一种金属-绝缘体-金属射频测试结构

    公开(公告)号:CN200962421Y

    公开(公告)日:2007-10-17

    申请号:CN200620046824.3

    申请日:2006-10-13

    Abstract: 一种金属-绝缘体-金属射频测试结构,包括底层金属层、绝缘体层和顶层金属层,在金属-绝缘体-金属射频测试结构的顶层金属上的第一区域内设置多个测试触点,所述测试触点尽可能多地分布在顶层金属上的第一区域内。本实用新型通过在金属-绝缘体-金属射频测试结构顶层金属上增设多个测试触点,使其在测试时形成电阻并联的形式,从而大大降低了金属-绝缘体-金属(MIM)电容的电阻值,并提高了品质因素值。

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