一种真空腔室观察窗装置
    21.
    实用新型

    公开(公告)号:CN203411605U

    公开(公告)日:2014-01-29

    申请号:CN201320486806.7

    申请日:2013-08-09

    IPC分类号: C23C14/52

    摘要: 一种真空腔室观察窗装置,包括观察孔(12)、观察玻璃(13)以及固定盖(14);其特征在于:固定盖(14)具有周向一圈盖边沿(15);固定盖(14)罩设于观察玻璃(13)上,且以螺钉将固定盖(14)的一周盖边沿(15)与真空腔室的侧板(11)固定连接;并且,在观察玻璃(13)与观察孔(12)间设有一密封圈结构,该密封圈结构由一O型密封圈(16)和一卡持圈(17)组成;O型密封圈(16)垫衬于观察玻璃(13)与真空腔室的侧板(11)之间;卡持圈(17)为绕O型密封圈(16)的内周面设置的环形支撑体,卡持圈(17)朝观察孔(12)的一端嵌入观察孔(12)内。本实用新型装配时不需要焊接连接,避免了因焊缝造成的泄漏隐患,同时制造工艺得到简化。

    一种带密封的真空镀膜生产线玻璃基板输送辊

    公开(公告)号:CN203411077U

    公开(公告)日:2014-01-29

    申请号:CN201320488588.0

    申请日:2013-08-09

    IPC分类号: B65G49/06 B65G39/02 B65G39/09

    摘要: 一种带密封的真空镀膜生产线玻璃基板输送辊,其特征在于:轴头(12)由一轴端(13)和一堵头体(14)一体连接构成,堵头体(14)与辊皮(11)的端部过盈配合,堵头体(14)的外端面设多个内螺纹孔(15),一内螺纹孔(15)作为检测孔(16);压盖(17)盖设于堵头体(14)外端面上,压盖(17)的一周盖边沿(19)与辊皮(11)端面之间垫设密封圈(20)密封;压盖(17)与堵头体(14)外端面之间绕通孔(21)垫设密封圈(22)密封;螺栓(18)穿过压盖与压盖(17)的内螺纹孔(15)连接;并且,螺栓(18)头部与压盖(17)之间垫设有组合垫圈(24)。本实用新型辊皮和轴头之间仅通过一次过盈配合即可实现连接,提高了装配效率,且制造方便。

    一种密封箱挡帘紧急抬起装置

    公开(公告)号:CN201873609U

    公开(公告)日:2011-06-22

    申请号:CN201020593163.2

    申请日:2010-11-01

    IPC分类号: C03B18/18

    摘要: 本实用新型涉及浮法玻璃生产装备中的一种密封箱挡帘紧急抬起装置,它包括:a、电动推杆(1)的伸缩轴连接有双排链(1a);b、设置在密封箱体上的链轮轴2及两端连接的双排链轮(2b)、中部连接的双排链轮(2a),c、双排链轮(2b)上分别连接前单链条(2c)及后单链条(2d),它们分别通过前托轮(3a)、后托轮(4a),与设置在升降架(6)下方的起吊架(8)连接。其特点在于挡帘调整方式既可手动升降调节,又可在紧急情况下由电动推杆(1)带动起吊架(8)将挡帘(14)快速抬起,在紧急情况结束后又可快速恢复原位工作。具有使用方便,安全可靠的优点。

    光电开关安装调节结构
    24.
    实用新型

    公开(公告)号:CN205304759U

    公开(公告)日:2016-06-08

    申请号:CN201520592503.2

    申请日:2015-08-07

    IPC分类号: H03K17/94

    摘要: 提供了一种光电开关安装调节结构,包括导轨,滑块,支撑架,调节螺母螺栓,第一固定螺钉,第二固定螺钉,及第三固定螺钉,所述导轨用所述第三固定螺钉固定,所述滑块放入所述导轨的槽内,从而自由滑动,所述滑块用所述第二固定螺钉固定在所述导轨上,所述支撑架安装到所述滑块上并用所述第一固定螺钉固定,光电开关竖直固定在所述支撑架,通过调节所述调节螺母来微调所述支撑架的高度,使发射端和接收端对准。根据本实用新型的光电开关安装调节结构,结构简单,成本较低,易于安装,调节方便,大大减轻工人的劳动强度,同时结构稳定性好。

    一种用于真空镀膜的工艺气体二元布气装置

    公开(公告)号:CN202705451U

    公开(公告)日:2013-01-30

    申请号:CN201220331477.4

    申请日:2012-07-09

    IPC分类号: C23C14/22

    摘要: 本实用新型涉及一种用于真空镀膜的工艺气体二元布气装置,包括阴极盖板,其特征在于:它由盖板1、主气板2、底板3和挡板4组成,盖板1、主气板2和底板3依次组合安装在阴极盖板下表面,挡板4布置在其两边。主气板2下表面交替开有主气体出气沟槽和辅助气体出气沟槽;主气板2上表面开有主气体二元结构布气沟槽5,辅助气体二元结构布气沟槽6、7、8布置在底板3上表面,沿阴极靶长度方向可分为独立的三至七段,分别独立的控制沿阴极靶长度方向不同位置的辅助工艺气体供气量。本实用新型的有益效果是能够实现工艺气体沿阴极靶长度方向的均匀分布,提高靶材利用率和镀膜质量;同时,具有精简结构、易安装维护的优点。

