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公开(公告)号:CN101029916A
公开(公告)日:2007-09-05
申请号:CN200610024311.7
申请日:2006-03-02
Applicant: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
Abstract: 本发明的仿真方法在仿真系统中添加补偿电阻网络,拟合仿真曲线与实测曲线。补偿电阻的值与实测系统中外部寄生电阻值相当,使得外部寄生电阻的分压作用被加入仿真模型中,仿真过程中施加在栅极上的电压更接近实测时施加在MOS晶体管栅极上的电压,因此得到的栅极电压-漏极电流仿真曲线更接近于实测曲线。
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公开(公告)号:CN2938404Y
公开(公告)日:2007-08-22
申请号:CN200620040258.5
申请日:2006-03-16
Applicant: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
IPC: H01L23/544 , H01L21/66
Abstract: 本实用新型公开了一种测量PN结电流的测试装置,P+端与电压源相连,N+端与电流测试仪器相连。有益效果是,由于检测电流端由现有技术的连接到P+变为连接到N+,使得从N+端测得的电流才是客户需要的准确的PN结电流,即i1,实质上解决了现有技术中二极管结漏电流大的缺陷。
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公开(公告)号:CN200962421Y
公开(公告)日:2007-10-17
申请号:CN200620046824.3
申请日:2006-10-13
Applicant: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
IPC: H01L23/544
Abstract: 一种金属-绝缘体-金属射频测试结构,包括底层金属层、绝缘体层和顶层金属层,在金属-绝缘体-金属射频测试结构的顶层金属上的第一区域内设置多个测试触点,所述测试触点尽可能多地分布在顶层金属上的第一区域内。本实用新型通过在金属-绝缘体-金属射频测试结构顶层金属上增设多个测试触点,使其在测试时形成电阻并联的形式,从而大大降低了金属-绝缘体-金属(MIM)电容的电阻值,并提高了品质因素值。
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