一种基于平板式电容检测的微梁断裂强度的测试结构

    公开(公告)号:CN104458417A

    公开(公告)日:2015-03-25

    申请号:CN201410768361.0

    申请日:2014-12-12

    Applicant: 东南大学

    Inventor: 唐洁影 唐丹 王磊

    Abstract: 本发明是一种基于平板式电容检测的微梁断裂强度的测试结构,包括衬底、置于衬底之上的测量结构和参考结构。测量结构由下极板、锚区、悬置在衬底上方的上极板和两根热臂梁、以及被测微梁构成;两根热臂梁垂直连接在上极板两侧,热臂梁的另一端固定在锚区侧面;被测微梁平行并介于两热臂梁之间,一端与上极板一侧面的中部相连,另一端固定在一个锚区侧面;下极板初始时紧临上极板下方区域,但不为上级板所遮蔽。参考结构除了不带有被测梁,其余部分与测量结构完全相同。测试中,在测量结构和参考结构上施加完全相同的电压,当两结构中的热臂梁通电发生热膨胀时,上极板向前方移动并部分遮挡住下极板,上、下极板之间的电容随上极板的移动而变化。

    内嵌金属化过孔相位校准的封装夹层天线

    公开(公告)号:CN103022709B

    公开(公告)日:2015-01-28

    申请号:CN201210563061.X

    申请日:2012-12-21

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 内嵌金属化过孔相位校准的封装夹层天线涉及一种喇叭天线。该天线包括集成在一块介质基板(4)上的微带馈线(1)、喇叭天线(2)和金属化过孔(3),介质基板(4)在三维封装(5)的内层,微带馈线(1)一端通过封装侧面的共面波导(7)与内部电路(8)相连,喇叭天线(2)由底面金属平面(9)、顶面金属平面(10)和金属化过孔侧壁(11)组成,由金属化过孔(3)构成的过孔阵列(16)在喇叭天线(2)中形成多个介质填充波导(17),介质填充波导(17)的一个端口朝着微带馈线(1)的方向,另一个端口(18)伸向喇叭天线的口径面(12),但不到天线口径面(12)上。该天线可以提高天线的增益。

    内嵌金属化过孔相位幅度校准的基片集成波导天线

    公开(公告)号:CN103022706B

    公开(公告)日:2015-01-28

    申请号:CN201210562186.0

    申请日:2012-12-21

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 内嵌金属化过孔相位幅度校准的基片集成波导天线涉及一种平面喇叭天线。该天线包括集成在一块介质基板(4)上的微带馈线(1)、基片集成波导喇叭天线(2)和内嵌金属化过孔(3),微带馈线(1)连接天线端口(5)和喇叭天线窄端口(6),喇叭天线(2)由第一金属平面(8)、第二金属平面(10)和两排金属化过孔喇叭侧壁(11)组成,由金属化过孔(3)构成的中间金属化过孔阵列(12)、左边金属化过孔阵列(16)和右边金属化过孔阵列(17),在喇叭天线(2)中形成四个介质填充波导,这四个介质填充波导的一端都朝天线窄端口(6)方向,其另一端位置都靠近天线口径面(15)。该天线可以提高天线的增益。

    相位幅度阻抗校准的平面喇叭天线

    公开(公告)号:CN103022666B

    公开(公告)日:2015-01-28

    申请号:CN201210562577.2

    申请日:2012-12-21

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 相位幅度阻抗校准的平面喇叭天线涉及一种平面喇叭天线。该天线包括集成在一块介质基板(4)上的微带馈线(1)、喇叭天线(2)和金属化过孔(3),微带馈线(1)连接天线端口(5)和天线窄端口(6),喇叭天线(2)由第一金属平面(8)、第二金属平面(10)和两排金属化过孔喇叭侧壁(11)组成,由金属化过孔(3)构成的中间金属化过孔阵列(15)、左边金属化过孔阵列(21)和右边金属化过孔阵列(22),在喇叭天线(2)中形成四个介质填充波导,电磁波通过这些介质填充波导等幅同相到达天线口径面(20)上,且介质填充宽度使介质填充波导波阻抗等于自由空间波阻抗。该天线可以提高天线增益和减少回波损耗。

    基于载体系速度匹配的容积卡尔曼非线性组合导航方法

    公开(公告)号:CN103727941A

    公开(公告)日:2014-04-16

    申请号:CN201410004374.0

    申请日:2014-01-06

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: G01C21/20 G01C21/165

    Abstract: 本发明提供了基于载体系速度匹配的容积卡尔曼非线性组合导航方法。主要步骤包括:初始化组合导航系统;建立直接以导航参数为状态量以及以载体系速度为量测量的非线性滤波模型及其离散化;构建状态方程和量测方程均为非线性的容积卡尔曼滤波算法,实现组合导航的信息融合和精确的导航定位。优点在于本发明建立的非线性模型以及使用的非线性滤波算法,直接输出的是导航参数,不需要进行误差修正,且捷联惯导系统参数更新与滤波器的时间更新同步实现,算法简单,为以捷联惯性导航系统为主的组合导航系统信息融合提供了一种新方案。

