涉仪的光路装置，包括：光源、分光镜、平面镜、一对声光调制器、偏振分光镜、一对四分之一波片、一对角锥棱镜、一对偏振片和一对光接收器。该装置利用声光调制器对入射光的位相和频率进行调制，利用其一级衍射光作为出射光，获得频率稳定性好且频差较高的双频激光，He-Ne激光器所发出的激光经分光镜分光及声光调制器后，分别经过不同的光路，所设计干涉光路两束光为非共光路，但不存在光学死程的现象。本实用新型稳定性好、光学结构简单、容易调整；可以应用于高速测量。

公开(公告)号：CN202274859U

公开(公告)日：2012-06-13

申请号：CN201120390236.2

申请日：2011-10-14

Applicant: 上海理工大学

Inventor： 侯文玫 ,  乐燕芬 ,  句爱松

IPC: G01B9/02

Abstract: 本实用新型涉及一种位移直线度测量的激光干涉系统，包含激光源、随被测件一起运动的楔角棱镜、位于该楔角棱镜一侧的光反射装置、位于所述楔角棱镜的另一侧与所述激光源之间的光干涉装置以及相位检测装置。其中，激光源产生频率稳定的入射光束，入射光束在光干涉装置的作用下，两次通过楔角棱镜，并相应两次被楔角和光反射装置反射，最后被输入相位检测装置，以相位差的变化量确定被测件的直线度。本实用新型的优点是：结构简单、测量精度高，可广泛应用于军工、航天及数控机床等领域的几何量精密测量和计量基准的建立。