    一种管道固定管夹
    26.
    实用新型

    公开(公告)号:CN204284666U

    公开(公告)日:2015-04-22

    申请号:CN201420784011.9

    申请日:2014-12-11

    IPC分类号: F16L3/10

    摘要: 一种管道固定管夹,包括上管夹(1)、下固定装置(2)以及紧固件,上管夹(1)的两端上设有安装孔(11);其特征在于:下固定装置(2)上对应于上管夹两端的安装孔(11)开设有腰形孔(21),紧固件穿置于对应的安装孔(11)和腰形孔(21)内将上管夹(1)、下固定装置(2)紧固;上管夹(1)的内表面上与管道(3)间衬设有橡胶垫(12),且下固定装置(2)的上表面上固设有一支撑垫块(22),该支撑垫块(22)上设有与管道(3)接触配合的弧形接触面(221)。本实用新型在夹紧状态下,上管夹的内表面经橡胶垫与管道紧密接触,且管道被牢牢定位在支撑垫块的弧形接触面上,夹紧牢固度好,且不会造成管道表面的损伤。

    一种镀膜玻璃生产线拼接用中心线拉线装置

    公开(公告)号:CN203683385U

    公开(公告)日:2014-07-02

    申请号:CN201320864451.0

    申请日:2013-12-26

    IPC分类号: C03C17/00

    摘要: 一种镀膜玻璃生产线拼接用中心线拉线装置,其特征在于:包括支座、底座、双棘轮构件、主动双棘爪构件、止动双棘爪构件、扳把以及钢丝绳;双棘轮构件相对支座转动支撑;钢丝绳绕于卷筒上;主动双棘爪构件的两主动棘爪与双棘轮构件的两棘轮对应设置,主动双棘爪构件轴连接于两主动棘爪之间,且相对扳把转动支撑;第一弹簧的作用力迫使主动棘爪与所对应棘轮相靠配合,以此操作扳把,通过主动棘爪与棘轮的配合,驱动棘轮及卷筒正向转动,收紧钢丝绳;第二弹簧作用在两止动棘爪上,第二弹簧的作用力迫使止动棘爪与所对应棘轮相靠配合,以反向锁死棘轮。本实用新型钢丝绳拉力大,最大拉力可达1吨,适合长度较长的生产线进行中心线拉线定位。

    一种矩形平面磁控溅射阴极

    公开(公告)号:CN203462120U

    公开(公告)日:2014-03-05

    申请号:CN201320527309.7

    申请日:2013-08-27

    IPC分类号: C23C14/35

    摘要: 本实用新型涉及磁控溅射镀膜生产设备技术领域,具体来说是一种矩形平面磁控溅射阴极,包括中靶材压条、中压条、边靶材压条、边压条、背板、冷却板、阴极座、支撑块、磁轭、中立柱、中磁铁、中磁靴、边磁铁、边磁靴和靶材,其特征在于阴极座为不导磁的不锈钢材料,阴极座内设有磁轭,磁轭为高导磁材料并通过螺栓和阴极座固定在一起,磁轭上设有磁铁组件,阴极座宽度大于两侧边磁铁的总跨度,靶材的总跨度大于边磁铁的总跨度。本实用新型同现有技术相比,靶材一次安装后,经过溅射,刻蚀区域位于靶材的一侧,然后将靶材水平旋转180°再重新安装在阴极上,进行第二次溅射,使两次的刻蚀区域连接成一个较大的刻蚀区域,从而提高靶材的利用率。

    一种用于真空镀膜设备的双层密封结构

    公开(公告)号:CN202705460U

    公开(公告)日:2013-01-30

    申请号:CN201220331363.X

    申请日:2012-07-09

    IPC分类号: C23C14/56

    摘要: 本实用新型涉及一种用于真空镀膜设备的双层密封结构,包括真空泵,真空泵通过真空管道与法兰上泄气孔8连接,其特征在于:它由内层密封圈3、外层密封圈4以及密封法兰1和光面法兰2组成,密封法兰1密封面上开有密封槽6,内层密封圈3和外层密封圈4嵌于密封槽6内;两密封圈间开有泄气槽7,法兰体上开有一泄气孔8,泄气槽7通过泄气孔8以及真空管道与真空泵相连,通过真空泵可以把两密封圈间的气体排出,形成真空,提高密封效果。两密封圈在螺栓力或者重力和压差力的作用下压紧光面法兰2,形成双层密封。本实用新型能够实现真空腔体的可靠的密封;同时,本实用新型具有结构简单,使用寿命长,易于安装、拆卸的优点。

    一种带有双重保护结构的真空腔室观察窗

    公开(公告)号:CN202705459U

    公开(公告)日:2013-01-30

    申请号:CN201220331182.7

    申请日:2012-07-09

    IPC分类号: C23C14/52

    摘要: 本实用新型涉及真空镀膜技术领域,具体的说是一种带有双重保护结构的真空腔室观察窗,包括钢丝挡圈、挡玻璃、密封圈、观察玻璃、橡胶垫圈和法兰盖,所述观察窗还包括遮板、密封圈、快卸连接器、磁流体密封件、卡环、手柄和挡块。本实用新型采用双重式保护结构:挡玻璃置于观察窗座内腔,在观察玻璃与真空腔室之间形成间隔,构成第一重保护。遮板置于真空腔室内,遮蔽观察窗视口,形成第二重保护。本实用新型与现有技术相比能够有效防止真空腔室内的溅射物在观察玻璃和挡板玻璃上的沉积,保证观察窗具有良好的观察效果,降低挡板玻璃的更换次数,结构新颖,使用方便,密封性能好,安全可靠。