公开(公告)号：CN306231123S

公开(公告)日：2020-12-15

申请号：CN202030350778.1

申请日：2020-07-02

申请人： 中山市博顿光电科技有限公司

设计人： 刘伟基 ,  冀鸣 ,  易洪波 ,  赵刚 ,  吴秋生 ,  曾文华 ,  刘运鸿

摘要： 1.本外观设计产品的名称：射频离子源。
2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品可适用于高端光学辅助镀膜、离子束溅射镀膜、离子束刻蚀与超高精度表面处理等领域。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。

公开(公告)号：CN306480397S

公开(公告)日：2021-04-20

申请号：CN202030328742.3

申请日：2020-06-23

申请人： 中山市博顿光电科技有限公司

设计人： 刘伟基 ,  冀鸣 ,  易洪波 ,  赵刚 ,  吴秋生 ,  曾文华 ,  刘运鸿

摘要： 1.本外观设计产品的名称：双阳极离子源。
2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于使中性原子或分子分离，从中引出离子束流，适于安装在刻蚀设备或镀膜设备上实现表面清洁或辅助镀膜沉积等功能。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。

公开(公告)号：CN306230195S

公开(公告)日：2020-12-15

申请号：CN202030327644.8

申请日：2020-06-23

申请人： 中山市博顿光电科技有限公司

设计人： 冀鸣 ,  刘伟基 ,  吴秋生 ,  曾文华 ,  唐晓敏 ,  易洪波 ,  赵刚 ,  黄伟栋 ,  刘运鸿

摘要： 1.本外观设计产品的名称：离子源驱动与控制系统。
2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品可以为采用各类工艺的离子源操作提供驱动，可以在各类工艺环境中实现对离子源的控制能力。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。

公开(公告)号：CN306329223S

公开(公告)日：2021-02-12

申请号：CN202030351764.1

申请日：2020-07-02

申请人： 中山市博顿光电科技有限公司

设计人： 刘伟基 ,  冀鸣 ,  易洪波 ,  赵刚 ,  吴秋生 ,  曾文华 ,  刘运鸿

摘要： 1.本外观设计产品的名称：中空阴极霍尔离子源。
2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品可适用于需要大束流、低能量离子的表面预清洁或辅助镀膜沉积等应用领域。
3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。
4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。