    格构式框架结构初步设计的简化方法

    公开(公告)号:CN102587492B

    公开(公告)日:2014-03-26

    申请号:CN201210073145.5

    申请日:2012-03-19

    Abstract: 本发明公开了一种格构式框架结构初步设计的简化方法,将复杂的格构式框架结构简化为由数量不多的梁、柱组成的框架结构,可以快速估算得到组成格构构件每一杆件的内力,具有建模方便、计算速度快,计算结果精度较高的特点,特别适用于大型格构式空间框架结构在初步设计阶段结构布置和截面尺寸的确定,该方法采用等代刚度计算公式,对格构式结构方案的设计具有全局性,可以降低结构方案调整所需要的工作量,更容易在整个设计过程中体现设计者的概念意图,得到全局优化的设计结果,通过本方法设计得到的精度能够很好地满足格构式框架结构在初步设计阶段的计算要求。

    一种电容式表面微机械加工残余应力测试结构

    公开(公告)号:CN103604536A

    公开(公告)日:2014-02-26

    申请号:CN201310618847.1

    申请日:2013-11-27

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 一种电容式表面微机械加工残余应力测试结构,包括衬底、两块下极板和上极板、直角梁和两个锚区;下极板沉积于衬底上表面;两个锚区置于衬底上;上极板悬置在下极板上方,直角梁以上极板为轴分为完全对称的两部分,每一部分包括两个直角边,其中一个直角边连接上极板的一侧,另一个直角边固定在一个锚区侧面;上极板与直角梁位于同一平面,该平面与衬底所在平面平行;两块下极板与上极板之间分别形成平板电容C1和C2。结构层残余应力在引起上极板的平移后,电容C1和C2会发生变化,通过MEMS电容常规测试,即可获取残余应力的具体信息。本发明通过简单的电容结构,实现了表面微机械加工过程中产生的残余应力的测试,且成本低廉,易于操作。

    薄基片振子平面喇叭天线
    28.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103594815A

    公开(公告)日:2014-02-19

    申请号:CN201310619567.2

    申请日:2013-11-29

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 薄基片振子平面喇叭天线涉及一种喇叭天线。该天线包括在介质基板(1)上的微带馈线(2)、喇叭天线(3)和多个振子(4),喇叭天线(3)由第一金属平面(7)、第二金属平面(8)和两排金属化过孔喇叭侧壁(9)组成,喇叭天线(3)中有金属化过孔阵列(11)和多个介质填充波导(14),在喇叭天线(3)的口径面(10)上,每个介质填充波导(14)都接有一个振子(4)。天线辐射场的极化方向与基板平行。该天线可使用薄基板制造且增益高、成本低和结构紧凑。

    一种热-静电强回复型MEMS四点支撑悬挂梁结构

    公开(公告)号:CN103552979A

    公开(公告)日:2014-02-05

    申请号:CN201310565107.6

    申请日:2013-11-14

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种热-静电强回复型MEMS四点支撑悬挂梁结构,包括衬底、涂敷于衬底顶面上的静电下拉电极、锚区、悬挂主梁和弯折支撑梁。所述悬挂主梁通过四个锚区和弯折支撑梁悬挂在衬底上方;所述悬挂梁在下拉态(“down”态)向悬挂态(“up”态)转换过程中,通过对弯折支撑梁的欧姆加热,使悬挂主梁受到拉伸作用,提高了悬挂主梁的有效刚度,增强了回复力;所述弯折支撑梁中的纵梁采用双根并列的宽窄梁设计,使悬挂主梁更稳定,且加热后更有利于悬挂主梁从“down”态回复到“up”态。本发明还公开了增强回复力的具体工作方式,方法简单、方便可行。

    微机械系统中带有热驱动粘附消除机构的微悬臂梁结构

    公开(公告)号:CN103552973A

    公开(公告)日:2014-02-05

    申请号:CN201310565297.1

    申请日:2013-11-14

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种微机械系统中带有热驱动粘附消除机构的微悬臂梁结构,包括衬底、通过锚区连接在衬底上的悬臂梁、用于静电激励的下拉电极、衬底接触电极和粘附消除机构。所述粘附消除机构位于悬臂梁的末端,由一根与悬臂梁末端垂直连接的直梁、与该直梁两端垂直连接的横梁、以及与所述横梁两端分别垂直连接的纵向臂构成。该粘附消除机构通过热驱动方式消除悬臂梁在加工和使用中的粘附现象。本发明还公开了粘附消除机构的具体工作方式,方便可行。

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